The invention relates to a coil mechanism and a magnetron sputtering device. The coil mechanism is located on the back of the target material in the magnetron sputtering device to provide a magnetic field environment for the magnetron sputtering device. The coil mechanism is characterized in that the coil mechanism comprises a first coil unit comprising a ring structure composed of conductive wires and a strip structure composed of wires. Located in the annular structure, the annular structure is opposite to the magnetic pole on one side of the target near the target in the energized state. The coil mechanism and the magnetron sputtering device can change the magnetic field intensity by adjusting the DC current of the coil mechanism during the coating process, so as to adjust the sputtering rate and avoid the target fire.
【技术实现步骤摘要】
线圈机构及磁控溅射装置
本专利技术涉及磁控溅射领域,特别是涉及一种线圈机构及磁控溅射装置。
技术介绍
现有的磁控溅射装置在镀膜过程中,随着靶材溅射损耗,一般通过增加镀膜功率的方式维持原有的镀膜速率,以使膜层厚度均匀。但增加镀膜功率时,容易导致靶材打火,影响膜层溅射质量。
技术实现思路
基于此,有必要针对上述问题,提供一种结构及磁控溅射装置。一种线圈机构,设于磁控溅射装置内的靶材的背面,以为磁控溅射装置提供磁场环境,所述线圈机构包括第一线圈单元,所述第一线圈单元包括由导电线构成的环形结构以及由导线构成的条形结构,所述条形结构位于所述环形结构内,在通电状态下,所述环形结构靠近所述靶材的一侧与所述条形结构靠近所述靶材的一侧磁极相反。在其中一个实施例中,所述环形结构包括两个直线部以及两个弧形部,两个所述直线部平行间隔排布,且分别位于所述条形结构的相对的两侧,两个所述弧形部分别位于所述条形结构的相对的两端。在其中一个实施例中,每一所述弧形部分别与两个所述直线部连接。在其中一个实施例中,所述第一线圈单元的数目为多个,多个所述第一线圈单元沿与所述条形结构垂直的方向排布,且相邻两个所述环形结构具有共用部。在其中一个实施例中,所述线圈机构还包括构成部,每一所述构成部位于相邻两个所述条形结构的端部,相邻两个所述条形结构以及与该相邻两个所述条形结构对应的两个所述构成部,以及位于该相邻两个所述条形结构之间的所述共用部共同构成所述线圈机构的第二线圈单元。在其中一个实施例中,所述第一线圈单元的数目为偶数个,在沿与所述条形结构垂直的方向上,位于两端的两个所述环形结构的外侧为外边部;所述线圈 ...
【技术保护点】
1.一种线圈机构,设于磁控溅射装置内的靶材的背面,以为磁控溅射装置提供磁场环境,其特征在于,所述线圈机构包括第一线圈单元,所述第一线圈单元包括由导电线构成的环形结构以及由导线构成的条形结构,所述条形结构位于所述环形结构内,在通电状态下,所述环形结构靠近所述靶材的一侧与所述条形结构靠近所述靶材的一侧磁极相反。
【技术特征摘要】
1.一种线圈机构,设于磁控溅射装置内的靶材的背面,以为磁控溅射装置提供磁场环境,其特征在于,所述线圈机构包括第一线圈单元,所述第一线圈单元包括由导电线构成的环形结构以及由导线构成的条形结构,所述条形结构位于所述环形结构内,在通电状态下,所述环形结构靠近所述靶材的一侧与所述条形结构靠近所述靶材的一侧磁极相反。2.根据权利要求1所述的线圈机构,其特征在于,所述环形结构包括两个直线部以及两个弧形部,两个所述直线部平行间隔排布,且分别位于所述条形结构的相对的两侧,两个所述弧形部分别位于所述条形结构的相对的两端。3.根据权利要求2所述的线圈机构,其特征在于,每一所述弧形部分别与两个所述直线部连接。4.根据权利要求1所述的线圈机构,其特征在于,所述第一线圈单元的数目为多个,多个所述第一线圈单元沿与所述条形结构垂直的方向排布,且相邻两个所述环形结构具有共用部。5.根据权利要求4所述的线圈机构,其特征在于,所述线圈机构还包括构成部,每一所述构成部位于相邻两个所述条形结构的端部,相邻两个所述条形结构以及与该相邻两个所述条形结构对应的两个所述构成部,以及位于该相邻两个所述条形结构之间的所述共用部共同构成所述线圈机构的...
【专利技术属性】
技术研发人员:周慧蓉,张迅,郑芳平,张伯伦,易伟华,
申请(专利权)人:江西沃格光电股份有限公司,
类型:发明
国别省市:江西,36
还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。