一种多晶硅铸锭炉制造技术

本实用新型专利技术提出了一种多晶硅铸锭炉，所述铸锭炉包括圆柱形炉体、隔热笼、侧加热器、坩埚、坩埚侧护板、坩埚底护板、冷凝块；坩埚的矩形侧壁数为n；坩埚的侧护板有n个面，分别对应坩埚的n个侧壁；坩埚的底护板为边数为n的多边形。隔热笼的侧面有n个面，分别对应坩埚的n个侧壁。侧加热器的侧面有n个面，分别对应坩埚的n个侧壁。冷凝块为边数为n的多边形。n＞4。本实用新型专利技术中的坩埚及热场，可铸造出侧面大于四面的多面柱状硅锭，相对四个侧面柱状的硅锭，更多侧面面的柱状硅锭，单炉装料量更多、产量更高、生产率更高。提高现有圆柱形炉体的利用率和产量，降低生产成本。

A kind of polysilicon ingot furnace

The utility model has proposed a polysilicon ingot furnace. The ingot furnace includes a cylindrical furnace, a heat insulation cage, a side heater, a crucible, a crucible side shield, a crucible plate and a cold clot. The number of the rectangular side walls of the crucible is n, and the side shield of the crucible has n surfaces, respectively, and the side walls of the crucible are respectively. The bottom plate of the crucible is the number of sides. A polygon for n. The sides of the heat insulation cage have n faces, which correspond to the N side walls of the crucible. The side heater has n sides, which correspond to the N side walls of the crucible. The cold clot is a polygon with the edge number of n. N > 4. The crucible and heat field in the utility model can cast a multifaceted columnar silicon ingot larger than the four sides, four side cylindrical silicon ingot, more side surface columnar silicon ingot, more single furnace loading, higher production and higher productivity. The utilization ratio and output of the existing cylindrical furnace can be increased, and the production cost can be reduced.

【技术实现步骤摘要】
一种多晶硅铸锭炉
本技术涉及多晶硅片、铸造单晶硅片制造领域，具体涉及一种多晶硅铸锭炉。
技术介绍
现有的用于制造晶硅铸锭的坩埚及热场为四方形，只能铸造出形状为四方体的硅锭，不能充分发挥圆柱形炉体的空间，影响了铸锭炉的生产效率。
技术实现思路
针对上述现有技术的不足，本技术提供一种多晶硅铸锭炉，能够铸造出侧面大于四面的多面柱状硅锭。为实现上述目的，本技术采用如下技术方案：一种多晶硅铸锭炉，包括圆柱形炉体，圆柱形炉体内设有隔热笼，隔热笼内设有坩埚，坩埚的外侧包覆有坩埚侧护板和坩埚底护板，坩埚侧护板外设置有用于对坩埚加热形成热场的侧加热器，坩埚底护板底部设置有冷凝块；所述坩埚的侧壁数为n；与坩埚的n个侧壁相对应的，坩埚侧护板的个数为n，坩埚底护板为边数为n的多边形，隔热笼的侧面数为n，侧加热器的侧面数为n，冷凝块为边数为n的多边形；所述n为正整数，且大于4；所述坩埚的侧壁与多边形铸锭的侧面相对应，两者数量相同。本技术具有如下有益效果：本技术中的坩埚及热场，可铸造出侧面大于四面的多面柱状硅锭，相对四个侧面柱状的硅锭，更多侧面面的柱状硅锭，单炉装料量更多、产量更高、生产率更高。提高现有圆柱形炉体的利用率和产量，降低生产成本。附图说明图1本技术的结构示意图；图中标号：1、晶硅铸锭；2、圆柱形炉体；3、隔热笼；4、侧加热器；5、坩埚侧护板；6、坩埚；7、坩埚的底护板；8、冷凝块。具体实施方式下面结合附图对本技术作进一步的描述。如图1所示，本技术提供的多晶硅铸锭炉包括圆柱形炉体2，圆柱形炉体2内设有隔热笼3，隔热笼3内设有坩埚6，坩埚6的外侧包覆有坩埚侧护板5和坩埚底护板7，坩埚侧护板5外设置有用于对坩埚6加热形成热场的侧加热器4，坩埚底护板7底部设置有冷凝块8。坩埚6的矩形侧壁数为n，n＞4；坩埚的侧护板5有n个面，分别对应坩埚6的n个侧壁；坩埚的底护板7为边数为n的多边形。隔热笼3的侧面有n个面，分别对应坩埚6的n个侧壁。侧加热器4的侧面有n个面，分别对应坩埚6的n个侧壁。冷凝块8为边数为n的多边形。利用上述多晶硅铸锭炉能够制造出侧面数为n的多边形铸锭，n＞4，多边形铸锭的侧面与坩埚的侧壁相对应。实施例1：1.根据设计得到侧面数为5的隔热笼、坩埚侧护板数量为5、边数为5的冷凝块、5侧加热器侧面为5的热场。2.将硅料放入侧边为5的多边形坩埚中，然后放于设计好的热场中进行铸锭；3.最终通过工艺融化长晶过程将得到侧边为5的多边型硅锭。在不改变原有的铸锭炉体的情况下，可铸出的多边形晶硅锭体积增大，从而达到单炉装料量更多、产量更高、生产率更高。提高现有圆柱形炉体的利用率和产量，降低生产成本。以上所述仅是本技术的优选实施方式，应当指出：对于本
的普通技术人员来说，在不脱离本技术原理的前提下，还可以做出若干改进和润饰，这些改进和润饰也应视为本技术的保护范围。本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种多晶硅铸锭炉，包括圆柱形炉体，圆柱形炉体内设有隔热笼，隔热笼内设有坩埚，坩埚的外侧包覆有坩埚侧护板和坩埚底护板，坩埚侧护板外设置有用于对坩埚加热形成热场的侧加热器，坩埚底护板底部设置有冷凝块；其特征在于，所述坩埚的侧壁数为n；与坩埚的n个侧壁相对应的，坩埚侧护板的个数为n，坩埚底护板为边数为n的多边形，隔热笼的侧面数为n，侧加热器的侧面数为n，冷凝块为边数为n的多边形；所述n为正整数，且大于4；所述坩埚的侧壁与多边形铸锭的侧面相对应，两者数量相同。

【技术特征摘要】
1.一种多晶硅铸锭炉，包括圆柱形炉体，圆柱形炉体内设有隔热笼，隔热笼内设有坩埚，坩埚的外侧包覆有坩埚侧护板和坩埚底护板，坩埚侧护板外设置有用于对坩埚加热形成热场的侧加热器，坩埚底护板底部设置有冷凝块；其特征在于，所述坩埚的侧壁数为...

【专利技术属性】
技术研发人员：陈旭光，张涛，
申请(专利权)人：镇江仁德新能源科技有限公司，
类型：新型
国别省市：江苏,32