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本申请公开了一种单晶炉真空管道清理装置，包括真空管道和真空泵，还包括：与所述真空管道连通的供气管道，用于向所述真空管道内通入含氧气体；设置在所述供气管道上的通断阀。本申请中的单晶炉真空管道清理装置从长晶加热开始，打开供气管道上的通断阀，向真...
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