【技术实现步骤摘要】
一种多晶硅铸锭用多孔硅籽晶及其制备方法和应用
本专利技术公开了一种用于多晶硅生产领域,具体涉及一种定向凝固生产过程中使用的多孔硅籽晶的制备方法。
技术介绍
现有技术中,多晶硅铸锭生产过程中大多采用异质引晶,以石英砂,碳化硅等作为籽晶和同质引晶,以硅料作为籽晶,两种引晶方式来生产出高效的底部晶花均匀的铸锭。同质引晶由于不存在晶格匹配的问题,所以相对于异质引晶优势明显。常规籽晶多为特定粒度的多晶硅碎料或者石英砂,碳化硅经过筛分,酸洗除杂后烘干,并不改变籽晶原有的微观组织结构。
技术实现思路
本专利技术公开了一种用于多晶硅定向凝固生产过程中使用的多孔硅籽晶及其制备方法。其是以常规的多晶硅铸锭生产用籽晶为原料,经过化学腐蚀,在籽晶表面形成密集的直径在1um左右的孔洞,具体步骤如下:1)按质量百分比为1~5%的硝酸、10~20%的氢氟酸,75~89%的纯水,制备腐蚀液;2)将籽晶硅质量比为1:5~1:2放入腐蚀液中,水浴加热,温度控制在40~60℃,边加热边搅拌1~4h;3)过滤出硅籽晶,用纯水进行反复漂洗,直至中性,烘干后便得到所需的多孔硅籽晶。一种多晶硅铸锭用多孔硅籽晶,表面有密集分布的直径在1um左右孔洞的籽晶。本专利技术的有益技术效果为:该微观结构的存在可以起到吸除多晶硅内缺陷和金属杂质的目的,进而提高铸锭整体收益率。多孔硅籽晶除了具有同质引晶的特点外,还具有吸除杂质和缺陷的功能。随着多孔硅的孔隙率增加,多孔硅伴随所产生的弹性机械应力和晶格常数增加,可阻止硅内缺陷和金属杂质在多晶硅铸锭内部的迁移和扩散,进而提高铸锭的整体收益率,头部和尾部截断长度都有明显降低,目 ...
【技术保护点】
1.一种多晶硅铸锭用多孔硅籽晶的制备方法,步骤如下:(1)按质量百分比为1~5%的硝酸、10~20%的氢氟酸,75~89%的纯水,制备腐蚀液;(2)将籽晶硅质量比为1:5~1:2放入腐蚀液中,水浴加热,温度控制在40~60℃,边加热边搅拌1~4h;(3)过滤出硅籽晶,用纯水进行反复漂洗,直至中性,烘干后便得到所需的多孔硅籽晶。
【技术特征摘要】
1.一种多晶硅铸锭用多孔硅籽晶的制备方法,步骤如下:(1)按质量百分比为1~5%的硝酸、10~20%的氢氟酸,75~89%的纯水,制备腐蚀液;(2)将籽晶硅质量比为1:5~1:2放入腐蚀液中,水浴加热,温度控制在40~60℃,边加热边搅拌1~4h;(3)...
【专利技术属性】
技术研发人员:张福军,孔令奇,
申请(专利权)人:常熟华融太阳能新型材料有限公司,
类型:发明
国别省市:江苏,32
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