【技术实现步骤摘要】
【技术保护点】
一种用于将固体原材料供应至半导体单晶生长器的坩埚的装置,所述固体原材料是半导体单晶的原材料,所述装置包括:筒状本体,其位于所述坩埚上方,并可拆卸地安装在所述生长器中,用于容纳所述固体原材料;底盖,其可拆卸地安装在所述本体的底部,用于防止所述固体原材料的下落,并且所述底盖基本形成为锥形,所述锥形的顶点朝向所述固体原材料;以及连接装置,其穿过所述本体的内部空间的中部而连接在所述锥形底盖的顶点附近,用于相对于所述本体相对地向上和向下移动所述底盖,其中,多个沟槽从所述底盖的锥形顶点向下形成于朝向所述固体原材料的所述底盖的锥形表面上。
【技术特征摘要】
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【专利技术属性】
技术研发人员:徐庆晧,李寅圭,李晟永,赵铉鼎,
申请(专利权)人:西尔特朗公司,
类型:发明
国别省市:KR[韩国]
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