【技术实现步骤摘要】
本技术涉及一种真空离子镀膜机。
技术介绍
目前用于工件表面镀膜的真空离子镀膜机，其镀膜机主体的机顶 为整体盖形式，溅射耙作为离子发射源，直接通装在镀膜机主体的机顶上；对于不同的镀膜工艺要求，需要增加、减少或更换不同型号的 溅射靶，由于结构限制，传统方法是直接更换整个机顶，而机顶整体 较重，拆装不易，更换时会带来很多不便，并且，整体结构不能调整 溅射靶在机顶的位置以适应工艺的变化。
技术实现思路
为解决上述问题，本技术的目的在于提供一种容易更换、调 整溅射靶的真空离子镀膜机。本技术解决其问题所采用的技术方案是一种真空离子镀膜机，包括镀膜机主体和连接在镀膜机主体内的 溅射靶，其特征在于所述镀膜机主体的机顶连接有法兰，溅射靶通 过法兰连接在镀膜机内部。进一步，所述法兰上分布有若千个小型法兰，所述小型法兰连接 若干溅射靶。本技术的有益效果是溅射靶通过可更换的法兰连接在镀膜 机主体的机顶，不同的法兰可通装不同数目、型号的溅射靶，并且能调整溅射靶在机顶上的位置，以满足不同的工艺要求，本技术结 构简单，极大的方便了真空离子镀膜机的溅射靶的更换。以下结合附图和实施例对本技术作进一步说明。附图说明图1是本技术真空离子镀膜机的俯视图2是本技术真空离子镀膜机的平面剖视图。具体实施方式参照图1~图2， 一种真空离子镀膜机，包括镀膜机主体1和连 接在镀膜机主体l内的溅射靶2，镀膜机主体l机顶上设有开口，开 口连接有法兰3，溅射靶2通过法兰3连接在镀膜机1内部。法兰连接方式比较自由，作为优选方式，可在法兰3上连接小型 法兰4，再用小型法兰4分别连接溅射靶2， 一台真空离子镀膜机可 ...
【技术保护点】
一种真空离子镀膜机，包括镀膜机主体（１）和连接在镀膜机主体（１）内的溅射靶（２），其特征在于：所述镀膜机主体（１）机顶设有开口，开口连接法兰（３），溅射靶（２）通过法兰（３）连接在镀膜机（１）内部。
【技术特征摘要】
还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。