本实用新型专利技术公开了一种双面一次成膜真空离子溅镀机，包括溅镀室、安装在溅镀室内的溅射发生器、分别与溅镀室的进口和出口密封连接的若干个真空过渡室、贯穿于真空过滤室和溅镀室的工件输送线，所述溅镀室包括第一溅镀室和第二溅镀室，第一溅镀室内的溅射发生器安装在工件输送线的上方，第二溅镀室内的溅射发生器安装在工件输送线的下方；该溅镀机可以对工件的两个面同时进行镀膜，大大提高了生产效率。（*该技术在2014年保护过期，可自由使用*）
【技术实现步骤摘要】
本技术涉及一种真空离子溅镀机。
技术介绍
利用溅射技术在光学器件表面镀膜，已经成熟地应用于工业生产当中，这种传统的镀膜工艺需要在真空条件下进行。因此，实际的生产过程是间隙进行的，先将一批光学器件送入真空镀膜机中，然后对真空镀膜机进行抽真空，使其在真空状态下对光学器件进行溅镀，镀膜完成后成品出炉，然后再重复上述操作步骤，对下一批光学器件进行镀膜，所以其生产效率比较低下。近年来，随着技术的进步，可连续溅镀的溅镀机已经得到广泛的使用，该连续溅镀机在溅镀室的进口处增加了若干个可以分隔的、安装有抽真空装置的、真空度逐步提高的真空过渡室，使需要溅镀的工件经过若干个真空过渡室后进入溅镀室进行溅镀，同样，连续溅镀机在出口处增加了若干个可以分隔的、安装有抽真空装置的、真空度逐步降低的真空过渡室，使溅镀后的工件经过若干个真空过渡室后取出，这样就大大提高了工作效率，使溅镀机可以象生产线一样不间断地连续生产。上述连续溅镀机一般采用滚轴输送工件，溅镀室中的溅射发生器安装在输送线的上方，因此，它只能对工件进行单面溅镀，需要进行双面溅镀的工件在完成一面溅镀后，还需翻身后重新进入溅镀机进行另一面的溅镀。
技术实现思路
本技术的目的是提供一种双面一次成膜真空离子溅镀机，该溅镀机设有两个溅镀室，并且两个溅镀室中的溅射发生器分别位于工件输送线的上方和下方，使经过溅镀室的工件的上下两个面能分别形成镀膜，从而提高了溅镀机的生产效率。本技术的技术方案是一种双面一次成膜真空离子溅镀机，包括溅镀室、安装在溅镀室内的溅射发生器、分别与溅镀室的进口和出口密封连接的若干个真空过渡室、贯穿于真空过渡室和溅镀室的工件输送线，所述溅镀室包括第一溅镀室和第二溅镀室，第一溅镀室内的溅射发生器安装在工件输送线的上方，第二溅镀室内的溅射发生器安装在工件输送线的下方。本技术进一步的技术方案是一种双面一次成膜真空离子溅镀机，包括溅镀室、安装在溅镀室内的溅射发生器、分别与溅镀室的进口和出口密封连接的若干个真空过渡室、贯穿于真空过渡室和溅镀室的工件输送线，所述溅镀室包括第一溅镀室和第二溅镀室，第一溅镀室内的溅射发生器安装在工件输送线的上方，第二溅镀室内的溅射发生器安装在工件输送线的下方；所述工件输送线安装于真空过渡室和溅镀室的底部，而第二溅镀室的安装高度低于真空过渡室和溅镀室，使工件输送线位于第二溅镀室的中部。本技术的优点是1.由于本技术设有两个溅镀室，并且两个溅镀室中的溅射发生器分别位于工件输送线的上方和下方，使工件输送线上的工件在经过溅镀室时，上面和下面均能得到镀膜，大大提高了生产效率。2.由于本技术的工件输送线安装在直空过渡室和第一溅镀室的底部，而将第二溅镀室的安装高度降低，使工件输送线位于第二溅镀室的中部，从而第二溅镀室中的溅射发生器可以安装在位于工件输送线下方的底部，这样整个溅镀机的结构就比较紧凑。以下结合附图和实施例对本技术作进一步的描述附图说明图1为本技术的主视图；图2为本技术的俯视图；图3为第一溅镀室的剖视图；图4为第二溅镀室的剖视图；图5为真空过渡室的剖视图；图6为密封隔断装置的侧面剖视图。其中1溅镀室；11第一溅镀室；12第二溅镀室；2溅射发生器；21第一溅射发生器；22第二溅射发生器；3真空过渡室；4工件输送线；5抽真空装置；6密封隔断装置。具体实施方式实施例如图1、图2、图3、图4、图5、图6所示，一种双面一次成膜真空离子溅镀机，包括溅镀室(1)、安装在溅镀室(1)内的溅射发生器(2)、分别与溅镀室(1)的进口和出口密封连接的若干个真空过渡室(3)、贯穿于真空过渡室(3)和溅镀室(1)的工件输送线(4)，安装在真空过渡室(3)上的抽真空装置(5)、分隔真空过渡室(3)的密封隔断装置(6)，所述溅镀室(1)包括第一溅镀室(11)和第二溅镀室(12)，第一溅镀室(11)内的溅射发生器(21)安装在工件输送线(4)的上方，第二溅镀室(12)内的溅射发生器(22)安装在工件输送线(4)的下方；所述工件输送线(4)安装于真空过渡室(3)和溅镀室(1)的底部，而第二溅镀室(12)的安装高度低于真空过渡室(3)和溅镀室(1)，使工件输送线(4)位于第二溅镀室(12)的中部。由于本技术设有两个溅镀室(1)，并且两个溅镀室(1)中的溅射发生器(2)分别位于工件输送线(4)的上方和下方，使工件输送线(4)上的工件在经过溅镀室(1)时，上面和下面均能得到镀膜，大大提高了生产效率；由于本技术的工件输送线(4)安装在真空过渡室(3)和第一溅镀室(11)的底部，而将第二溅镀室(12)的安装高度降低，使工件输送线(4)位于第二溅镀室(12)的中部，从而第二溅镀室(12)中的溅射发生器(22)可以安装在位于工件输送线(4)下方的底部，这样整个溅镀机的结构就比较紧凑。权利要求1.一种双面一次成膜真空离子溅镀机，包括溅镀室(1)、安装在溅镀室(1)内的溅射发生器(2)、分别与溅镀室(1)的进口和出口密封连接的真空过渡室(3)、贯穿于真空过渡室(3)和溅镀室(1)的工件输送线(4)，其特征在于所述溅镀室(1)包括第一溅镀室(11)和第二溅镀室(12)，第一溅镀室(11)内的溅射发生器(21)安装在工件输送线(4)的上方，第二溅镀室(12)内的溅射发生器(22)安装在工件输送线(4)的下方。2.根据权利要求1所述的双面一次成膜真空离子溅镀机，其特征在于所述工件输送线(4)安装于真空过渡室(3)和溅镀室(1)的底部，而第二溅镀室(12)的安装高度低于真空过渡室(3)和溅镀室(1)，使工件输送线(4)位于第二溅镀室(12)的中部。专利摘要本技术公开了一种双面一次成膜真空离子溅镀机，包括溅镀室、安装在溅镀室内的溅射发生器、分别与溅镀室的进口和出口密封连接的若干个真空过渡室、贯穿于真空过渡室和溅镀室的工件输送线，所述溅镀室包括第一溅镀室和第二溅镀室，第一溅镀室内的溅射发生器安装在工件输送线的上方，第二溅镀室内的溅射发生器安装在工件输送线的下方；该溅镀机可以对工件的两个面同时进行镀膜，大大提高了生产效率。文档编号C23C14/34GK2716280SQ200420024850公开日2005年8月10日 申请日期2004年2月20日 优先权日2004年2月20日专利技术者林政乾, 戴明光 申请人:林政乾, 戴明光本文档来自技高网...
【技术保护点】
一种双面一次成膜真空离子溅镀机，包括溅镀室（１）、安装在溅镀室（１）内的溅射发生器（２）、分别与溅镀室（１）的进口和出口密封连接的真空过渡室（３）、贯穿于真空过渡室（３）和溅镀室（１）的工件输送线（４），其特征在于：所述溅镀室（１）包括第一溅镀室（１１）和第二溅镀室（１２），第一溅镀室（１１）内的溅射发生器（２１）安装在工件输送线（４）的上方，第二溅镀室（１２）内的溅射发生器（２２）安装在工件输送线（４）的下方。
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员：林政乾，戴明光，
申请(专利权)人：林政乾，戴明光，
类型：实用新型
国别省市：32[中国|江苏]
还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。