一种单片太阳能电池片边缘刻蚀用防挤压夹具制造技术

本发明专利技术公开了一种单片太阳能电池片边缘刻蚀用防挤压夹具，包括基板、夹设装置以及固定装置，所述夹设装置和固定装置均设置于基板上；夹设装置，包括夹板、底板以及按钮开关，所述夹板固定于基板上，所述夹板一侧侧壁开设有安装槽和开关槽，所述安装槽内固定有电动推杆一，所述按钮开关活动插设于开关槽内，所述按钮开关固定于弹簧上；固定装置包括移动板、保护罩以及真空吸盘，所述电动推杆二和真空吸盘均电性连接于控制面板上。本发明专利技术可以将无法直接堆叠夹设的单片电池片进行固定夹设，从而在不会夹碎电池片以及不会破坏电池片表面PN结的情况下，合理有效地进行边缘刻蚀，大大提高了工作效率，也避免了大量的经济损失。

An anti squeezing clamp for single chip solar cell edge etching

The invention discloses an anti extrusion clamp for the edge etching of a single chip solar cell, including a substrate, a clamping device and a fixing device. The clamping device and a fixing device are arranged on a substrate. A clamping device, including a splint, a bottom plate and a button switch, is fixed on a substrate and one side side of the splint. The wall is provided with an installation slot and a switch slot. The installation slot is fixed with an electric push rod. The button switch is inserted in the switch slot and the button switch is fixed on the spring. The fixing device includes a moving plate, a protective cover, and a vacuum sucker. The electric push rod two and the true air sucker are electrically connected to the control panel. . The invention can fix the single cell plate which can not be directly stacked, so that the edge etching can be carried out reasonably and effectively without breaking the chip and destroying the PN junction of the surface of the battery sheet, greatly improving the working efficiency and avoiding a large amount of economic loss.

【技术实现步骤摘要】
一种单片太阳能电池片边缘刻蚀用防挤压夹具
本专利技术涉及太阳能电池
，具体为一种单片太阳能电池片边缘刻蚀用防挤压夹具。
技术介绍
在太阳能电池片制作工艺步骤如下：1、制绒，将硅片表面腐蚀成金字塔状的形貌；2、扩散，硅片表面形成PN结；3、刻蚀，将硅片边缘的PN结去掉，防止电池短路；4、去PSG，清洗硅片表面，去除二氧化硅层；5、PECVD，在硅片表面镀一层减反射膜；6、印刷烧结，印刷电极及背场，并烘干烧结。面对全球能源危机，太阳能光伏发电技术已经成为半导体行业的新的发展热点，晶硅太阳能电池制造分为制绒、扩散、等离子刻蚀、PSG清洗、PECVD镀膜、丝网印刷、烧结等工序，而扩散工艺会导致硅片边缘出现N型结层，会导致电池正负电极出现N型导通通路，影响太阳能电池的发电效率，因此需要将该层物质去除。等离子刻蚀工艺是一种常用的刻蚀方法，该工艺是在辉光放电条件下将气体CF4激发成等离子体，对硅片周边进行刻蚀。等离子刻蚀是目前产业常用的刻蚀方法之一，其原理为采用CF4和O2作为反应气体，将硅片叠放在一起后，让裸露出来的边缘的硅材料和反应气体反生反应，最终起到边缘刻蚀的效果，打断电池正负两级的导通通路。从刻蚀的原理可看出，刻蚀夹具是影响刻蚀效果的重要因素，夹具对硅片的施压太大会导致硅片碎裂，施压太小或者不均匀会导致反应气体渗透至硅片上下表面，对不需要刻蚀的区域造成损伤，影响发电效率。传统夹具结构简单，刻蚀效果不稳定，刻蚀夹具结构为采用两块金属矩形板，金属板两相对边连接有金属螺杆，两侧通过螺杆和螺栓将两块金属板间的硅片夹紧。现有技术中申请号为201120531290.4的“一种太阳能电池片的刻蚀夹具”、申请号为201110309173.8的“一种晶硅太阳能电池干法刻蚀夹具”以及申请号为201621296389.X的“一种晶硅太阳能电池片的刻蚀夹具”这三个申请文件均可以解决传统夹具的缺陷，这三种夹具均是通过先将电池片堆叠放置于两块夹板之间，然后放入等离子刻蚀机内进行边缘刻蚀。但是上述的申请文件在进行边缘刻蚀时，还存在较为明显的缺陷：1、虽然可以使电池片在夹设时受力更加均匀，但是一批电池片中仍然会存在少部分电池片表面过于光滑，无法很好的与其余电池片完成堆叠夹设，容易发生滑动，此时需要将这部分电池片选出，单独进行边缘刻蚀，但是由于表面更光滑，夹具提供的力度必须更大，则更容易造成电池片损坏，产生经济损失；2、使用夹具对电池片进行堆叠夹设，一定会对电池片上表面的PN结造成磨损，从而影响电池片的光电转换效率，造成不必要的损失。
技术实现思路
本专利技术的目的在于提供一种单片太阳能电池片边缘刻蚀用防挤压夹具，以解决上述
技术介绍
中提出的问题。为实现上述目的，本专利技术提供如下技术方案：一种单片太阳能电池片边缘刻蚀用防挤压夹具，包括基板、夹设装置以及固定装置，所述夹设装置和固定装置均设置于基板上；夹设装置，包括夹板、底板以及按钮开关，所述夹板固定于基板上，所述夹板一侧侧壁开设有安装槽和开关槽，所述安装槽设置于基板和开关槽之间，所述安装槽内固定有电动推杆一，所述底板活动插接于安装槽内，且底板固定于电动推杆一杆体上，所述开关槽内固定有弹簧，所述按钮开关活动插设于开关槽内，所述按钮开关固定于弹簧上，所述按钮开关与电动推杆一电性连接；固定装置，包括移动板、保护罩以及真空吸盘，所述移动板活动设置于基板上，所述移动板上设置有控制面板，所述移动板靠近安装槽一侧固定有电动推杆二，所述保护罩固定于电动推杆二杆体上，所述保护罩中活动插设有固定杆，所述固定杆一端固定于移动板上，所述真空吸盘固定于固定杆远离移动板一端，所述电动推杆二和真空吸盘均电性连接于控制面板上。优选的，所述夹板靠近移动板一侧侧壁上设置有缓冲层。优选的，所述保护罩与固定杆连接处设置有密封套。优选的，所述固定杆对称设置于电动推杆二两侧。优选的，所述移动板靠近基板一端固定有滑块，所述滑块活动设置于滑槽中，所述滑槽开设在基板上。优选的，所述移动板上固定有真空发生器，所述真空发生器分别连接于真空吸盘和控制面板上。与现有技术相比，本专利技术的有益效果是：本专利技术中底板用来放置单片电池片，然后推动移动板向夹板一侧移动，固定杆上的真空吸盘直接将电池片吸附固定住，然后将电池片推动至贴设在夹板侧壁上，电池片触碰到按钮开关，底板运动至安装槽内，不再对电池片起支撑作用，电池片通过真空吸盘固定在夹板和保护罩之间，然后通过保护罩的移动，将电池片远离夹板一侧表面罩住，通过夹板和保护罩很好的保护表面免受刻蚀。本专利技术通过真空吸盘的设置，避免了电池片被挤压夹设，有效的防止了碎片现象的产生，而且通过真空吸盘来吸附固定电池片的上表面，能够更好的避免上表面的PN结被破坏，不会影响电池片的光电转换效率，十分有效且值得推广。本专利技术可以将无法直接堆叠夹设的单片电池片进行固定夹设，从而在不会夹碎电池片以及不会破坏电池片表面PN结的情况下，合理有效地进行边缘刻蚀，大大提高了工作效率，也避免了大量的经济损失。附图说明图1为本专利技术的夹具整体结构示意图；图2为本专利技术的夹板结构剖视示意图；图3为本专利技术的基板与移动板连接结构示意图；图4为本专利技术的保护罩与固定杆连接结构示意图；图5为本专利技术进行刻蚀时状态示意图。图中：1基板、2夹板、3安装槽、4电动推杆一、5底板、6开关槽、7按钮开关、8弹簧、9移动板、91滑块、92滑槽、10控制面板、11电动推杆二、12保护罩、121密封套、13固定杆、14真空吸盘、141真空发生器、100电池片。具体实施方式下面将结合本专利技术实施例中的附图，对本专利技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本专利技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本专利技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本专利技术保护的范围。请参阅图1-5，本专利技术提供一种技术方案：一种单片太阳能电池片边缘刻蚀用防挤压夹具，如说明书附图1所示，包括基板1、夹设装置以及固定装置，夹设装置和固定装置均设置于基板1上，基板1的设置，方便夹具整体的移动和操作，夹设装置固定于基板1上表面，固定装置活动设置于基板1上表面，固定装置可以沿着基板1上表面平稳的移动。夹设装置，包括夹板2、底板5以及按钮开关7，夹板2固定于基板1上，夹板2垂直固定在基板1上表面，夹板2一侧侧壁开设有安装槽3和开关槽6，开关槽6设置于安装槽3上方，安装槽3设置于基板1和开关槽6之间，安装槽3内固定有电动推杆一4，电动推杆一4通过外部电源提供电能，电动推杆一4选用无锡艾尔特线性运动机械有限公司生产的DT50型电动推杆，可以在通电后直接通过开关控制往复直线运动，十分方便，底板5活动插接于安装槽3内，底板5可以在安装槽3内自由活动，且底板5固定于电动推杆一4杆体上，当电动推杆一4没有被启动时，底板5处于安装槽3外部，用来放置电池片100，当电动推杆一4启动后，电动推杆一4的杆体带动底板5向安装槽3内部运动，完全回缩至安装槽3内部，如说明书附图5所示。开关槽6内固定有弹簧8，弹簧8水平设置于开关槽6内，按钮开关7活动插设于开关槽6内，按钮开关7固定于弹簧8上，弹簧8用来起到复位的作用，按钮开关7初始状态时，按钮开关7远离弹簧8一端部分露出开关本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种单片太阳能电池片边缘刻蚀用防挤压夹具，包括基板(1)、夹设装置以及固定装置，其特征在于：所述夹设装置和固定装置均设置于基板(1)上；夹设装置，包括夹板(2)、底板(5)以及按钮开关(7)，所述夹板(2)固定于基板(1)上，所述夹板(2)一侧侧壁开设有安装槽(3)和开关槽(6)，所述安装槽(3)设置于基板(1)和开关槽(6)之间，所述安装槽(3)内固定有电动推杆一(4)，所述底板(5)活动插接于安装槽(3)内，且底板(5)固定于电动推杆一(4)杆体上，所述开关槽(6)内固定有弹簧(8)，所述按钮开关(7)活动插设于开关槽(6)内，所述按钮开关(7)固定于弹簧(8)上，所述按钮开关(7)与电动推杆一(4)电性连接；固定装置，包括移动板(9)、保护罩(12)以及真空吸盘(14)，所述移动板(9)活动设置于基板(1)上，所述移动板(9)上设置有控制面板(10)，所述移动板(9)靠近安装槽(3)一侧固定有电动推杆二(11)，所述保护罩(12)固定于电动推杆二(11)杆体上，所述保护罩(12)中活动插设有固定杆(13)，所述固定杆(13)一端固定于移动板(9)上，所述真空吸盘(14)固定于固定杆(13)远离移动板(9)一端，所述电动推杆二(11)和真空吸盘(14)均电性连接于控制面板(10)上。...

【技术特征摘要】
1.一种单片太阳能电池片边缘刻蚀用防挤压夹具，包括基板(1)、夹设装置以及固定装置，其特征在于：所述夹设装置和固定装置均设置于基板(1)上；夹设装置，包括夹板(2)、底板(5)以及按钮开关(7)，所述夹板(2)固定于基板(1)上，所述夹板(2)一侧侧壁开设有安装槽(3)和开关槽(6)，所述安装槽(3)设置于基板(1)和开关槽(6)之间，所述安装槽(3)内固定有电动推杆一(4)，所述底板(5)活动插接于安装槽(3)内，且底板(5)固定于电动推杆一(4)杆体上，所述开关槽(6)内固定有弹簧(8)，所述按钮开关(7)活动插设于开关槽(6)内，所述按钮开关(7)固定于弹簧(8)上，所述按钮开关(7)与电动推杆一(4)电性连接；固定装置，包括移动板(9)、保护罩(12)以及真空吸盘(14)，所述移动板(9)活动设置于基板(1)上，所述移动板(9)上设置有控制面板(10)，所述移动板(9)靠近安装槽(3)一侧固定有电动推杆二(11)，所述保护罩(12)固定于电动推杆二(11)杆体上，所述保护罩(12)中活动插设有固定杆(13)，所述固定杆(13)一端固定于...

【专利技术属性】
技术研发人员：谢毅，谢泰宏，周丹，张冠纶，张忠文，
申请(专利权)人：通威太阳能安徽有限公司，
类型：发明
国别省市：安徽,34