一种多晶硅坩埚护板制造技术

技术编号:18196246 阅读:28 留言:0更新日期:2018-06-13 03:07
本实用新型专利技术公开了一种多晶硅坩埚护板,包括多块护板单体,多块所述护板单体首尾依次连接围成放置坩埚的空间;多块所述护板单体的首端分别设置有卯槽,尾端分别设置有与相邻所述护板单体的所述卯槽对应的榫钩。本实用新型专利技术通过在护板单体的两侧分别设置榫钩和卯槽,能够通过榫卯相扣连接固定,实现多块护板的连接和固定,石墨护板的榫钩和卯槽的一体化,可以节省成本,减少坩埚护板在炉体内的占用空间,增加了所装的料在炉内运行的安全性。同时,将榫卯和护板主结构一体化,不会造成榫卯遗失,节省了成本,且安装方便简单高效,提高了工作效率。

A polysilicon crucible guard plate

The utility model discloses a polysilicon crucible guard plate, which comprises a plurality of block plate monomers, and the first and the end of the single body of the protective plate is connected in order to place the space of the crucible in turn; the first end of the plurality of pieces of the guard plate is respectively set up with sockets, and the tail ends are respectively provided with the tenon hooks corresponding to the sockets of the adjacent protective plate monomers. By setting tenon hooks and sockets separately on both sides of the guard plate monomer, the utility model can be connected and fixed through the mortise and tenon and phase buckles to realize the connection and fixation of the multi block guard plate. The integration of the tenon hook and the sockets of the graphite shield can save the cost, reduce the occupying space of the crucible plate in the furnace, and increase the loading of the material in the furnace. The security of the operation. At the same time, the integration of the tenon and the main structure of the guard plate will not result in the loss of the mortise and tenon, and save the cost. The installation is convenient, simple and efficient, and improves the work efficiency.

【技术实现步骤摘要】
一种多晶硅坩埚护板
本技术涉及多晶铸锭
,更具体地说,涉及一种多晶硅坩埚护板。
技术介绍
在多晶硅铸锭过程中,需要将硅料放置在石英坩埚中,并通过铸锭炉将硅料加热熔化后再通过降低温度实现长晶。石英坩埚的形变温度界点为1075℃,开始软化的温度界点为1200℃,完全软化温度界点为1730℃,硅的熔点约为1420℃,故在熔化过程中,石英坩埚是处于轻微软化情况的。在长晶过程中,由于晶体的生长固化,会对坩埚有一定的外撑力作用,因此在熔化和长晶整个过程中,坩埚护板的保护作用都是必不可少且极其重要的。因此对于坩埚的固定和保护,简单高效且牢固的护板就显得至关重要。目前,多晶硅铸锭坩埚护板的固定方式大体有两种。第一种使用较为广泛,即通过螺杆、螺母连接方式固定,此方法在竖直放置好四块护板后才能逐个将螺母旋紧,因而护板紧固前具有一定的倒下风险,且每个护板至少需要固定四个螺母,会增加装护板时间降低工作效率,在使用过程中,由于螺纹易断裂,需要经常更换护板,且螺杆、螺母需要单独的无尘装料桶放置,易丢失,造成生产成本上升。另一种方式为用钼丝在护板的开槽处进行捆绑固定,此操作繁琐且钼丝为一次性消耗,增加了生产成本。综上所述,如何有效地解决多晶硅坩埚护板拆装不便、成本高等问题,是目前本领域技术人员急需解决的问题。
技术实现思路
有鉴于此,本技术的目的在于提供一种,该坩埚护板的结构设计可以有效地解决多晶硅坩埚护板拆装不便、成本高的问题.为了达到上述目的,本技术提供如下技术方案:一种多晶硅坩埚护板,包括多块护板单体,多块所述护板单体首尾依次连接围成放置坩埚的空间;多块所述护板单体的首端分别设置有卯槽,尾端分别设置有与相邻所述护板单体的所述卯槽对应的榫钩。优选地,上述多晶硅坩埚护板中,包括四块所述护板单体,且四块所述护板单体的形状均相同,以围成用于放置所述坩埚的正方体空间。优选地,上述多晶硅坩埚护板中,所述护板单体的首端开设有向内侧的挂钩状的所述卯槽。优选地,上述多晶硅坩埚护板中,所述卯槽的一侧侧壁为由所述护板单体的外侧向内、与所述护板单体的内侧垂直的垂直壁,所述垂直壁的底端向外呈弧线过渡形成挂钩状的所述卯槽。优选地,上述多晶硅坩埚护板中,所述护板单体的内侧对应所述卯槽的弧线过渡位置呈弧形,以与所述弧线相连呈尖角。优选地,上述多晶硅坩埚护板中,所述护板单体均为石墨护板。优选地,上述多晶硅坩埚护板中,所述护板单体的内侧面用于与所述坩埚的外侧面接触贴合。本技术提供的多晶硅坩埚护板包括多块护板单体,多块护板单体首尾依次连接围成中空结构,用于放置坩埚。多块护板单体的首端分别设置有卯槽,尾端分别设置有与相邻护板单体的卯槽对应的榫钩。应用本技术提供的坩埚护板,在安装时,先在多晶硅投炉车上放置一块石墨护板;在石墨护板上放置坩埚,如正方体石英坩埚。而后将第一块护板单体放置靠在石英坩埚一侧,带有卯槽的侧面和石英坩埚的一面在同一个平面上;接着将第二块护板单体先靠着石英坩埚,再沿着石英坩埚将有榫钩的一侧慢慢推移至与卯槽相扣,即固定安装好两侧护板;依次根据需要将剩余的护板单体按照相同的操作安装,直至最后一块护板。在其与护板均固定好的状态下,最后一块护板从上往下扣住推移至合适位置,即可完全固定好坩埚。对应的拆除过程为:先从下往上将一块单体护板拔出;而后将其他各护板单体按顺序依次拆卸下来集中放置在预定位置。综上,本技术通过在护板单体的两侧分别设置榫钩和卯槽,能够通过榫卯相扣连接固定,实现多块护板的连接和固定,石墨护板的榫钩和卯槽的一体化,可以节省成本,减少坩埚护板在炉体内的占用空间,增加了所装的料在炉内运行的安全性。同时,将榫卯和护板主结构一体化,不会造成榫卯遗失,节省了成本,且安装方便简单高效,提高了工作效率。附图说明为了更清楚地说明本技术实施例或现有技术中的技术方案,下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍,显而易见地,下面描述中的附图仅仅是本技术的一些实施例,对于本领域普通技术人员来讲,在不付出创造性劳动的前提下,还可以根据这些附图获得其他的附图。图1为本技术一个具体实施例的多晶硅坩埚护板的组合结构示意图;图2为护板单体的三维结构示意图;图3为护板单体的俯视结构示意图。附图中标记如下:护板单体1,榫钩2,卯槽3。具体实施方式本技术实施例公开了一种多晶硅坩埚护板,以便于坩埚护板的拆装,降低成本。下面将结合本技术实施例中的附图,对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述,显然,所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例,而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例,本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例,都属于本技术保护的范围。请参阅图1-图3,图1为本技术一个具体实施例的多晶硅坩埚护板的组合结构示意图;图2为护板单体的三维结构示意图;图3为护板单体的俯视结构示意图。在一个具体实施例中,本技术提供的多晶硅坩埚护板包括多块护板单体1。多块护板单体1首尾依次连接围成中空结构,用于放置坩埚。坩埚一般为石英坩埚,坩埚的形状常见的为正方体,故多块护板单体1首尾依次连接围成正方体的中空结构。具体护板单体1的数量可根据需要设置,对于正方体的坩埚而言,优选的可以包括四块护板单体1,两两相连围成正方体空腔。具体护板单体1的大小根据坩埚的大小对应设置。多块护板单体1的首端分别设置有卯槽3,尾端分别设置有与相邻护板单体1的卯槽3对应的榫钩2。需要说明的是,此处及下文提到的护板单体1的首端和尾端分别指护板单体1用于与相邻护板单体1连接的左右两侧,仅为了限定二者相对的位置关系。榫钩2和卯槽3的形状对应,装配时一块护板单体1的榫钩2插接于相邻的另一护板单体1的卯槽3内,从而将二者固定连接。应用本技术提供的多晶硅坩埚护板,在安装时,先在多晶硅投炉车上放置一块石墨护板;在石墨护板上放置坩埚,如正方体石英坩埚。而后将第一块护板单体1放置靠在石英坩埚一侧,带有卯槽3的侧面和石英坩埚的一面在同一个平面上;接着将第二块护板单体1先靠着石英坩埚,再沿着石英坩埚将有榫钩2的一侧慢慢推移至与卯槽3相扣,即固定安装好两侧护板;依次根据需要将剩余的护板单体1按照相同的操作安装,直至最后一块护板。在其与护板均固定好的状态下,最后一块护板从上往下扣住推移至合适位置,即可完全固定好坩埚。对应的拆除过程为:先从下往上将一块单体护板拔出;而后将其他各护板单体1按顺序依次拆卸下来集中放置在预定位置。综上,本技术通过在护板单体1的两侧分别设置榫钩2和卯槽3,能够通过榫卯相扣连接固定,实现多块护板的连接和固定,石墨护板的榫钩2和卯槽3的一体化,可以节省成本,减少坩埚护板在炉体内的占用空间,增加了所装的料在炉内运行的安全性。同时,将榫卯和护板主结构一体化,不会造成榫卯遗失,节省了成本,且安装方便简单高效,提高了工作效率。具体的,包括四块护板单体1,且四块护板单体1的形状均相同,以围成用于放置坩埚的正方体空间。安装时,在多晶硅投炉车上放置一块正方体石墨护板;在石墨护板上放置正方体石英坩埚。而后,将第一块护板单体1放置靠在石英坩埚一侧,带有卯槽3的侧面和石英坩埚的一面在同一个平面上;接着第二块石墨护板本文档来自技高网...
一种多晶硅坩埚护板

【技术保护点】
一种多晶硅坩埚护板,包括多块护板单体(1),多块所述护板单体(1)首尾依次连接围成放置坩埚的空间;其特征在于,多块所述护板单体(1)的首端分别设置有卯槽(3),尾端分别设置有与相邻所述护板单体(1)的所述卯槽(3)对应的榫钩(2)。

【技术特征摘要】
1.一种多晶硅坩埚护板,包括多块护板单体(1),多块所述护板单体(1)首尾依次连接围成放置坩埚的空间;其特征在于,多块所述护板单体(1)的首端分别设置有卯槽(3),尾端分别设置有与相邻所述护板单体(1)的所述卯槽(3)对应的榫钩(2)。2.根据权利要求1所述的多晶硅坩埚护板,其特征在于,包括四块所述护板单体(1),且四块所述护板单体(1)的形状均相同,以围成用于放置所述坩埚的正方体空间。3.根据权利要求1所述的多晶硅坩埚护板,其特征在于,所述护板单体(1)的首端开设有向内侧的挂钩状的所述卯槽(3)。4.根据权利要求3所述的...

【专利技术属性】
技术研发人员:周建军徐志群周慧敏龙昭钦毛亮亮周成唐碧见
申请(专利权)人:晶科能源有限公司浙江晶科能源有限公司
类型:新型
国别省市:江西,36

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