一种玻璃基板减薄蚀刻槽制造技术

本实用新型专利技术提供了一种玻璃基板减薄蚀刻槽，包括槽体、进液管、出液管、抽水管、支管、喷嘴、第一水泵、增压泵、第二水泵和玻璃放置架；所述槽体内设有玻璃放置架，槽体的上部设有进液管，下部设有出液管，进液管通过连接管与出液管连接，连接管上设有第二水泵；槽体的顶端开口处设有抽水管，抽水管的一端封闭，另一端通过连通管与槽体的内部连通，连通管上还设有第一水泵和增压泵，抽水管上设有若干个支管，支管伸入槽体内部，支管上设有若干个喷嘴。本实用新型专利技术所述的玻璃基板减薄蚀刻槽能够实现玻璃基板蚀刻厚度更加均匀，蚀刻效果更好。

【技术实现步骤摘要】
一种玻璃基板减薄蚀刻槽
本技术涉及玻璃基板减薄蚀刻
，尤其是涉及一种玻璃基板减薄蚀刻槽。
技术介绍
目前人们所应用的电子产品如手机、掌上电脑、笔记本电脑等都带有液晶显示屏，而液晶显示屏是这些产品的重要元器件，若要整体的降低厚度，方法之一就是把液晶显示屏幕的厚度进一步的减薄，最常用的就是对玻璃基板进行蚀刻减薄，在蚀刻过程，蚀刻液在蚀刻槽中的浓度会发生变化，不再均匀分布，导致蚀刻出的玻璃基板的厚度不均匀，而且反应生成物附着在玻璃基板上也会影响蚀刻的效果。
技术实现思路
有鉴于此，本技术旨在提出一种有利于玻璃基板蚀刻厚度更加均匀的玻璃基板减薄蚀刻槽。为达到上述目的，本技术的技术方案是这样实现的：一种玻璃基板减薄蚀刻槽，包括槽体、进液管、出液管、抽水管、支管、喷嘴、第一水泵、增压泵、第二水泵和玻璃放置架；所述槽体内设有玻璃放置架，槽体的上部设有进液管，下部设有出液管，进液管通过连接管与出液管连接，连接管上设有第二水泵；槽体的顶端开口处设有抽水管，抽水管的一端封闭，另一端通过连通管与槽体的内部连通，连通管上还设有第一水泵和增压泵，抽水管上设有若干个支管，支管伸入槽体内部，支管上设有若干个喷嘴。进一步，所述玻璃放置架上设有玻璃卡位，玻璃卡位的个数比支管的数目少一个，且玻璃卡位与支管间隔设置。进一步，所述槽体的侧壁的内部设有空腔，空腔内设有加热层。进一步，所述槽体内设有温度传感器。进一步，所述进液管和出液管之间的连接管上还连接有过滤装置。相对于现有技术，本技术所述的玻璃基板减薄蚀刻槽具有以下优势：(1)本技术所述的玻璃基板减薄蚀刻槽的槽体上设有进液管和出液管，进液管和出液管通过连接管连通，并通过第二水泵可以实现槽体内的液体的循环流动，有利于蚀刻液的浓度分布均匀；抽水管抽取槽体内的水，并通过增压泵产生高压水流，再经由支管将蚀刻液再喷如槽体内，高压水流可以对槽体内的液体进行搅动，有利于提高蚀刻液的均匀性，使蚀刻的玻璃基板的厚度更加均匀，同时高压水流有利于将玻璃基板上附着的生成物冲刷掉，保证了蚀刻的效果。(2)本技术所述的玻璃基板减薄蚀刻槽的槽体的侧壁内设有加热层，能够对蚀刻液进行加热，加速反应进行，槽体内设有温度传感器，能够随时监测槽体内液体的温度。附图说明构成本技术的一部分的附图用来提供对本技术的进一步理解，本技术的示意性实施例及其说明用于解释本技术，并不构成对本技术的不当限定。在附图中：图1为本技术实施例所述的玻璃基板减薄蚀刻槽的结构示意图；图2为本技术实施例所述的玻璃基板减薄蚀刻槽的剖面图；图3为本技术实施例所述的抽水管的结构示意图；图4为本技术实施例所述的玻璃放置架的结构示意图。附图标记说明：1-槽体；2-进液管；3-出液管；4-抽水管；5-支管；6-喷嘴；7-加热层；8-温度传感器；9-第一水泵；10-增压泵。具体实施方式需要说明的是，在不冲突的情况下，本技术中的实施例及实施例中的特征可以相互组合。在本技术的描述中，需要理解的是，术语“中心”、“纵向”、“横向”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本技术和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本技术的限制。此外，术语“第一”、“第二”等仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此，限定有“第一”、“第二”等的特征可以明示或者隐含地包括一个或者更多个该特征。在本技术的描述中，除非另有说明，“多个”的含义是两个或两个以上。在本技术的描述中，需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以通过具体情况理解上述术语在本技术中的具体含义。下面将参考附图并结合实施例来详细说明本技术。一种玻璃基板减薄蚀刻槽，包括槽体1、进液管2、出液管3、抽水管4、支管5、喷嘴6、第一水泵9、增压泵10、第二水泵和玻璃放置架；所述槽体1内设有玻璃放置架，槽体1的上部设有进液管2，下部设有出液管3，进液管2通过连接管与出液管3连接，连接管上设有第二水泵和过滤装置；槽体1的顶端开口处设有抽水管4，抽水管4的一端封闭，另一端通过连通管与槽体1的内部连通，连通管上还设有第一水泵9和增压泵10，抽水管4上设有若干个支管5，支管5伸入槽体1内部，支管5上设有若干个喷嘴6，所述玻璃放置架上设有玻璃卡位，玻璃卡位的个数比支管的数目少一个，且玻璃卡位与支管5间隔设置。所述槽体1的侧壁的内部设有空腔，空腔内设有加热层7，所述槽体1内设有温度传感器8。下面结合附图详细讲述该装置的运作过程：使用时，将待蚀刻的玻璃基板放到玻璃放置架的玻璃卡位上，然后放入槽体1内，向槽体1内加入蚀刻液，接通加热层7，对蚀刻液加热，并通过温度传感器8进行温度监测。开启第二水泵，将蚀刻液从出液管3流出，再通过连接管和进液管2流会槽体1内，实现槽体1内液体的循环流动，使蚀刻液分布更加均匀；开启第一水泵9和增压泵10，通过抽水管4抽取槽体1内的蚀刻液，然后通过支管5喷出高压水流，高压水流对蚀刻液进行搅动，保证蚀刻液的均匀性，同时高压水流有利于将玻璃基板上附着的生成物冲刷掉，保证了蚀刻的效果。以上所述仅为本技术的较佳实施例而已，并不用以限制本技术，凡在本技术的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本技术的保护范围之内。本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种玻璃基板减薄蚀刻槽，其特征在于：包括槽体(1)、进液管(2)、出液管(3)、抽水管(4)、支管(5)、喷嘴(6)、第一水泵(9)、增压泵(10)、第二水泵和玻璃放置架；所述槽体(1)内设有玻璃放置架，槽体(1)的上部设有进液管(2)，下部设有出液管(3)，进液管(2)通过连接管与出液管(3)连接，连接管上设有第二水泵；槽体(1)的顶端开口处设有抽水管(4)，抽水管(4)的一端封闭，另一端通过连通管与槽体(1)的内部连通，连通管上还设有第一水泵(9)和增压泵(10)，抽水管(4)上设有若干个支管(5)，支管(5)伸入槽体(1)内部，支管(5)上设有若干个喷嘴(6)。

【技术特征摘要】
1.一种玻璃基板减薄蚀刻槽，其特征在于：包括槽体(1)、进液管(2)、出液管(3)、抽水管(4)、支管(5)、喷嘴(6)、第一水泵(9)、增压泵(10)、第二水泵和玻璃放置架；所述槽体(1)内设有玻璃放置架，槽体(1)的上部设有进液管(2)，下部设有出液管(3)，进液管(2)通过连接管与出液管(3)连接，连接管上设有第二水泵；槽体(1)的顶端开口处设有抽水管(4)，抽水管(4)的一端封闭，另一端通过连通管与槽体(1)的内部连通，连通管上还设有第一水泵(9)和增压泵(10)，抽水管(4)上设有若干个支管(5)，支管(5)伸入...

【专利技术属性】
技术研发人员：张杰，沈励，郑建军，姚仕军，夏伟，吴青肖，
申请(专利权)人：天津美泰真空技术有限公司，
类型：新型
国别省市：天津,12