一种自动圆形硅片倒片机制造技术

本实用新型专利技术提供一种自动圆形硅片倒片机，包括机架、第一处理室和第二处理室，第一处理室和第二处理室相对隔离设置，机架中间设置倒片部，倒片部包括第一倒片机构和第二倒片机构，第一倒片机构设置在第一处理室内，第二倒片机构设置在第二处理室内。本实用新型专利技术的有益效果是解决同节距同规格片篮倒片手动操作的不足并且避免了洁净区域片篮与金属区域片篮产生的金属污染问题，自动圆形硅片倒片机，使洁净区与金属区片篮的完全隔离，避免洁净区片篮金属沾污，实现稳定高效产出。

An automatic circular silicon chip machine

The utility model provides an automatic circular silicon chip reverse machine, which comprises a frame, a first processing chamber and a second processing chamber, the first treatment room and the second processing chamber are relatively isolated, the back sheet part is arranged in the middle of the frame, the back sheet section includes the first reverse sheet mechanism and the second reverse sheet mechanism, and the first reverse sheet mechanism is arranged in the first processing room. The second reversion mechanism is set in the second processing room. The beneficial effect of the utility model is to solve the problem of metal pollution caused by the manual operation of the same pitch and the sheet basket reverse and avoid the metal pollution problem produced in the clean area piece basket and the metal zone basket. The automatic circular silicon chip reverse machine makes the clean area completely isolated from the metal area sheet basket, avoids the contamination of the metal in the clean area, and realizes the stability. Set efficient output.

【技术实现步骤摘要】
一种自动圆形硅片倒片机
本技术属于硅片生产机械
，尤其是涉及一种自动圆形硅片倒片机。
技术介绍
随着半导体行业的迅速发展，半导体硅片产能日趋扩大，需要一种自动化设备实现圆形硅片在同种片篮间的倒片。在硅片生产时会涉及到多种作业区域，大致分为洁净区域(例如万级洁净、千级洁净等)、灰区、金属区域等。由于洁净度不同，需要工装及片篮等在使用的过程中不能跨区域使用。譬如，洁净区域的片篮只能在洁净区域使用，金属区域的片篮只能在金属区域使用。因此，在实际生产工程中就产生了同种片篮间的倒片问题。目前，洁净区域与金属区域半导体硅片的倒片是通过人工手动倒片，利用治具导向，实现半导体硅片在片篮与片篮中的传递。此种手动倒片的操作方法存在以下缺点：1、人工作业失误率高；2、需配备专人进行操作；3、洁净区域的片篮与金属区域的片篮会产生交叉污染(金属)；为解决同节距同规格片篮倒片手动操作的不足和避免洁净区域片篮与金属区域片篮产生的金属污染问题，需设计开发全自动设备实现倒片技术，使洁净区与金属区片篮的完全隔离，避免洁净区片篮金属沾污，实现稳定高效产出。
技术实现思路
本技术的目的是提供一种自动圆形硅片倒片机，解决现有技术中人工作业失误率高且需专人操作的不足。为解决上述技术问题，本技术采用的技术方案是：一种自动圆形硅片倒片机，包括机架、第一处理室和第二处理室，所述第一处理室和所述第二处理室相对隔离设置，所述机架中间设置倒片部，所述倒片部包括第一倒片机构和第二倒片机构，所述第一倒片机构设置在所述第一处理室内，所述第二倒片机构设置在所述第二处理室内。优选地，所述倒片部包括：传输装置，贯穿于所述倒片部，用于传送圆形硅片；第一传感器，设置于所述第一倒片机构内，位于所述传输装置的起始位置上，用于检知有无圆形硅片；第二传感器，设置于所述第二倒片机构内，位于所述传输装置的尾端，用于检知有无圆形硅片；传输驱动装置，设置于所述传输装置的一侧，用于驱动传输装置；第一硅片定位块，设置于所述第一倒片机构内，包括硅片定位块一和硅片定位块二，所述硅片定位块一和所述硅片定位块二相对的设置于所述传输装置的两侧。第二硅片定位块，设置于所述第二倒片机构内，包括硅片定位块三和硅片定位块四，所述硅片定位块三和所述硅片定位块四相对的设置于所述传输装置的两侧。优选地，所述第一处理室还包括：满蓝上料位，上料位翻转机构和上料位提升装置，其中，满蓝上料位，用于放置和传送满蓝来料；上料位翻转机构，对满蓝来料进行翻转，使片篮处于立放状态；上料位提升装置，对处于立方状态的片篮按节距上升。优选地，所述第一处理室内还包括空篮下料位，所述空篮下料位与所述满篮上料位相对设置在所述上料翻转机构的两侧。优选地，所述上料位提升装置包括，第一片篮Y向固定装置和第一片篮X向固定装置，对片篮夹紧固定；第一片篮Y向驱动电缸，与所述第一片篮Y向固定装置通过第一连接件连接，用于带动被夹紧固定的片篮按设定的节距上升或者下降。优选地，所述第二处理室还包括：空蓝上料位，下料位翻转机构和下料位提升装置，其中，空蓝上料位，用于存放所述传输装置输送过来的硅片；下料位提升装置，对处于立放状态的片篮按节距下降，形成满蓝状态；下料位翻转机构，对立放的满片篮进行翻转，使片篮处于横放状态。优选地，所述第二处理室内还包括满篮下料位，所述满篮下料位与所述空篮上料位相对设置在所述下料翻转机构的两侧，所述满篮下料位将装满硅片的片篮输出。优选地，所述下料位提升装置包括，第二片篮Y向固定装置和第二片篮X向固定装置，对片篮夹紧固定；第二片篮Y向驱动电缸，与所述第二片篮Y向固定装置通过第二连接件连接，用于带动被夹紧固定的片篮按设定的节距上升或者下降。优选地，还包括设置在所述第一处理室内的送风装置，所述送风装置正压送风吹向所述第二处理室。本技术具有的优点和积极效果是：1.利用设备自动化消除人工作业失误造成的碎片率高的损失，并且自动化设备无需专人操作，作业员可同时兼顾其他设备进行作业，降低了人员成本。2.通过设备的中心位置设置洁净壁板将自动圆形硅片倒片机分在两个区域，分别为洁净区域与金属区域，由洁净区域的正压送风吹向金属区域。这样，可达到完全隔离洁净片篮与金属片篮的目的，避免洁净片篮造成金属污染。3.自动圆形硅片倒片机解决同节距同规格片篮倒片手动操作的不足并且避免了洁净区域片篮与金属区域片篮产生的金属污染问题，使洁净区与金属区片篮的完全隔离，在不产生交叉污染的前提下，实现圆形硅片的自动倒片，避免洁净区片篮金属沾污，实现稳定高效产出。附图说明图1是本技术的结构示意图；图2是本技术的俯视结构示意图；图3是本技术硅片定位机构的结构示意图；图4是本技术上料(下料)提升装置的结构示意图。图中：1、满篮上料位2、上料位提升装置3、上料位翻转机构4、空篮下料位5、倒片机构6、空篮上料位7、下料位提升机构8、下料位翻转机构9、满篮下料位10、机架21、片篮Y向固定装置22、片篮23、片篮Y向驱动电缸24、第三传感器25、片篮X向固定装置51、传感器52、传输装置53、传输驱动装置54、定位块一55、定位块二具体实施方式如图1-3所示，本实例一种自动圆形硅片倒片机，包括机架10、第一处理室和第二处理室，第一处理室和第二处理室相对隔离设置，第一处理室是洁净区域，第二处理室是金属区域，机架10中间设置倒片部，倒片部包括第一倒片机构5和第二倒片机构5，第一倒片机构5和第二倒片机构5内部相对设置完全相同的装置，第一倒片机构5设置在第一处理室内，第二倒片机构5设置在第二处理室内。其中，倒片部包括：传输装置52、传感器、传输驱动装置53和定位块，传输装置52，可以根据实际生产需要，选用合适的传输装置52，本实例根据生产需要选用皮带传输，贯穿于整个倒片部，用于传送圆形硅片；第一传感器51，设置于第一倒片机构5内，位于传输装置52的起始位置上，用于检知有无圆形硅片；第二传感器51，设置于第二倒片机构5内，位于传输装置52的尾端，用于检知有无圆形硅片；传输驱动装置53，设置于传输装置52的一侧，用于驱动传输装置52；第一硅片定位块，设置于第一倒片机构内，包括硅片定位块一54和硅片定位块二55，硅片定位块一54和硅片定位块二55相对的设置于传输装置52的两侧，对上料过程中传输的硅片进行定位。第二硅片定位块，设置于第二倒片机构内，包括硅片定位块三和硅片定位块四，硅片定位块三和硅片定位块四相对的设置于传输装置52的两侧，用于对下料过程中传输的硅片进行定位，其中，各个单元使用螺栓紧固在机架上，由设备外壳保护在内。工作过程中，硅片首先要经过第一传感器51，对圆形硅片传送有无确认，通过驱动传输装置52对圆形硅片传送皮带的驱动，在经过固定的延时计算，待硅片处于第一硅片定位块区域时，硅片定位块一和硅片定位块二一起动作，对圆形硅片进行位置校正。经过位置校正后的圆形硅片输送至空片篮中，实现精准插片。第一处理室还包括：满蓝上料位1，上料位翻转机构3和上料位提升装置2，其中，满蓝上料位1，用于放置和传送满蓝来料；上料位翻转机构3，对满蓝来料进行翻转，满蓝来料片篮处于横放状态，经过上料翻转机构3的翻转使片篮处于立放状态；上料位提升装置，对处于立方状态的片篮按节距上升。还包本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种自动圆形硅片倒片机，其特征在于：包括机架、第一处理室和第二处理室，所述第一处理室和所述第二处理室相对隔离设置，所述机架上设置倒片部，所述倒片部包括第一倒片机构和第二倒片机构，所述第一倒片机构设置在所述第一处理室内，所述第二倒片机构设置在所述第二处理室内。

【技术特征摘要】
1.一种自动圆形硅片倒片机，其特征在于：包括机架、第一处理室和第二处理室，所述第一处理室和所述第二处理室相对隔离设置，所述机架上设置倒片部，所述倒片部包括第一倒片机构和第二倒片机构，所述第一倒片机构设置在所述第一处理室内，所述第二倒片机构设置在所述第二处理室内。2.根据权利要求1所述的一种自动圆形硅片倒片机，其特征在于：所述倒片部包括：传输装置，贯穿于所述倒片部，用于传送圆形硅片；第一传感器，设置于所述第一倒片机构内，位于所述传输装置的起始位置上，用于检知有无圆形硅片；第二传感器，设置于所述第二倒片机构内，位于所述传输装置的尾端，用于检知有无圆形硅片；传输驱动装置，设置于所述传输装置的一侧，用于驱动传输装置；第一硅片定位块，设置于所述第一倒片机构内，包括硅片定位块一和硅片定位块二，所述硅片定位块一和所述硅片定位块二相对的设置于所述传输装置的两侧；第二硅片定位块，设置于所述第二倒片机构内，包括硅片定位块三和硅片定位块四，所述硅片定位块三和所述硅片定位块四相对的设置于所述传输装置的两侧。3.根据权利要求1或2所述的一种自动圆形硅片倒片机，其特征在于：所述第一处理室还包括：满篮上料位，上料位翻转机构和上料位提升装置，其中，满篮上料位，用于放置和传送满篮来料；上料位翻转机构，对满篮来料进行翻转，使片篮处于立放状态；上料位提升装置，对处于立方状态的片篮按节距上升。4.根据权利要求3所述的一种自动圆形硅片倒片机，其特征在于：所述第一处理室...

【专利技术属性】
技术研发人员：甄辉，齐风，杨玉聪，徐长坡，陈澄，梁效峰，李亚哲，黄志焕，王晓捧，王宏宇，王鹏，徐艳超，
申请(专利权)人：天津环鑫科技发展有限公司，
类型：新型
国别省市：天津,12