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磁控溅射TiN涂层制备新型轴承用耐磨材料的工艺制造技术
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文档序号:19503566
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本发明公开了一种磁控溅射TiN涂层制备新型轴承用耐磨材料的工艺,该材料包括轴承钢,轴承钢表面通过磁控溅射镀制有TiN涂层。采用真空磁控溅射在轴承钢材表面镀制TiN涂层,磁控溅射过程中各参数控制为本底真空度2.0×10...
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