The utility model discloses a polysilicon crucible guard plate, which comprises a plurality of block plate monomers, and the first and the end of the single body of the protective plate is connected in order to place the space of the crucible in turn; the first end of the plurality of pieces of the guard plate is respectively set up with sockets, and the tail ends are respectively provided with the tenon hooks corresponding to the sockets of the adjacent protective plate monomers. By setting tenon hooks and sockets separately on both sides of the guard plate monomer, the utility model can be connected and fixed through the mortise and tenon and phase buckles to realize the connection and fixation of the multi block guard plate. The integration of the tenon hook and the sockets of the graphite shield can save the cost, reduce the occupying space of the crucible plate in the furnace, and increase the loading of the material in the furnace. The security of the operation. At the same time, the integration of the tenon and the main structure of the guard plate will not result in the loss of the mortise and tenon, and save the cost. The installation is convenient, simple and efficient, and improves the work efficiency.
【技术实现步骤摘要】
一种多晶硅坩埚护板
本技术涉及多晶铸锭
,更具体地说,涉及一种多晶硅坩埚护板。
技术介绍
在多晶硅铸锭过程中,需要将硅料放置在石英坩埚中,并通过铸锭炉将硅料加热熔化后再通过降低温度实现长晶。石英坩埚的形变温度界点为1075℃,开始软化的温度界点为1200℃,完全软化温度界点为1730℃,硅的熔点约为1420℃,故在熔化过程中,石英坩埚是处于轻微软化情况的。在长晶过程中,由于晶体的生长固化,会对坩埚有一定的外撑力作用,因此在熔化和长晶整个过程中,坩埚护板的保护作用都是必不可少且极其重要的。因此对于坩埚的固定和保护,简单高效且牢固的护板就显得至关重要。目前,多晶硅铸锭坩埚护板的固定方式大体有两种。第一种使用较为广泛,即通过螺杆、螺母连接方式固定,此方法在竖直放置好四块护板后才能逐个将螺母旋紧,因而护板紧固前具有一定的倒下风险,且每个护板至少需要固定四个螺母,会增加装护板时间降低工作效率,在使用过程中,由于螺纹易断裂,需要经常更换护板,且螺杆、螺母需要单独的无尘装料桶放置,易丢失,造成生产成本上升。另一种方式为用钼丝在护板的开槽处进行捆绑固定,此操作繁琐且钼丝为一次性消耗,增加了生产成本。综上所述,如何有效地解决多晶硅坩埚护板拆装不便、成本高等问题,是目前本领域技术人员急需解决的问题。
技术实现思路
有鉴于此,本技术的目的在于提供一种,该坩埚护板的结构设计可以有效地解决多晶硅坩埚护板拆装不便、成本高的问题.为了达到上述目的,本技术提供如下技术方案:一种多晶硅坩埚护板,包括多块护板单体,多块所述护板单体首尾依次连接围成放置坩埚的空间;多块所述护板单体的首端分别设置有 ...
【技术保护点】
一种多晶硅坩埚护板,包括多块护板单体(1),多块所述护板单体(1)首尾依次连接围成放置坩埚的空间;其特征在于,多块所述护板单体(1)的首端分别设置有卯槽(3),尾端分别设置有与相邻所述护板单体(1)的所述卯槽(3)对应的榫钩(2)。
【技术特征摘要】
1.一种多晶硅坩埚护板,包括多块护板单体(1),多块所述护板单体(1)首尾依次连接围成放置坩埚的空间;其特征在于,多块所述护板单体(1)的首端分别设置有卯槽(3),尾端分别设置有与相邻所述护板单体(1)的所述卯槽(3)对应的榫钩(2)。2.根据权利要求1所述的多晶硅坩埚护板,其特征在于,包括四块所述护板单体(1),且四块所述护板单体(1)的形状均相同,以围成用于放置所述坩埚的正方体空间。3.根据权利要求1所述的多晶硅坩埚护板,其特征在于,所述护板单体(1)的首端开设有向内侧的挂钩状的所述卯槽(3)。4.根据权利要求3所述的...
【专利技术属性】
技术研发人员:周建军,徐志群,周慧敏,龙昭钦,毛亮亮,周成,唐碧见,
申请(专利权)人:晶科能源有限公司,浙江晶科能源有限公司,
类型:新型
国别省市:江西,36
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