晶体硅硅片扩散炉制造技术

本实用新型专利技术涉及一种晶体硅硅片扩散炉，包括：石英管腔体，其两端设置有载入、载出端开口，并具有气幕帘和机械端盖。石英管腔体载入端设置有驱动载入碳化硅桨叶的载入传动机构。载入碳化硅桨叶上放置有装载待扩散处理晶体硅片的石英舟。在石英管腔体内，载入碳化硅桨叶将石英舟放置在与之交错设置的载出碳化硅桨叶上。载出碳化硅桨叶由石英管腔体载出端的载出传动机构驱动。晶体硅片经扩散处理后，载出碳化硅桨叶从石英管腔体的另一端载出石英舟。从而构成一种双向装、卸晶体硅片的石英管式扩散炉，其硅片的载入和载出可同时、同方向完成，达到了结构简单、提高效率，降低成本等有益效果。（*该技术在2016年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】

【技术保护点】
一种晶体硅硅片扩散炉，包括：石英管腔体、气幕帘和机械端盖、电阻式加热外套、碳化硅桨叶、石英舟、气体管道、扩散源和控制系统，其特征在于：所述的石英管腔体两端设置有载入和载出端开口，两端开口处分别设置有气幕帘和机械端盖；所述的碳化硅桨叶包括载入碳化硅桨叶和载出碳化硅桨叶；载入碳化硅桨叶与载出碳化硅桨叶在石英管腔体中相交错，其中，载入碳化硅桨叶与石英管腔体载入端的载入传动机构相连接并受其驱动，载出碳化硅桨叶与石英管腔体载出端的载出传动机构相连接并受其驱动；所述载入传动机构和载出传动机构同控制系统相连接，由控制系统控制载入和载出的时序。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：袁晓，李红波，吴庭谷，
申请(专利权)人：上海太阳能科技有限公司，
类型：实用新型
国别省市：31[中国|上海]