一种顶喷式蚀刻系统的储酸循环装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术公开一种顶喷式蚀刻系统的储酸循环装置，包括向蚀刻机循环泵入酸液的储酸槽，其特征在于，所述储酸槽的上部为圆筒形、下部为倒圆锥形，储酸槽底部通过管道依次连接排渣泵与压滤机，压滤机的出酸口通过出酸管连接至储酸槽的入口；将储酸槽的上、下部分别设计成圆筒形与倒圆锥形，使得酸液进入储酸槽后呈螺旋形旋转，从而使酸液中的玻璃渣受到离心力的作用，沿着储酸槽内壁汇集到储酸槽底部；再由排渣泵将玻璃渣排至压滤机进行压缩过滤后排出，压滤机过滤后的酸液重新进入储酸槽循环使用；本装置有利于玻璃渣的沉积、排出，提高玻璃减薄的质量。

An acid storage cycle device for the top jet etching system

The utility model discloses an acid storage cycle device for an etch etching system, which includes an acid storage tank for the acid liquid of an etching machine, which is characterized in that the upper part of the acid storage tank is cylindrical and the lower part is inverted conical, the bottom of the acid storage tank is connected to the slag pump and the filter press through a pipe in turn, and the acid outlet of the filter press is passed out. The acid pipe is connected to the inlet of the acid storage tank, and the upper and lower parts of the acid storage tank are designed to be cylindrical and conical respectively, so that the acid is spirally rotated after entering the acid storage tank, so that the glass slag in the acid is subjected to centrifugal force and is gathered along the inner wall of the acid storage tank to the bottom of the acid storage tank; and then the glass slag is discharged to pressure by the slag pump. The filter is discharged after compression and filtration, and the acid liquid after filter filter is re entered into the acid storage tank. This device is beneficial to the deposition and discharge of glass slag and improve the quality of glass thinning.

【技术实现步骤摘要】
一种顶喷式蚀刻系统的储酸循环装置
本技术涉及玻璃减薄
，具体是一种顶喷式蚀刻系统的储酸循环装置。
技术介绍
随着国内外TFT-LCD液晶面板需求量与日俱增以及消费者对各种显示器件轻薄化要求越来越高，TFT-LCD液晶面板制造企业对液晶面板减薄设备的需求也越来越，因此，TFT-LCD液晶面板减薄设备具有十分广阔市场。顶喷式蚀刻机作为当下最主流的TFT-LCD液晶面板减薄设备之一，在越来越多的减薄厂广泛使用，尤其对于大尺寸液晶面板的减薄具有更明显的优势。目前，一般由储酸槽向蚀刻机循环泵入酸液，对玻璃进行蚀刻。在蚀刻过程中玻璃渣会跟随酸液流入储酸槽，储酸槽底部为平面，玻璃渣随酸液流动，这就造成玻璃渣不能够有效地在储酸槽内沉积，不能被及时被除去，重新进入喷淋蚀刻，易堵塞喷嘴，影响玻璃减薄的质量。
技术实现思路
本技术的目的在于提供一种顶喷式蚀刻系统的储酸循环装置，该装置有利于玻璃渣的沉积、排出，提高玻璃减薄的质量。本技术解决其技术问题所采用的技术方案是：一种顶喷式蚀刻系统的储酸循环装置，循环泵将储酸槽内的酸液泵入蚀刻机，所述储酸槽的上部为圆筒形、下部为倒圆锥形，储酸槽底部通过管道依次连接排渣泵本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种顶喷式蚀刻系统的储酸循环装置，循环泵将储酸槽内的酸液泵入蚀刻机，其特征在于，所述储酸槽的上部为圆筒形、下部为倒圆锥形，储酸槽底部通过管道依次连接排渣泵与压滤机，压滤机的出酸口通过出酸管连接至储酸槽的入口。

【技术特征摘要】
1.一种顶喷式蚀刻系统的储酸循环装置，循环泵将储酸槽内的酸液泵入蚀刻机，其特征在于，所述储酸槽的上部为圆筒形、下部为倒圆锥形，储酸槽底部通过管道依次连接排渣泵与压滤机，压滤...

【专利技术属性】
技术研发人员：茆令文，鲍兆臣，张少波，徐翠珍，杨金发，谢加加，唐寿武，陶明山，
申请(专利权)人：凯盛科技股份有限公司，
类型：新型
国别省市：安徽,34