The utility model discloses a device for converting a graphite boat to a silicon wafer, including a base, a positioning mechanism for locating the Shi Mozhou, one or more vibration devices set on the base, a vibration source, and a controllable butt structure butted with the positioning mechanism, and the vibration source is passed through. The docking structure transfers vibration to the graphite boat. The utility model prolongs the service life of Shi Mozhou, reduces the maintenance cost, and is suitable for the use of graphite boat slices with different wearing degrees.
【技术实现步骤摘要】
用于石墨舟归整硅片的装置
本技术涉及光伏制造领域,尤其涉及一种用于石墨舟归整硅片的装置。
技术介绍
经过近十年的努力,我国已成为全世界最大的光伏制造及光伏应用国。光伏制造涉及多种装置和设备,其中,石墨舟是太阳能电池片镀减反射膜时的一种载体。现有的石墨舟包括:石墨舟片、陶瓷套、陶瓷杆、石墨杆、石墨隔块等石墨配件。其工作原理为,将未镀膜的硅片放在石墨舟片的卡点上,每个舟片上可放固定数量的硅片。然后,将石墨舟放置在PECVD真空镀膜设备的腔体内,采用PECVD工艺进行放电镀膜。镀膜结束后,取出石墨舟,将硅片从石墨舟上卸取下来。随着时间的推移,作为光伏行业重要治具,石墨舟普遍存在正常使用磨损老化的情况,直接影响石墨舟装卸片机自动装片的成功率,经常发生插片不到位的情况,对后续工艺生产造成不利的影响。
技术实现思路
本技术的目的是针对上述现有技术存在的缺陷,提供一种用于石墨舟归整硅片的装置。本技术采用的技术方案是,一种用于石墨舟归整硅片的装置,包括:底座;定位机构,用于对所述石墨舟进行定位;一个或多个振动装置,设置在所述底座上,设置有振动源、以及与所述定位机构对接的并可控的对接结构,所述振动源通过所述对接结构将振动传递到所述石墨舟上。优选为,所述对接结构包括振动传递板以及与所述振动传递板传动连接的提升机构,所述振动源安装在所述振动传递板上,所述提升机构用于将所述振动传递板进行提升以使其与所述定位机构实现对接。优选为,所述提升机构包括:气缸,所述气缸的推杆与所述振动传递板传动连接以用于提升所述振动传递板。优选为,所述气缸水平置于所述底座上,所述气缸的推杆末端设置有一气缸顶升块, ...
【技术保护点】
1.一种用于石墨舟归整硅片的装置,其特征在于,包括:底座;定位机构,用于对所述石墨舟进行定位;一个或多个振动装置,设置在所述底座上,设置有振动源、以及与所述定位机构对接的并可控的对接结构,所述振动源通过所述对接结构将振动传递到所述石墨舟上。
【技术特征摘要】
1.一种用于石墨舟归整硅片的装置,其特征在于,包括:底座;定位机构,用于对所述石墨舟进行定位;一个或多个振动装置,设置在所述底座上,设置有振动源、以及与所述定位机构对接的并可控的对接结构,所述振动源通过所述对接结构将振动传递到所述石墨舟上。2.根据权利要求1所述的用于石墨舟归整硅片的装置,其特征在于,所述对接结构包括振动传递板以及与所述振动传递板传动连接的提升机构,所述振动源安装在所述振动传递板上,所述提升机构用于将所述振动传递板进行提升以使其与所述定位机构实现对接。3.根据权利要求2所述的用于石墨舟归整硅片的装置,其特征在于,所述提升机构包括:气缸,所述气缸的推杆与所述振动传递板传动连接以用于提升所述振动传递板。4.根据权利要求3所述的用于石墨舟归整硅片的装置,其特征在于,所述气缸水平置于所述底座上,所述气缸的推杆末端设置有一气缸顶升块,所述振动传递板下侧设置有第一垫块,所述第一垫块与所述气缸顶升块之间相对垂直设置并通过斜面接触,当所述气缸推动所述气缸顶升块时通过所述斜面将所述第一垫块顶起进而顶起所述振动传递板。5.根据权利要求4所述的用于石墨舟归整硅片的装置...
【专利技术属性】
技术研发人员:杜晓铭,余仲,李操政,唐晓宇,张勇,
申请(专利权)人:深圳市捷佳伟创新能源装备股份有限公司,
类型:新型
国别省市:广东,44
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