The invention relates to a kind of polycrystalline ingot crucible, the bottom of the crucible is round, the crucible is round, the side wall of the crucible is circular arc, the edge of the crucible is wrapped with graphite soft felt, and then fixed with graphite material to ensure that the crucible will not crack at high temperature. The crucible has the following advantages compared with the traditional square Crucible: first, the crystallization of the ingot is more uniform, so the long crystal phenomenon of the crystal at the inner edge of the crucible can be greatly eliminated and the dislocation density can be reduced. Two, the crystal ingot corresponds to the silicon chip corresponding to the silicon wafer corresponding to the silicon wafer corresponding to the square crucible. Right.
【技术实现步骤摘要】
一种多晶铸锭用坩埚及装置
本专利技术涉及一种特殊形状的多晶铸锭用圆柱坩埚,尤其涉及高效多晶及准单晶制程。
技术介绍
自2010年至今,多晶行业蓬勃发展,技术创新层出不穷,过程中硅片效率方面的研究有大晶粒、类单晶、细小晶花(目前为主流)等。类单晶追求少晶界,但不可避免出现高密度的位错增殖,高效多晶虽然有很高的晶界密度,但位错密度却表现很低。由于低位错、高效率的优势,高效多晶自2012年起逐渐成为市场需求的主流,为了获得较小的晶粒,业内普遍采用全熔与半熔两大工艺来实现,由于半熔工艺为同质形核,晶粒均匀,硅片转换效率略高于全熔,因此行业内多数使用半熔工艺。但是不论全熔还是半熔,随着坩埚底部小晶粒逐步往上生长,晶粒之间位错逐步增殖,尤其长晶时坩埚边缘散热温度较中间更快,晶粒生长方向通常由坩埚外向里倾斜,加热器交汇处功率偏大,晶粒倾斜生长更严重,热场设计不一晶粒生长方向也存在差异。
技术实现思路
为了克服现有技术中的不足,本专利技术提供了一种适用于多晶铸锭圆柱形坩埚,本专利技术采用的技术方案如下:与市场上使用的方形坩埚,包括坩埚底部方形,坩埚侧壁方形或者长方形不一样,一种多晶铸锭用坩埚,坩埚底部、坩埚上口为圆形,坩埚侧壁为圆弧形,整体呈现上口开口的圆柱形状。所述的多晶铸锭用坩埚,坩埚上口直径大于下口直径0.3%-0.8%,可以方便坩埚脱模。所述多晶铸锭用圆柱形坩埚,坩埚本体采用不与硅发生反应的陶瓷材料铸造成型;所述多晶铸锭用圆柱形坩埚,坩埚本体由石英材料或氮化硅材料铸造成型;所述多晶铸锭用圆柱形坩埚,坩埚边缘采用在氩气环境下不起反应的材料进行包裹,用于固定坩埚,防止坩埚 ...
【技术保护点】
1.一种多晶铸锭用坩埚,其特征在于坩埚底部、坩埚上口为圆形,坩埚侧壁为圆弧形。
【技术特征摘要】
1.一种多晶铸锭用坩埚,其特征在于坩埚底部、坩埚上口为圆形,坩埚侧壁为圆弧形。2.根据权利要求1所述的多晶铸锭用坩埚,其特征在于坩埚上口直径大于底部直径0.3-0.8%。3.根据权利要求1所述的多晶铸锭用坩埚,其特征在于坩埚本体采用不与硅发生反应的陶瓷材料铸造成型。4.根据权利要求2所述的多晶铸锭用坩埚,其特征在于坩埚本体由石英材料或氮化硅材料铸造成型。5.根据权利要求1所述的多晶铸锭用坩埚,其特征在于坩埚边缘采用在氩气等惰性气体环境下不与坩埚发生反应的材料进行包裹,包裹层用于固定坩埚。6.根据权利要求书5所述的多晶铸锭用坩埚,其特征在于固定坩埚用包裹层材料...
【专利技术属性】
技术研发人员:张福军,汪兴华,
申请(专利权)人:常熟华融太阳能新型材料有限公司,
类型:发明
国别省市:江苏,32
还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。