真空传送腔体及其盖板制造技术

本实用新型专利技术提供了一种真空传送腔体及其盖板，所述盖板包括透明区域与非透明区域，所述非透明区域围绕所述透明区域，在所述非透明区域上设置有多个可视窗口，通过所述可视窗口可以观察到放置于所述真空传送腔体内的晶圆的边缘状态，确认晶圆边缘是否产生破碎并确认晶圆的位置，避免在晶圆边缘破碎的情况下还传送至下一腔体，避免造成晶圆整片破片，从而避免停机清理，提高了传送效率。

【技术实现步骤摘要】
真空传送腔体及其盖板
本技术涉及半导体设备制造领域，具体涉及一种真空传送腔体及真空传送腔体的盖板。
技术介绍
真空传送腔体用于在不同腔体之间传送晶圆，其内设置有机械臂，用于支撑并传送晶圆。现有技术中的真空传送腔体具有中间透明，边缘不透明的一体盖板，当晶圆边缘区域产生破碎时，被真空传送腔体的边缘不透明区域遮挡，在发生传送错误(DAError)报警时，操作人员并无法确定晶圆边缘的实际情况，会造成操作失误，在传送至下一腔体中时会发生整片晶圆破片，导致设备停机清理，影响工艺进程。因此，如何改善真空传送腔体边缘不透明区域遮挡晶圆的问题是本领域技术人员亟待解决的技术问题。
技术实现思路
本技术的目的在于提供一种真空传送腔体及其盖板，能够观察到晶圆的边缘状态，避免晶圆在边缘破碎的情况下进行传送造成的整个晶圆的破片。为实现上述目的，本技术提供一种真空传送腔体的盖板，包括：透明区域和非透明区域，所述非透明区域包围所述透明区域，在所述非透明区域上设置有多个可视窗口。可选的，所述可视窗口均匀分布于所述非透明区域上。可选的，在所述非透明区域上设置四个所述可视窗口。可选的，四个所述可视窗口均匀分布于所述非透明区域上。可选的，所述可视窗口呈圆形。可选的，所述可视窗口的直径在1.5英寸～2.5英寸之间。可选的，所述可视窗口呈椭圆形、三角形或四边形。可选的，所述盖板呈圆形，所述透明区域呈圆形，所述非透明区域呈圆环形。可选的，所述盖板的透明区域为压克力盖板，所述盖板的非透明区域为金属盖板，所述盖板的可视窗口为压克力盖板。相应的，本技术还提供一种真空传送腔体，包括如上所述的盖板。与现有技术相比，本技术提供的真空传送腔体及其盖板，包括透明区域与非透明区域，所述非透明区域围绕所述透明区域，在所述非透明区域上设置有多个可视窗口，通过所述可视窗口可以观察到放置于所述真空传送腔体内的晶圆的边缘状态，确认晶圆边缘是否产生破碎并确认晶圆的位置，避免在晶圆边缘破碎的情况下还传送至下一腔体，避免造成晶圆整片破片，从而避免停机清理，提高了传送效率。附图说明图1为一真空传送腔体的盖板的结构示意图。图2为本技术一实施例所提供的真空传送腔体的盖板的结构示意图；图3为本技术另一实施例所提供的真空传送腔体的盖板的结构示意图；图4为本技术另一实施例所提供的真空传送腔体的盖板的结构示意图。具体实施方式图1为一真空传送腔体的盖板的结构示意图，如图1所示，所述真空传送腔体的盖板10包括透明区域11与非透明区域12，所述非透明区域12包围所述透明区域11。所述真空传送腔体内用于放置晶圆，专利技术人发现，在设备发出传送错误报警时，操作人员并无法判断报警的原因，即无法确认晶圆的边缘是否产生破碎，因此会导致该晶圆继续被传送到下一腔体，从而造成整个晶圆破片，导致设备停机清理，影响了工艺进程。针对上述问题，专利技术人提供一种真空传送腔体及其盖板，所述盖板包括透明区域和非透明区域，所述非透明区域包围所述透明区域，其特征在于，在所述非透明区域上设置有多个可视窗口。本技术提供的真空传送腔体及其盖板，包括透明区域与非透明区域，所述非透明区域围绕所述透明区域，在所述非透明区域上设置有多个可视窗口，通过可视窗口可以观察到放置于所述真空传送腔体内的晶圆的边缘状态，确认晶圆边缘是否产生破碎并确认晶圆的位置，避免在晶圆边缘破碎的情况下还传送至下一腔体，避免造成晶圆整片破片，从而避免停机清理，提高了传送效率。为使本技术的内容更加清楚易懂，以下结合说明书附图，对本技术的内容做进一步说明。当然本技术并不局限于该具体实施例，本领域的技术人员所熟知的一般替换也涵盖在本技术的保护范围内。其次，本技术利用示意图进行了详细的表述，在详述本技术实例时，为了便于说明，示意图不依照一般比例局部放大，不应对此作为本技术的限定。请参考图2，其为本技术一实施例所提供的真空传送腔体的盖板的结构示意图。如图2所示，本技术提供一种真空传送腔体的盖板100，包括：透明区域110和非透明区域120，所述非透明区域120包围所述透明区域110，在所述非透明区域120上设置有多个可视窗口121。操作人员通过所述可视窗口121可以观察到所述真空腔室内的晶圆的边缘区域，由此当发生传送错误报警时，操作人员可以观察到所述晶圆的边缘状态，确定晶圆边缘是否产生有破碎，确定晶圆的位置是否正确，从而判断是暂停传送还是继续将所述晶圆传送到下一腔体内，避免在晶圆边缘破碎的情况下还被传送至下一腔体，避免由此造成的整片晶圆的破裂，从而避免停机清理，节约了清理时间，提高了传送效率。优选的，在本实施例中，所述可视窗口121均匀分布于所述非透明区域120上，从而可以采用较少的所述可视窗口121观察到所述晶圆的边缘。更优选的，在所述非透明区域120上设置四个所述可视窗口121，四个所述可视窗口121均匀分布于所述非透明区域120上，即四个所述可视窗口121分别位于所述非透明区域120的上下左右四个位置，如图2所示。所述透明区域110与四个所述可视窗口121能够观察到所述晶圆的全部状态，即操作人员通过所述透明区域110与所述可视窗口121能够观察到晶圆的全部区域。可以理解的是，在其他实施例中，所述可视窗口121的个数可以为三个、五个或更多，需要根据实际要求来确定，本技术对此不做限定。本实施例中，所述可视窗口121呈圆形，所述可视窗口121的直径优选在1.5英寸～2.5英寸之间，例如所述可视窗口121的直径为1.5英寸、2.0英寸或2.5英寸，优选的，所述可视窗口121的直径为2.0英寸。在所述可视窗口121的之间在1.5英寸～2.5英寸之间，所述可视窗口121的数量在四个时，可以通过所述可视窗口121与所述透明区域110观察到晶圆的全部区域。当然，如果所述可视窗口121的数量增加，则其尺寸可以减小，若其尺寸增加，则其数量可以减小，本技术对此并不做限定，其最终目的是观察到晶圆的全部区域。另外，多个可视窗口121之间的形状和/或尺寸可以相同，也可以不相同。如图3所示，在本技术的另一实施例中，所述可视窗口121可以呈四边形，优选的，所述可视窗口121呈正方形，所述可视窗口121的对角线长度优选在1.5英寸～2.5英寸之间，例如所述可视窗口121的对角线长度为1.5英寸、2.0英寸或2.5英寸，优选的，所述可视窗口121的对角线长度为2.0英寸。如上所述，本实施例只是给出较佳的尺寸，其实际尺寸可以根据所述可视窗口121的数量来决定。在其他实施例中，所述可视窗口121还可以呈椭圆形或三角形等形状，还可以为本领域技术人员已知的其他形状。优选的，所述可视窗口121的平均孔径在1.5英寸～2.5英寸之间，例如所述可视窗口121的平均孔径为1.5英寸、2.0英寸或2.5英寸，优选的，所述可视窗口121的平均孔径为2.0英寸。请继续参考图2所示，在本实施例中，所述盖板100呈圆形，所述透明区域110也呈圆形，所述非透明区域120呈圆环形，所述非透明区域120包围所述透明区域110。在其他实施例中，所述透明区域110也可以呈其他的形状，例如正方形、长方形或椭圆形等，当所述透明区域110呈正方形时，所述非透明区域本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种真空传送腔体的盖板，包括：透明区域和非透明区域，所述非透明区域包围所述透明区域，其特征在于，在所述非透明区域上设置有多个可视窗口。

【技术特征摘要】
1.一种真空传送腔体的盖板，包括：透明区域和非透明区域，所述非透明区域包围所述透明区域，其特征在于，在所述非透明区域上设置有多个可视窗口。2.如权利要求1所述的真空传送腔体的盖板，其特征在于，所述可视窗口均匀分布于所述非透明区域上。3.如权利要求1所述的真空传送腔体的盖板，其特征在于，在所述非透明区域上设置四个所述可视窗口。4.如权利要求3所述的真空传送腔体的盖板，其特征在于，四个所述可视窗口均匀分布于所述非透明区域上。5.如权利要求1所述的真空传送腔体的盖板，其特征在于，所述可视窗口呈圆形。6.如权利要求5所述的真...

【专利技术属性】
技术研发人员：王敏磊，阚保国，刘家桦，
申请(专利权)人：德淮半导体有限公司，
类型：新型
国别省市：江苏,32