下载一种自动圆形硅片倒片机的技术资料

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本实用新型提供一种自动圆形硅片倒片机,包括机架、第一处理室和第二处理室,第一处理室和第二处理室相对隔离设置,机架中间设置倒片部,倒片部包括第一倒片机构和第二倒片机构,第一倒片机构设置在第一处理室内,第二倒片机构设置在第二处理室内。本实用新型...
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