一种单晶炉真空管道清理装置制造方法及图纸

本申请公开了一种单晶炉真空管道清理装置，包括真空管道和真空泵，还包括：与所述真空管道连通的供气管道，用于向所述真空管道内通入含氧气体；设置在所述供气管道上的通断阀。本申请中的单晶炉真空管道清理装置从长晶加热开始，打开供气管道上的通断阀，向真空管道中通入含氧气体，使真空管道内壁上附着的SiO

【技术实现步骤摘要】
一种单晶炉真空管道清理装置
本专利技术涉及单晶生长
，特别涉及一种单晶炉真空管道清理装置。
技术介绍
单晶炉是一种在惰性气体环境中，用石墨加热器将多晶硅等多晶材料熔化，用直拉法生长无错位单晶的设备。现有的单晶炉主要包括主炉室、副室、晶体提拉机构、抽真空装置、充惰性气体装置等。在向单晶炉中装入物料后，需要对单晶炉进行抽真空，之后再充入惰性气体。抽真空通过抽真空装置进行，抽真空装置主要包括真空管道和真空泵，真空管道连接真空泵和单晶炉。在长晶过程中，产生的SiOx会吸附在真空管道内壁上，长时间会堵塞真空管道，影响长晶。综上所说，如何解决真空管道被SiOx堵塞的问题，成为了本领域技术人员亟待解决的问题。
技术实现思路
有鉴于此，本专利技术的目的在于提供一种单晶炉真空管道清理装置，以对单晶炉的真空管道进行清理，防止堵塞，保证长晶正常进行。为达到上述目的，本专利技术提供以下技术方案：一种单晶炉真空管道清理装置，包括真空管道和真空泵，还包括：与所述真空管道连通的供气管道，用于向所述真空管道内通入含氧气体；设置在所述供气管道上的通断阀。优选地，在上述的单晶炉真空管道清理装置中，所述通断阀为气动阀或本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种单晶炉真空管道清理装置，包括真空管道(2)和真空泵(3)，其特征在于，还包括：与所述真空管道(2)连通的供气管道(4)，用于向所述真空管道(2)内通入含氧气体；设置在所述供气管道(4)上的通断阀(5)。

【技术特征摘要】
1.一种单晶炉真空管道清理装置，包括真空管道(2)和真空泵(3)，其特征在于，还包括：与所述真空管道(2)连通的供气管道(4)，用于向所述真空管道(2)内通入含氧气体；设置在所述供气管道(4)上的通断阀(5)。2.根据权利要求1所述的单晶炉真空管道清理装置，其特征在于，所述通断阀(5)为气动阀或电动阀或手动阀。3.根据权利要求1或2所述的单晶炉真空管道清理装置，其特征在于，还包括设置在所述供气管道(4)上的节流...

【专利技术属性】
技术研发人员：周杰，沈浩锋，周林伟，朱伟忠，王谟，
申请(专利权)人：天通吉成机器技术有限公司，
类型：发明
国别省市：浙江,33