一种喷淋式玻璃基板减薄蚀刻机制造技术

本实用新型专利技术提供了一种喷淋式玻璃基板减薄蚀刻机，包括支架、喷淋罩、喷淋管、滑块、滑轨、固定架、玻璃支架；所述支架上设有两条平行的滑轨，滑轨上滑动设有滑块，所述固定架横跨两条滑轨且固定在滑块上，固定架上通过轴承安装有平行于滑轨的转轴，转轴上固定有呈辐射状分布的玻璃支架；所述支架上还罩设有喷淋罩，所述喷淋罩沿滑轨延伸方向的两个相对面均开口，喷淋罩的内表面设有若干个喷淋管，喷淋管通过第一连接管与抽水泵连接，滑轨的正下方设有储液槽，储液槽通过第二连接管与抽水泵连接。该喷淋式玻璃基板减薄蚀刻机的玻璃基板能够旋转且喷淋面积广，能够使蚀刻液均匀分布在玻璃基板表面，保证玻璃基板厚度均匀。

【技术实现步骤摘要】
一种喷淋式玻璃基板减薄蚀刻机
本技术涉及玻璃减薄蚀刻
，尤其是涉及一种喷淋式玻璃基板减薄蚀刻机。
技术介绍
减薄工艺是液晶面板生产过程中一个较为重要的环节，目前的玻璃减薄工艺大多采用化学蚀刻减薄，蚀刻的方式有喷洒式和浸泡式，其中使用较多的是喷洒式，然而在喷洒式蚀刻中，蚀刻液首先与玻璃基板的上半部分接触并反应，然后再与玻璃基板的下半部分接触并反应，从反应时长来看，玻璃基板的上半部分的反应时长明显要大于下半部分，所以会造成蚀刻后的玻璃基板的上下厚度不均匀。
技术实现思路
有鉴于此，本技术旨在提出一种玻璃基板能够旋转且喷淋面积广的喷淋式玻璃基板减薄蚀刻机，能够使蚀刻液均匀分布在玻璃基板表面，保证玻璃基板厚度均匀。为达到上述目的，本技术的技术方案是这样实现的：一种喷淋式玻璃基板减薄蚀刻机，包括支架、喷淋罩、喷淋管、第一连接管、增压泵、抽水泵、第二连接管、滑块、滑轨、固定架、转轴、玻璃支架；所述支架上设有两条平行的滑轨，滑轨上滑动设有滑块，所述固定架横跨两条滑轨且固定在滑块上，固定架上通过轴承安装有平行于滑轨的转轴，固定上还固定有电机，电机与转轴连接，转轴上固定有呈辐射状分布的玻璃支架；所述支架上还罩设有喷淋罩，所述喷淋罩沿滑轨延伸方向的两个相对面均开口，喷淋罩的内表面设有若干个喷淋管，喷淋管上设有若干个喷嘴，喷淋管通过第一连接管与抽水泵连接，第一连接管上还连接有增压泵，滑轨的正下方设有储液槽，储液槽的顶部开口，储液槽通过第二连接管与抽水泵连接。进一步，所述喷淋罩的侧壁的内表面和顶部的内表面均设有喷淋管。进一步，所述玻璃支架包括框架和固定片，所述框架固定在转轴上，框架的外周上还设有固定片。进一步，所述固定片的材质为弹性耐腐蚀材料。进一步，所述转轴的外表面设有若干个凸起。进一步，所述电机的外部罩设有保护罩。相对于现有技术，本技术所述的喷淋式玻璃基板减薄蚀刻机具有以下优势：本技术所述的喷淋式玻璃基板减薄蚀刻机的玻璃支架设置在转轴上，通过电机带动转轴旋转，使得待减薄的玻璃基板在玻璃支架上绕转轴转动，保证玻璃基板的每个面、每个角落均能喷洒上蚀刻液，蚀刻更加均匀，而且喷淋管设有若干个，保证喷淋范围更广。附图说明构成本技术的一部分的附图用来提供对本技术的进一步理解，本技术的示意性实施例及其说明用于解释本技术，并不构成对本技术的不当限定。在附图中：图1为本技术实施例所述的喷淋式玻璃基板减薄蚀刻机的结构示意图；图2为本技术实施例所述的喷淋罩的内部结构示意图；图3为本技术实施例所述的框架的结构示意图；图4为本技术实施例所述的转轴的结构示意图。附图标记说明：1-支架；2-喷淋罩；3-喷淋管；4-喷嘴；5-第一连接管；6-增压泵；7-抽水泵；8-第二连接管；9-滑块；10-滑轨；11-固定架；12-转轴；13-玻璃支架；14-框架；15-固定片；16-凸起；17-轴承；18-储液槽。具体实施方式需要说明的是，在不冲突的情况下，本技术中的实施例及实施例中的特征可以相互组合。在本技术的描述中，需要理解的是，术语“中心”、“纵向”、“横向”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本技术和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本技术的限制。此外，术语“第一”、“第二”等仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此，限定有“第一”、“第二”等的特征可以明示或者隐含地包括一个或者更多个该特征。在本技术的描述中，除非另有说明，“多个”的含义是两个或两个以上。在本技术的描述中，需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以通过具体情况理解上述术语在本技术中的具体含义。下面将参考附图并结合实施例来详细说明本技术。一种喷淋式玻璃基板减薄蚀刻机，包括支架1、喷淋罩2、喷淋管3、第一连接管5、增压泵6、抽水泵7、第二连接管8、滑块9、滑轨10、固定架11、转轴12、玻璃支架13；所述支架1上设有两条平行的滑轨10，滑轨10上滑动设有滑块9，所述固定架11横跨两条滑轨10且固定在滑块9上，固定架11上通过轴承17安装有平行于滑轨10的转轴12，固定架11上还固定有电机，电机与转轴12连接，电机的外部罩设有保护罩，转轴12上固定有呈辐射状分布的玻璃支架13，所述玻璃支架13包括框架14和固定片15，所述框架14固定在转轴12上，框架14的外周上还设有固定片15，所述固定片15的材质为弹性耐腐蚀材料；所述转轴12的外表面设有若干个凸起16。所述支架1上还罩设有喷淋罩2，所述喷淋罩2沿滑轨10延伸方向的两个相对面均开口，喷淋罩2的内表面设有若干个喷淋管3，所述喷淋罩2的侧壁的内表面和顶部的内表面均设有喷淋管3，喷淋管3上设有若干个喷嘴4，喷淋管3通过第一连接管5与抽水泵7连接，第一连接管5上还连接有增压泵6，滑轨10的正下方设有储液槽18，储液槽18的顶部开口，储液槽18通过第二连接管8与抽水泵7连接。下面结合附图详细讲述该装置的运作过程：使用时，将待减薄的玻璃基板放到玻璃支架13上，并通过转轴12上的凸起16和框架14上的固定片15进行固定，然后启动电机、抽水泵7、增压泵6，推动滑块9，使待减薄的玻璃基板位于喷淋罩2内，由喷淋管3对玻璃基板进行喷淋减薄，电机带动玻璃支架13绕转轴12转动，使蚀刻液均匀分布在玻璃基板表面，保证玻璃基板厚度均匀，喷淋罩2的侧壁的内表面和顶部的内表面均设有喷淋管3，喷淋范围更广，电机的外部罩设有保护罩，对电机起保护作用。以上所述仅为本技术的较佳实施例而已，并不用以限制本技术，凡在本技术的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本技术的保护范围之内。本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种喷淋式玻璃基板减薄蚀刻机，其特征在于：包括支架(1)、喷淋罩(2)、喷淋管(3)、第一连接管(5)、增压泵(6)、抽水泵(7)、第二连接管(8)、滑块(9)、滑轨(10)、固定架(11)、转轴(12)、玻璃支架(13)；所述支架(1)上设有两条平行的滑轨(10)，滑轨(10)上滑动设有滑块(9)，所述固定架(11)横跨两条滑轨(10)且固定在滑块(9)上，固定架(11)上通过轴承(17)安装有平行于滑轨(10)的转轴(12)，固定架(11)上还固定有电机，电机与转轴(12)连接，转轴(12)上固定有呈辐射状分布的玻璃支架(13)；所述支架(1)上还罩设有喷淋罩(2)，所述喷淋罩(2)沿滑轨(10)延伸方向的两个相对面均开口，喷淋罩(2)的内表面设有若干个喷淋管(3)，喷淋管(3)上设有若干个喷嘴(4)，喷淋管(3)通过第一连接管(5)与抽水泵(7)连接，第一连接管(5)上还连接有增压泵(6)，滑轨(10)的正下方设有储液槽(18)，储液槽(18)的顶部开口，储液槽(18)通过第二连接管(8)与抽水泵(7)连接。

【技术特征摘要】
1.一种喷淋式玻璃基板减薄蚀刻机，其特征在于：包括支架(1)、喷淋罩(2)、喷淋管(3)、第一连接管(5)、增压泵(6)、抽水泵(7)、第二连接管(8)、滑块(9)、滑轨(10)、固定架(11)、转轴(12)、玻璃支架(13)；所述支架(1)上设有两条平行的滑轨(10)，滑轨(10)上滑动设有滑块(9)，所述固定架(11)横跨两条滑轨(10)且固定在滑块(9)上，固定架(11)上通过轴承(17)安装有平行于滑轨(10)的转轴(12)，固定架(11)上还固定有电机，电机与转轴(12)连接，转轴(12)上固定有呈辐射状分布的玻璃支架(13)；所述支架(1)上还罩设有喷淋罩(2)，所述喷淋罩(2)沿滑轨(10)延伸方向的两个相对面均开口，喷淋罩(2)的内表面设有若干个喷淋管(3)，喷淋管(3)上设有若干个喷嘴(4)，喷淋管(3)通过第一连接管(5)与抽水泵(7)连接，第一连...

【专利技术属性】
技术研发人员：张杰，沈励，郑建军，姚仕军，夏伟，吴青肖，
申请(专利权)人：天津美泰真空技术有限公司，
类型：新型
国别省市：天津,12