行驶车系统技术方案

本发明专利技术的行驶车系统即使在上游侧轨道和下游侧轨道的位置变动了的情况下，也能够使可动轨道退避，并且抑制上游侧轨道或下游侧轨道与可动轨道之间的间隔变宽。行驶轨道(20)具备：安装在系统顶棚(13)上的上游侧轨道(21)和下游侧轨道(22)，能够在第1位置(P1)与第2位置(P2)之间移动的可动轨道(23)，设置在上游侧轨道(21)上、第1端部(40a)与上游侧轨道(21)连接并且第2端部(40b)为自由端、靠弹性部件(43)伸缩的伸缩轨道(24)；伸缩轨道(24)的第2端部(40b)被向第1位置(P1)移动的可动轨道(23)推挤，在留有进一步收缩的余地的状态下收缩，在可动轨道(23)移动到第2位置(P2)之际，在第2端部(40b)与下游侧轨道(22)之间形成厂房(50)所具备的防火卷帘(12b)能够通过的空间(K)。

【技术实现步骤摘要】
行驶车系统
本专利技术涉及行驶车系统。
技术介绍
在半导体制造工厂等中，为了输送容纳了半导体晶圆或掩模版等的各种容器(FOUP、掩模版盒等)，使用了沿铺设在顶棚的行驶轨道行驶的行驶车系统。在这样的制造工厂的厂房内，存在根据消防法要求的消防分区设定，有时利用厂房具备的防火卷帘形成消防分区，但有时在防火卷帘通过的空间内配置行驶车系统的行驶轨道。因此提出了为了关闭防火卷帘而使行驶轨道的一部分为可动轨道，通过使该可动轨道从防火卷帘通过的空间退避来关闭防火卷帘的结构(参照例如专利文献1)。【专利文献1】日本特许第4193174号公报在所述行驶车系统中，上游侧轨道和下游侧轨道有时安装在厂房所具备的系统顶棚上。这种情况下，如果由于地震等原因系统顶棚的位置在水平方向上变动，则上游侧轨道和下游侧轨道的位置也变动，可动轨道有时被夹在上游侧轨道与下游侧轨道之间被保持，存在不能移动了的情况。在这种情况下，有时成为关闭防火卷帘时的障碍。并且，有时也由于系统顶棚的变动而使上游侧轨道或下游侧轨道与可动轨道之间的间隔变大了，这种情况下，存在行驶车不能行驶或者在行驶时向行驶车的振动变大的问题。
技术实现思路
鉴于以上情形，本专利技术的目的在于：提供即使在上游侧轨道和下游侧轨道的位置变动了的情况下也能够使可动轨道退避、而且能够抑制上游侧轨道或下游侧轨道与可动轨道之间的间隔变宽的行驶车系统。本专利技术为具备行驶车的行驶轨道的行驶车系统，行驶轨道具备：安装在厂房所具备的系统顶棚上的上游侧轨道和下游侧轨道，能够在与上游侧轨道和下游侧轨道连通的第1位置、和在相对于行驶轨道的延伸方向倾斜的方向上移动了的第2位置之间移动的可动轨道，以及设置在上游侧轨道和下游侧轨道中的一方上、一端与上游侧轨道或下游侧轨道连接并且另一端为自由端、利用弹性部件伸缩的伸缩轨道；伸缩轨道，在该伸缩轨道的另一端被向第1位置移动的可动轨道推挤而留有进一步收缩的余地的状态下收缩，当可动轨道移动到了第2位置之际，在另一端与上游侧轨道或上述下游侧轨道之间形成厂房所具备的防火卷帘能够通过的空间。并且，也可以在可动轨道和伸缩轨道中的一方上设置有引导辊，该引导辊当可动轨道朝向第1位置移动之际与另一方轨道相抵接而滚动，在另一方轨道上设置有当可动轨道到达了第1位置时引导辊进入的凹陷部。并且，也可以伸缩轨道具备：沿着行驶轨道的延伸方向设置的引导部，以及能够沿着引导部移动的多个分段轨道；弹性部件分别设置在多个分段轨道彼此之间。并且，也可以在上游侧轨道或下游侧轨道上设置有止动件，该止动件限制可动轨道在从第2位置朝向第1位置移动的方向上越过第1位置地移动。专利技术的效果：根据本专利技术的行驶车系统，由于可动轨道配置在第一位置时伸缩轨道变成收缩的状态，因此即使在上游侧轨道和下游侧轨道的位置变动了的情况下，通过伸缩轨道伸缩也能良好地维持与可动轨道的连接状态。由此，能够可靠地使可动轨道向第2位置退避，能够关闭防火卷帘。并且，能够抑制上游侧轨道或下游侧轨道与可动轨道之间的间隔变宽，由此能够避免行驶车不能行驶或者给行驶车带来大的振动，能够确保行驶车顺畅地行驶。并且，在可动轨道和伸缩轨道中的一方轨道上设置所述引导辊、在另一方轨道上设置所述凹陷部的情况下，能够利用引导辊顺畅地进行可动轨道与伸缩轨道的连接，而且，通过引导辊进入凹陷部，能够容易地确定可动轨道和伸缩轨道的位置。并且，在伸缩轨道具备所述引导部和所述分段轨道、弹性部件分别设置在多个分段轨道彼此之间的情况下，能够容易地确保伸缩轨道的伸缩，而且，通过改变分段轨道的数量，能够容易地调整伸缩轨道的长度。并且，在上游侧轨道或下游侧轨道上设置有限制可动轨道在从第2位置向第1位置移动的方向上越过第1位置地移动的止动件的情况下，能够利用止动件限制可动轨道越过第1位置地移动，能够可靠地进行可动轨道与伸缩轨道的连接。附图说明图1为表示实施方式所涉及的行驶车系统的一例的图；图2为表示行驶轨道和行驶车的一部分的剖视图；图3为表示可动轨道的动作的俯视图，(A)为可动轨道位于第1位置的状态，(B)为可动轨道位于第2位置的状态；图4为表示伸缩轨道的一例的图；图5为表示可动轨道与伸缩轨道的连接部分的俯视图，(A)为引导辊与引导面相抵接的状态，(B)为引导辊进入了凹陷部的状态；图6为表示可动轨道与伸缩轨道的连接部分的剖视图，(A)为两者分离的状态，(B)为两者连接的状态；图7为表示图6的连接部分的俯视图，(A)为两者分离的状态，(B)为两者连接的状态；图8为表示系统顶棚沿靠近防火墙的方向移动了的状态的图；图9为表示系统顶棚沿远离防火墙的方向移动了的状态的图。图中，K—空间；P1—第1位置；P2—第2位置；10—防火结构；12b—防火卷帘；13—系统顶棚；20—行驶轨道；21—上游侧轨道；22—下游侧轨道；23—可动轨道；23g—引导面；24—伸缩轨道；26—止动件；27—引导辊；28—凹陷部；29—定位机构；29a—辊；29b—辊；30—行驶车；40a—第1端部(一端)；40b—第2端部(另一端)；41—引导部；42—分段轨道；42g—引导面；43—弹性部件；50—厂房；51—消防分区；52—顶棚部；100—行驶车系统具体实施方式下面参照附图说明本专利技术的实施方式。但是，本专利技术并不局限于此。并且，在附图中，为了说明实施方式，将一部分放大或者强调进行描述等，适当变更比例进行表达。在以下各图中，使用XYZ坐标系说明图中的方向。在该XYZ坐标系中，将与水平面平行的平面作为XY平面。在该XY平面中，将行驶车30的行驶方向标记为X方向，将与水平方向中的X方向正交的方向标记为Y方向。另外，虽然行驶车30的行驶方向从以下图示的状态变化成其他的方向，但在本说明书中将行驶车30的行驶方向作为X方向进行说明。并且，将与XY平面垂直的方向标记为Z方向。X方向、Y方向和Z方向分别以图中的箭头方向为“+”方向、与箭头方向相反的方向为“－”方向进行说明。图1为表示行驶车系统100的一例的侧视图。如图1所示，行驶车系统100以穿过形成防火结构10的区域的方式设置，具有行驶轨道20和行驶车30。防火结构10具有安装在防火墙11上的防火门12。防火墙11在厂房50内围绕消防分区51而设置。另外，消防分区51根据消防法等的要求围绕厂房50的预定区域而设定。防火墙11用混凝土或耐火板等与厂房50一体地设置在厂房50的顶棚部52上。顶棚部52具备系统顶棚13。如图1所示，系统顶棚13安装在厂房50的顶棚部52。系统顶棚13以用多个悬吊构件13a从顶棚部52悬吊的状态支承。另外，系统顶棚13的支承结构并不局限于用悬吊构件13a悬吊支承，也可以使用其他的支承结构。系统顶棚13隔着防火墙11配置在两侧。如图1所示，防火门12具有防火门主体12a和防火卷帘12b。该防火门12安装于设置在防火墙11的一部分上的未图示的开口部，通过放下防火卷帘12b能够将防火墙11的开口部关闭。防火门主体12a利用未图示的固定部件固定在防火墙11上。防火门主体12a具备将防火卷帘12b容纳在上端部的容纳部。防火卷帘12b使用例如具有一定厚度的板状部件，通过操作者手动操作或者未图示的卷帘驱动部等从防火门主体12a的容纳部下降。另外，防火卷帘12b也可以是沿着设置在防火门主本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种行驶车系统，具备行驶车的行驶轨道，上述行驶轨道具备：安装在厂房所具备的系统顶棚上的上游侧轨道和下游侧轨道，能够在与上述上游侧轨道和上述下游侧轨道连通的第1位置、和在相对于上述行驶轨道的延伸方向倾斜的方向上移动了的第2位置之间移动的可动轨道，以及设置在上述上游侧轨道和上述下游侧轨道中的一方上、一端与上述上游侧轨道或上述下游侧轨道连接并且另一端为自由端、利用弹性部件伸缩的伸缩轨道；上述伸缩轨道，在该伸缩轨道的上述另一端被向上述第1位置移动的上述可动轨道推挤而留有进一步收缩的余地的状态下收缩，当上述可动轨道移动到了上述第2位置之际，在上述另一端与上述上游侧轨道或上述下游侧轨道之间形成上述厂房所具备的防火卷帘能够通过的空间。

【技术特征摘要】
2017.04.11 JP 2017-0782451.一种行驶车系统，具备行驶车的行驶轨道，上述行驶轨道具备：安装在厂房所具备的系统顶棚上的上游侧轨道和下游侧轨道，能够在与上述上游侧轨道和上述下游侧轨道连通的第1位置、和在相对于上述行驶轨道的延伸方向倾斜的方向上移动了的第2位置之间移动的可动轨道，以及设置在上述上游侧轨道和上述下游侧轨道中的一方上、一端与上述上游侧轨道或上述下游侧轨道连接并且另一端为自由端、利用弹性部件伸缩的伸缩轨道；上述伸缩轨道，在该伸缩轨道的上述另一端被向上述第1位置移动的上述可动轨道推挤而留有进一步收缩的余地的状态下收缩，当上述可动轨道移动到了上述第2位置之际，在上述另一端与上述上游侧轨...

【专利技术属性】
技术研发人员：泉孝宪，
申请(专利权)人：村田机械株式会社，
类型：发明
国别省市：日本,JP