一种用于高效多晶硅铸锭炉侧部隔热保温结构制造技术

本实用新型专利技术公开了一种用于高效多晶硅铸锭炉侧部隔热保温结构，涉及多晶硅铸锭领域，包括石墨护板、石墨底板和定向凝固块，石墨底板设于石墨护板下方，定向凝固块设于石墨底板下方，还包括导热系数低于0.08W/(m·K)的隔热保温软毡，隔热保温软毡设于石墨护板、石墨底板和定向凝固块侧面，且隔热保温软毡从定向凝固块下方延伸至石墨护板上。该种软毡使定向凝固块的温度更均匀，使得固液界面更平滑。

A heat insulation structure for high efficiency polysilicon ingot furnace side

The utility model discloses a side insulation heat insulation structure for high efficiency polysilicon ingot furnace, which involves the field of polysilicon casting ingot, including graphite shield, graphite plate and directional solidification block, graphite floor under graphite shield, and directional solidification block under graphite floor. It also includes the thermal conductivity of less than 0.08W/ (M. K). Heat insulation soft felt, heat insulation soft felt on the side of graphite shield, graphite floor and directional solidification block, and heat insulation soft felt extends from under the directional solidifying block to the graphite shield. The soft felt makes the temperature of the directional solidification block more uniform, making the solid-liquid interface more smooth.

【技术实现步骤摘要】
一种用于高效多晶硅铸锭炉侧部隔热保温结构
本技术涉及多晶硅铸锭领域，特别是涉及一种用于高效多晶硅铸锭炉侧部隔热保温结构。
技术介绍
现有多晶半熔技术是一种籽晶诱导生产方法，通过在坩埚底部预先铺设一层20mm厚的籽晶层，籽晶直径5-10mm，化料结束时中心保留约15mm厚的籽晶，然后在籽晶上开始长晶，这种方法可以得到大量细小均匀的晶粒，生成大量晶界，以达到用晶界控制位错的目的。但是现有多晶炉五面或者六面加热，边部加热器靠近石墨坩埚护板，而石墨的导热系数较大，热量通过石墨护板传导给坩埚，化料时边部温度过高，边部较中心位置化得多，这样虽然中心留有的籽晶高度达到要求，但是边部籽晶化完，自发形核生成的晶粒较大，大晶粒的晶界较少，不能有效控制位错。不足之处是化料时不能对边部有效隔热，导致边部籽晶容易化完，后续长晶不能很好地形成均匀细小的晶粒，不能控制位错，对硅片的性能产生不利的影响。长晶时不能有效保温，使边部容易过冷，液面高于其他位置，这就会导致边角晶砖的柱状晶向晶锭中心倾斜。
技术实现思路
本技术针对上述技术问题，克服现有技术的缺点，提供一种用于高效多晶硅铸锭炉侧部隔热保温结构，使定向凝固块的温度更均匀，使得固液界面更平滑。为了解决以上技术问题，本技术提供一种用于高效多晶硅铸锭炉侧部隔热保温结构，包括石墨护板、石墨底板和定向凝固块，石墨底板设于石墨护板下方，定向凝固块设于石墨底板下方，还包括导热系数低于0.08W/(m·K)的隔热保温软毡，隔热保温软毡设于石墨护板、石墨底板和定向凝固块侧面，且隔热保温软毡从定向凝固块下方延伸至石墨护板上。技术效果：本技术采用导热系数更低的软毡，适用于G6、G7和G8铸锭炉，使用时安装在坩埚护板外侧，并延伸到石墨底板以下，使得定向凝固块更均匀，使得固液界面更平滑。本技术进一步限定的技术方案是：进一步的，隔热保温软毡的顶部与石墨底板的底部之间的距离为125-135mm。前所述的一种用于高效多晶硅铸锭炉侧部隔热保温结构，隔热保温软毡的底部与石墨底板的底部之间的距离为145-155mm。前所述的一种用于高效多晶硅铸锭炉侧部隔热保温结构，隔热保温软毡的高度为280mm。前所述的一种用于高效多晶硅铸锭炉侧部隔热保温结构，隔热保温软毡的顶部与石墨底板的底部之间的距离为130mm，隔热保温软毡的底部与石墨底板的底部之间的距离为150mm。本技术的有益效果是：（1）本技术在化料时能防止热量直接通过石墨护板传到给坩埚，起到隔热的作用，化料过程四周温度不会过高，有效保留籽晶，这样可以改善边部的晶粒；（2）本技术长晶时热量的大量散失起到保温作用，固液界面较为平滑，边角晶砖的柱状晶倾斜角度减小。附图说明图1为本实施例的隔热保温软毡结构示意图；其中：1、石墨护板；2、石墨底板；3、定向凝固块；4、隔热保温软毡。具体实施方式本实施例提供的一种用于高效多晶硅铸锭炉侧部隔热保温结构，结构如图所示。该软毡适用于G7铸锭炉，包括石墨护板1、石墨底板2和定向凝固块3，石墨底板2设于石墨护板1下方，定向凝固块3设于石墨底板2下方。还包括导热系数低于0.08W/(m·K)的隔热保温软毡4，隔热保温软毡4设于石墨护板1、石墨底板2和定向凝固块3侧面，且隔热保温软毡4从定向凝固块3下方延伸至石墨护板1上。隔热保温软毡4长1190mm，厚5mm，高度为280mm，隔热保温软毡4的顶部与石墨底板2的底部之间的距离为130mm，隔热保温软毡4的底部与石墨底板2的底部之间的距离为150mm。隔热保温软毡4延伸到石墨底板2以下，使得定向凝固块3的温度更加均匀，使得固液界面更平滑。化料时能防止热量直接通过石墨护板1传导给坩埚，起到隔热的作用，化料过程四周温度不会过高，有效保留籽晶，这样可以改善边部的晶粒，边部晶粒直径由5-10mm降低到3mm以下。长晶时热量的大量散失起到保温的作用，固液界面较为平滑，边角晶砖的柱状晶倾斜角度由30-40°降低到10-15°。此外，上述隔热保温结构同样能够适应G6和G8多晶硅铸锭炉的侧部隔热保温要求，应用范围广，实用性强，效果显著。除上述实施例外，本技术还可以有其他实施方式；凡采用等同替换或等效变换形成的技术方案，均落在本技术要求的保护范围。本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种用于高效多晶硅铸锭炉侧部隔热保温结构，其特征在于：包括石墨护板（1）、石墨底板（2）和定向凝固块（3），所述石墨底板（2）设于所述石墨护板（1）下方，所述定向凝固块（3）设于所述石墨底板（2）下方，还包括导热系数低于0.08W/(m·K)的隔热保温软毡（4），所述隔热保温软毡（4）设于所述石墨护板（1）、石墨底板（2）和定向凝固块（3）侧面，且所述隔热保温软毡（4）从所述定向凝固块（3）下方延伸至所述石墨护板（1）上。

【技术特征摘要】
1.一种用于高效多晶硅铸锭炉侧部隔热保温结构，其特征在于：包括石墨护板（1）、石墨底板（2）和定向凝固块（3），所述石墨底板（2）设于所述石墨护板（1）下方，所述定向凝固块（3）设于所述石墨底板（2）下方，还包括导热系数低于0.08W/(m·K)的隔热保温软毡（4），所述隔热保温软毡（4）设于所述石墨护板（1）、石墨底板（2）和定向凝固块（3）侧面，且所述隔热保温软毡（4）从所述定向凝固块（3）下方延伸至所述石墨护板（1）上。2.根据权利要求1所述的一种用于高效多晶硅铸锭炉侧部隔热保温结构，其特征在于：所述隔热保温软毡（4）的顶部与所述石墨底板（2）...

【专利技术属性】
技术研发人员：马翔宇，路景刚，周硕，
申请(专利权)人：江苏高照新能源发展有限公司，
类型：新型
国别省市：江苏,32