【技术实现步骤摘要】
本技术涉及一种热交换台,具体涉及到一种用于生长准单晶的热交换台。
技术介绍
在目前的晶体硅铸锭技术中,主要有普通多晶铸锭、高效多晶铸锭以及准单晶铸锭。随着铸锭技术的不断发展,普通多晶铸锭已逐渐被淘汰,但是高效多晶铸锭技术本身也存在瓶颈,效率很难有大幅度的提升,而准单晶铸锭则有很大的提升空间。准单晶铸锭在装料时候必须在坩埚底部铺满单晶籽晶,在熔化时保证籽晶不完全熔化,以作为后期生长的形核中心,从而生长出准单晶。由于单晶本身尺寸较小(由于工艺原因,目前市场上的主流单晶尺寸最大为230mm左右),而铸锭用的坩埚尺寸要大于840mm,若要将单晶籽晶铺满整个坩埚底部,必须由若干单晶籽晶拼接在一起。而大量的实验数据表面,由于硅液渗透、晶格匹配、热应力等因素会导致籽晶接缝处产生大量的位错,随着晶体的生长,位错不断的增殖,从而大大影响硅锭的质量。公开号为CN103757689A的专利文献公开了一种利用单晶硅籽晶诱导生长铸造单晶硅的方法,通过热场控制利用一块单晶硅籽晶来制备铸造单晶硅。这样就降低了单晶硅籽晶制备和材料成本,同时由于没有单晶硅籽晶间缝隙的影响,可大幅降低硅锭位错密度,从而提高硅锭的质量。在实际操作中如何保留放置的单晶硅籽晶不被熔化是一个难点,而且单晶硅籽晶不熔化是生产出高质量准单晶的保证,但是在目前公开的专利及技术中也没有关于此方面的内容。
技术实现思路
本技术的目的在于提供一种用于生长准单晶的热交换台,能有效的保护中心放置的单块单晶籽晶不熔化,长晶时以未熔化的单晶籽晶为形核点生长,从而生产出高质量的准单晶。解决上述技术问题,本技术采取以下技术方案予以实现:一种用于 ...
【技术保护点】
一种用于生长准单晶的热交换台,其特征是:包括一平台,平台底部中心设有一凸台,平台的底部在凸台的周围固定设有保温板。
【技术特征摘要】
1.一种用于生长准单晶的热交换台,其特征是:包括一平台,平台底部中心设有一凸台,平台的底部在凸台的周围固定设有保温板。2.根据权利要求1所述的用于生长准单晶的热交换台,其特征是:所述的平台由石墨制成,所述的保温板由导热系数低于石墨的材料制成。3.根据权利要求1所述的用于生长准单晶的热交换台,其特征是:所述的平台和凸台为方形体、且横截面为正方形。4.根据权利要求3所述的用于生长准单晶的热交换台,其特征是:所述凸台的宽度为平台宽度的20%~40%、高度为平台高度的20%~50...
【专利技术属性】
技术研发人员:黄新明,周绪成,钟根香,张兆玉,张翔,
申请(专利权)人:东海晶澳太阳能科技有限公司,
类型:新型
国别省市:江苏;32
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