晶圆输送装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术是关于一种晶圆输送装置，其包含一支架、一第一输送单元、一第二输送单元及一夹取单元，第一输送单元设于支架并包含一第一驱动器，第二输送单元设于第一输送单元并包含一第二驱动器，夹取单元设于第二输送单元并包含一升降器及二抓取臂，本实用新型专利技术晶圆输送装置分别以所述第一驱动器及所述第二驱动器驱动径向移动，及升降器做上下升降的提取及放置动作，及二抓取臂以滑动方式抓取晶圆盒，以简单的结构达到方便维护及维修的功效，而升降器升降提取及放置，可以配合不同高度的加工制程的机台所使用。

【技术实现步骤摘要】
晶圆输送装置
本技术是一种晶圆输送装置，尤指一种输送结构简单的晶圆输送装置。
技术介绍
半导体制程中，晶圆不能碰触到灰尘，因此在无尘室中进行加工过程，容装晶圆的容器以及晶圆运输装置就成为很关键的精密工具，容装晶圆的容器常用前开式晶圆盒(FrontOpeningUnifiedPod，简称FOUP)，可用来保护、容装晶圆，搭配前开式晶圆盒使用的运输装置，现行使用悬吊运输装置(又称天车)(OverheadHoistTransfer，简称OHT)，悬吊运输装置为避免运输前开式晶圆盒的过程中，晶圆碰撞或震动而损坏，悬吊运输装置运输的速度会减慢，造成运输时间增长，另外，悬吊运输装置运输一组前开式晶圆盒到加工制程的机台上加工时，悬吊运输装置即闲置等待前开式晶圆盒加工完毕，加工完成后悬吊运输装置才又将前开始晶圆盒运输至下一个制程，加工的效率低落。为解决上述问题，产生一种具摆动臂的晶圆盒输送装置，其包含一放置台、一第一马达、一摆动臂、一第二马达及一夹取件，该第一马达设于该放置台内部，该摆动臂设于该放置台上并可藉由该第一马达控制弧形摆动，该第二马达设于该放置台内部，该夹取件设于该摆动臂的顶端并可藉由该第二马达控制夹紧放松，该晶圆盒输送装置放在加工制程的机台旁边，当悬吊运输装置将一前开式晶圆盒放于该放置台上，该第一马达驱动该摆动臂弧形摆动到该前开式晶圆盒上，该第二马达驱动该夹取件夹紧该前开式晶圆盒，该第一马达驱动该摆动臂弧形摆动将该前开式晶圆盒放在加工制程的机台上，悬吊运输装置就能再多拿另一个前开式晶圆盒放在该具摆动臂的晶圆盒输送装置，有效利用闲置等待的时间，提升加工效率。然而，该具摆动臂的晶圆盒输送装置的装置结构复杂，该第一马达控制该摆动臂以弧形摆动，该第一马达跟该第二马达的连动关系，以及该夹取件只通过该第二马达就能控制松紧，其结构复杂导致较难维护维修，另外，该摆动臂以弧形摆动，加工制程的机台须配合该具摆动臂的晶圆盒输送装置的摆动臂能摆动到的范围，超过该摆动臂能摆动到的范围的机台就没办法与该具摆动臂的晶圆盒输送装置搭配使用，加工制程的机台的高度被摆动臂摆动的范围所限制的问题。
技术实现思路
本技术要解决的技术问题是：提供一种晶圆输送装置，改善现有晶圆盒输送装置的结构复杂导致较难维护维修，以及该摆动臂摆动的范围限制加工制程的机台的高度的问题。本技术的技术解决方案是：提供一种晶圆输送装置，其包含一支架、一第一输送单元、一第二输送单元及一抓取单元，该支架包含一架体、一置放台及二第一滑轨，该置放台形成于该架体的内部，该二第一滑轨径向设于该架体的内部并位于该置放台的两侧；该第一输送单元设于该支架上，该第一输送单元包含一滑座、一第一驱动器、二第一滑轮、一第一传动带及二第二滑轨，该滑座可径向移动地跨设在该二第一滑轨上，该第一驱动器设于该架体，该二第一滑轮径向间隔设于架体并邻近该第一驱动器，该第一传动带绕设于该二第一滑轮及该第一驱动器，且该第一传动带固定连接于该滑座，该二第二滑轨径向设于该滑座顶部；该第二输送单元设于该滑座上，该第二输送单元包含一板体、一第二驱动器、一第二滑轮及一第二传动带，该板体可径向移动地跨设在该二第二滑轨上，该第二驱动器设于该滑座的顶部，该第二滑轮设于滑座的顶部，该第二传动带绕设于该第二驱动器及该第二滑轮，且该第二传动带固定连接于该板体；该抓取单元设于该板体，该抓取单元包含一升降器、一升降件、一抓取部及二抓取臂，该升降器设于该板体上，该升降件可上下移动地设于该升降器并贯穿该板体，该抓取部设于该升降件的底端，该二抓取臂设于该抓取部的两侧。如上所述的晶圆输送装置，该架体包含一底板、多个立杆、至少一个第一径向杆及多个第二径向杆，该些立杆设于该底板上，所述第一径向杆组设于该些立杆，该些第二径向杆组设于该些立杆，该些第二径向杆到该底板的距离大于所述第一径向杆到该底板的距离。如上所述的晶圆输送装置，该置放台包含多个横杆，该些横杆组设于该些第二径向杆，该第一驱动器设置于该架体的其中一个第一径向杆上。如上所述的晶圆输送装置，该二抓取臂外型呈L型，该支架包含多个滚轮，该些滚轮设于该架体的底部。本技术晶圆输送装置有另一态样：提供一种晶圆输送装置，其包含一支架、一第一输送单元、一第二输送单元及一抓取单元，该支架包含一架体、一置放台及二第一滑轨，该置放台形成于该架体的内部，该二第一滑轨径向设于该架体的内部并位于该置放台的两侧；该第一输送单元设于该支架上，该第一输送单元包含一滑座、多个同步运作的第一驱动器、多个对应该第一驱动器的第一滑轮、多个对应该第一驱动器的第一传动带及二第二滑轨，该滑座可径向移动地跨设在该二第一滑轨上，所述第一驱动器设于该架体，所述第一滑轮径向间隔设于架体并邻近所述第一驱动器，所述第一传动带绕设于所述第一滑轮及所述第一驱动器，且所述第一传动带固定连接于该滑座，该二第二滑轨径向设于该滑座顶部；该第二输送单元设于该滑座上，该第二输送单元包含一板体、多个同步运作的第二驱动器、多个对应该第二驱动器的第二滑轮及多个对应该第二驱动器的第二传动带，该板体可径向移动地跨设在该二第二滑轨上，所述第二驱动器设于该滑座的顶部，所述第二滑轮设于滑座的顶部，所述第二传动带绕设于所述第二驱动器及所述第二滑轮，且所述第二传动带固定连接于该板体；该抓取单元设于该板体，该抓取单元包含一升降器、一升降件、一抓取部及二抓取臂，该升降器设于该板体上，该升降件可上下移动地设于该升降器并贯穿该板体，该抓取部设于该升降件的底端，该二抓取臂设于该抓取部的两侧。如上所述的晶圆输送装置，该架体包含一底板、多个立杆、至少一个第一径向杆及多个第二径向杆，该些立杆设于该底板上，所述第一径向杆组设于该些立杆，该些第二径向杆组设于该些立杆，该些第二径向杆到该底板的距离大于所述第一径向杆到该底板的距离。如上所述的晶圆输送装置，该置放台包含多个横杆，该些横杆组设于该些第二径向杆，该第一驱动器设置于该架体的其中一个第一径向杆上。如上所述的晶圆输送装置，该二抓取臂外型呈L型，该支架包含多个滚轮，该些滚轮设于该架体的底部。本技术的优点是：分别以所述第一驱动器及所述第二驱动器驱动径向移动，以及该升降器做上下升降的提取及放置动作，以及该二抓取臂以滑动方式抓取该晶圆盒，皆为简单的结构输送，达到方便维护及维修的功效，而该升降器做上下升降的提取及放置，可以配合不同高度的加工制程的机台所使用。附图说明图1为本技术晶圆输送装置的一具体实施例的抓取单元移动至二第二滑轨中段处的立体示意图。图2为本技术晶圆输送装置的一具体实施例的初始状态的前视示意图。图3为本技术晶圆输送装置的一具体实施例的初始状态的侧视示意图。图4为本技术晶圆输送装置的一具体实施例的操作状态(一)的前视示意图。图5为本技术晶圆输送装置的一具体实施例的操作状态(一)的侧视示意图。图6为本技术晶圆输送装置的一具体实施例的操作状态(二)的前视示意图。图7为本技术晶圆输送装置的一具体实施例的操作状态(三)的前视示意图。图8为本技术晶圆输送装置的一具体实施例的操作状态(四)的前视示意图。图9为本技术晶圆输送装置的一具体实施例的操作状态(五)的前视示意图。附图标号简单说明：10支架11本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种晶圆输送装置，其特征在于，该晶圆输送装置包含：一支架，该支架包含一架体、一置放台及二第一滑轨，该置放台系形成于该架体的内部，该二第一滑轨径向设于该架体的内部并位于该置放台的两侧；一第一输送单元，其设于该支架上，该第一输送单元包含一滑座、一第一驱动器、二第一滑轮、一第一传动带及二第二滑轨，该滑座可径向移动地跨设在该二第一滑轨上，该第一驱动器设于该架体，该二第一滑轮径向间隔设于架体并邻近该第一驱动器，该第一传动带绕设于该二第一滑轮及该第一驱动器，且该第一传动带固定连接于该滑座，该二第二滑轨径向设于该滑座顶部；一第二输送单元，其设于该滑座上，该第二输送单元包含一板体、一第二驱动器、一第二滑轮及一第二传动带，该板体可径向移动地跨设在该二第二滑轨上，该第二驱动器设于该滑座的顶部，该第二滑轮设于滑座的顶部，该第二传动带绕设于该第二驱动器及该第二滑轮，且该第二传动带固定连接于该板体；以及一抓取单元，其设于该板体，该抓取单元包含一升降器、一升降件、一抓取部及二抓取臂，该升降器设于该板体上，该升降件可上下移动地设于该升降器并贯穿该板体，该抓取部设于该升降件的底端，该二抓取臂设于该抓取部的两侧。

【技术特征摘要】
2017.02.22 TW 1062025971.一种晶圆输送装置，其特征在于，该晶圆输送装置包含：一支架，该支架包含一架体、一置放台及二第一滑轨，该置放台系形成于该架体的内部，该二第一滑轨径向设于该架体的内部并位于该置放台的两侧；一第一输送单元，其设于该支架上，该第一输送单元包含一滑座、一第一驱动器、二第一滑轮、一第一传动带及二第二滑轨，该滑座可径向移动地跨设在该二第一滑轨上，该第一驱动器设于该架体，该二第一滑轮径向间隔设于架体并邻近该第一驱动器，该第一传动带绕设于该二第一滑轮及该第一驱动器，且该第一传动带固定连接于该滑座，该二第二滑轨径向设于该滑座顶部；一第二输送单元，其设于该滑座上，该第二输送单元包含一板体、一第二驱动器、一第二滑轮及一第二传动带，该板体可径向移动地跨设在该二第二滑轨上，该第二驱动器设于该滑座的顶部，该第二滑轮设于滑座的顶部，该第二传动带绕设于该第二驱动器及该第二滑轮，且该第二传动带固定连接于该板体；以及一抓取单元，其设于该板体，该抓取单元包含一升降器、一升降件、一抓取部及二抓取臂，该升降器设于该板体上，该升降件可上下移动地设于该升降器并贯穿该板体，该抓取部设于该升降件的底端，该二抓取臂设于该抓取部的两侧。2.根据权利要求1所述的晶圆输送装置，其特征在于，该架体包含一底板、多个立杆、至少一个第一径向杆及多个第二径向杆，该些立杆设于该底板上，所述第一径向杆组设于该些立杆，该些第二径向杆组设于该些立杆，该些第二径向杆到该底板的距离大于所述第一径向杆到该底板的距离。3.根据权利要求2所述的晶圆输送装置，其特征在于，该置放台包含多个横杆，该些横杆组设于该些第二径向杆，该第一驱动器设置于该架体的其中一个第一径向杆上。4.根据权利要求1至3中任一项所述的晶圆输送装置，其特征在于，该二抓取臂外型呈L型，该支架包含多个滚轮，该些滚轮设于该架体的底部。5.一种晶圆输...

【专利技术属性】
技术研发人员：林明峣，
申请(专利权)人：林明峣，
类型：新型
国别省市：中国台湾,71