下载一种基于微机电系统的广域激光雷达系统的技术资料

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本发明涉及一种基于微机电系统的广域激光雷达系统,包括:激光器,用于发射激光;MEMS微镜装置,用于改变激光的角度,实现对目标区域的激光扫描;信号处理装置,用于接收并信息处理目标区域反射的激光,得到目标反射物的位置;所述MEMS微镜装置包括:...
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