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本实用新型涉及一种磁控溅射镀膜设备保压系统，其中，磁控溅射镀膜设备设有多个镀膜腔室，所述镀膜腔室设有密封板以及驱使所述密封板运动的气动元件，所述保压系统包括用以与所述气动元件通过管道相连的第一供气支路以及与所述第一供气支路相并联的第二供气支...该专利属于吴江南玻华东工程玻璃有限公司;中国南玻集团股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过吴江南玻华东工程玻璃有限公司;中国南玻集团股份有限公司授权不得商用。