一种基于微机电系统的广域激光雷达系统技术方案

本发明专利技术涉及一种基于微机电系统的广域激光雷达系统，包括：激光器，用于发射激光；MEMS微镜装置，用于改变激光的角度，实现对目标区域的激光扫描；信号处理装置，用于接收并信息处理目标区域反射的激光，得到目标反射物的位置；所述MEMS微镜装置包括：MEMS半球面微镜，用于改变激光的角度，实现对目标区域的激光扫描；移动模块，用于固定MEMS半球面微镜，实现MEMS半球面微镜的移动。与现有技术相比，本发明专利技术具有扫描范围广、灵活性强以及节省成本等优点。

A wide area lidar system based on MEMS

The present invention relates to a wide-area laser radar system based on micro-electro-mechanical system, including: laser for laser emission; MEMS micro-mirror device for laser scanning of target area by changing laser angle; signal processing device for receiving and processing laser reflected from target area to obtain target reflection. The position of the object; the MEMS micromirror device includes: a hemispherical micromirror for changing the laser angle to achieve laser scanning of the target area; a moving module for fixing the hemispherical micromirror of the MEMS to achieve the movement of the hemispherical micromirror of the MEMS. Compared with the prior art, the invention has the advantages of wide scanning range, strong flexibility and cost saving.

【技术实现步骤摘要】
一种基于微机电系统的广域激光雷达系统
本专利技术涉及汽车雷达领域，尤其是涉及一种基于微机电系统的广域激光雷达系统。
技术介绍
无人自动驾驶车辆是室外轮式移动机器人在交通领域的重要应用，它从根本上改变了传统的车辆控制方式，可大大提高交通系统的效率和安全性。其中环境感知技术是目前制约其发展的关键因素，而环境感知的进步又完全取决于低成本激光雷达的普及。目前市面上可见的车载激光雷达，基本都是机械式的环视高速旋转扫描，其机械式的设计直接构成了以下问题：1)光路调试和装配复杂，生产周期长，成本高(几百美元至上万美元不等)；2)机械旋转部件在行车环境下的可靠性低；3)雷达体积大，安装在汽车上带来大的风阻和噪音。为了大幅度地降低激光雷达的成本，减少活动部件提高可靠性，激光雷达的发展方向已转向固态激光雷达。目前固态激光雷达已形成三种技术路线：MEMS、OPA与Flash。其中MEMS(Micro-Electro-MechanicalSystem，微机电系统)将原本体积较大的机械结构通过微电子工艺集成在硅基芯片上，从而极大减小设备体积，并能降低成本(一百美元左右)。MEMS激光雷达的工作原理和所有的激光本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种基于微机电系统的广域激光雷达系统，包括：激光器，用于发射激光；MEMS微镜装置，用于改变激光的角度，实现对目标区域的激光扫描；信号处理装置，用于接收并信息处理目标区域反射的激光，得到目标反射物的位置；其特征在于，所述MEMS微镜装置包括：MEMS半球面微镜，用于改变激光的角度，实现对目标区域的激光扫描；移动模块，用于固定MEMS半球面微镜，实现MEMS半球面微镜的移动。

【技术特征摘要】
1.一种基于微机电系统的广域激光雷达系统，包括：激光器，用于发射激光；MEMS微镜装置，用于改变激光的角度，实现对目标区域的激光扫描；信号处理装置，用于接收并信息处理目标区域反射的激光，得到目标反射物的位置；其特征在于，所述MEMS微镜装置包括：MEMS半球面微镜，用于改变激光的角度，实现对目标区域的激光扫描；移动模块，用于固定MEMS半球面微镜，实现MEMS半球面微镜的移动。2.根据权利要求1所述的基于微机电系统的广域激光雷达系统，其特征在于，所述移动模块包括：活动底座，所述MEMS半球面微镜固定于活动底座上，用于实现MEMS半球面微镜在平面上任意方向的移动；施力组件，与活动底座连接，用于实现活动底座的移动。3.根据权利要求2所述的基于微机电系统的广域激光雷达系统，其特征在于，所述活动底座包括底座本体、传感芯片和柔性支撑梁，所述传感芯片固定于底座本体内部，所述底座本体架设于柔性支撑梁上，所述MEMS半球面微镜固定于底座本体上。4.根据权利要求3所述的基于微机电系统的广域激光雷达系统，其特征在于，所述柔性支撑梁的数量至少为2个，包括...

【专利技术属性】
技术研发人员：郭晓波，张薏，
申请(专利权)人：上海思致汽车工程技术有限公司，
类型：发明
国别省市：上海,31