用于平板显示器的化学气相沉积设备制造技术

本发明专利技术是关于一种用于平板显示器的化学气相沉积设备，包含：基座，其安装在腔室中，能够升高，且具有上面加载平板显示器的上表面；柱，其具有耦合到基座的后表面的中心区域的上端，和向下穿过腔室而暴露的下端，从而支撑基座，使其能够升高；以及基座支撑件，其在腔室中耦合到柱，且允许上表面的至少一区域接触并支撑基座的后表面，从而从基座的下侧支撑基座，以防止基座下垂。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及一种用于平板显示器(flat display)的化学气相沉积设 备(chemical vapor deposition apparatus), 且更明确地说，涉及一种 用于平板显示器的化学气相沉积设备，其具有简化的结构，有助于下腔室 (lower chamber )下方的空间的有效使用，且防止基座(susceptor )下垂。
技术介绍
平才反显示器广泛用于个Ai更携式终端(personal portable terminals), TV或计算机监视器(computer monitors )。平板显示器包含多个种类，例 如液晶显示器(liquid crystal displays ， LCDs )、等离子体显示面板 (plasma display panels ， PDPs )和有机发光二极管(organic light emitting diodes , OLEDs )。关于平板显示器，LCD是通过在上和下玻璃衬 底的两个薄片(sheets )之间注射液晶(其是介于固态与液态之间的中间 物质)而形成的，且是使用一种光学切换现象(optical switch phenomenon) 的装置，其通过使用上玻璃衬底与下玻璃衬底之间的电极电压差来改变液 体分子的布置而产生亮度和暗度，而显示数字或图像。LCD广泛用于电子装置，例如电子时钟、电子计算器、TV和膝上型计 算机(laptops),且用于汽车和飞机的转速计以及操作系统。通常，LCD TV的屏幕大小已有20到30英寸，而监^L器的屏幕大小已 有17英寸或更小。近来，消费者更喜欢大于40英寸的大屏幕TV和20英 寸的大屏幕监视器。因此，LCD制造商需要生产更大的玻璃衬底。近来，大 小为约2 x 2 m的所谓的第8代玻璃衬底的大规模生产正在开发之中。LCD通过一 系列工艺被制造出来且最终投入市场中，所述一 系列工艺包 含TFT工艺，其中反复进行沉积、光刻(photolithography),蚀刻、化 学气相沉积；单元工艺，其用于组合上玻璃衬底与下玻璃衬底；以及模块 工艺，其用于完成产品。在化学气相沉积工艺(其为许多工艺中的一种)中，通过外部高频功 率而以等离子体形式的具有高能量的基于硅的组合物离子通过电极从气体 分布面板(gas distribution panel)注射，且沉积在玻璃衬底上。在执 行化学气相沉积工艺的腔室中执行所述工艺。如将详细描述，执行化学气相沉积工艺的腔室包含上腔室(叩per chamber )和下腔室。在上腔室中提供电极，且在下腔室中提供基座，基座上面加载经受沉积的玻璃衬底。当玻璃衬底加载在基座的上表面上时，将基座加热到280。C到38(TC之 间的温度。接着，基座升高且布置成接近作为下电极的气体分布面板。通 过使用特富龙(Teflon )(其为绝缘部件)而与腔室绝缘的电极来施加功率。 通过具有许多小孔的气体分布面板来注射基于硅的组合物离子，使得玻璃 衬底的沉积工艺得以执行。如上文所述，第8代玻璃衬底的基座(其相对较重且较大)可能下垂。 在此情况下，加载在基座的上表面上的玻璃衬底也可能下垂。当玻璃衬底 下垂时，沉积在玻璃衬底上的膜的均匀性可能降低，使得质量变差。为了解决上述问题，本申请人申请了第2006-0011600号韩国专利申请 案(尚未公布)， 一种通过在基座下方单独提供基座支撑件来防止基座下垂 的技术。然而，对于在基座下方采用单独的基座支撑件的化学气相沉积设备来 说，由于当基座处于与用于支撑基座的轴(在下文称为柱)隔开的位置处 时使用了多个辅助轴，所以沉积设备的结构较复杂，且使得难以使用下腔 室下方的空间。因此，需要一种经改进的结构，其可简化结构、有助于下 腔室下方的空间的有效使用，且防止基座的下垂。
技术实现思路
为了解决上述和/或其它问题，本专利技术提供一种用于平板显示器的化学 气相沉积设备，其具有简化的结构，有助于下腔室下方的空间的有效使用， 且防止基座的下垂。根据本专利技术的一方面，用于平板显示器的化学气相沉积设备包括基 座，其安装在腔室中，能够升高且具有上面加载平板显示器的上表面；柱， 其具有耦合到基座的后表面的中心区域的上端，和向下穿过所述腔室而暴 露的下端，从而支撑所述基座，使其能够升高；以及基座支撑件，其在所 述腔室中耦合到所述柱，且允许上表面的至少一个区域接触并支撑基座的 后表面，从而从基座的下侧支撑基座，以防止基座下垂。基座支撑件包括至少一个单元支撑面板，以及辅助支撑垫(support pad)，其耦合到所述至少一个单元支撑面板的上表面，且实质上接触并支 撑基座的后表面。所述至少一个单元支撑面板是具有棒形状的两个单元支撑面板，且所 述两个单元支撑面板布置成相对于基座的后表面上的柱的中心轴彼此交 叉，使得两个单元支撑面板中的每一者的末端部分面向基座的角落。两个单元支撑面板布置成以X形状彼此重叠，且在两个单元支撑面板 中的每一者的上表面的两端处提供辅助支撑垫。与两个单元支撑面板的下部中所提供的第二辅助支撑塾的厚度相比， 位于两个单元支撑面板的上部中的第一单元支撑面板上所提供的第一辅助 支撑垫的厚度较薄，且第一和第二辅助支撑垫的上端实质上形成同一平坦 表面。所述至少一个单元支撑面板是具有棒形状的单个单元支撑面板，且所 述单个单元支撑面板布置成在基座后表面上的柱的轴中心处彼此交叉，使得所述单个单元支撑面板的末端,分面向基座的角落。在单元支撑面板的中心区域处形成通孔(through hole),在所述—通孔 中插入所述柱，且止动件(stopper )在径向方向上/人所述柱向外延伸，以 防止单元支撑面板向下移动。沿所述通孔的圆周方向形成多个螺^"孔(screw holes),且在所述止 动件中的对应于所述螺钉孔的位置处形成用于螺钉耦合的多个螺钉耦合部 分。所述螺钉耦合部分是通过在径向方向上将止动件的外圆周表面切割成 圓弧形状而形成的切割部分。单元支撑面板和辅助支撑垫由陶瓷形成，且所述平板显示.器是用于.液 晶显示器的大玻璃村底。附图说明图1是展示根据本专利技术实施例的用于平板显示器的化学气相沉积设备 的结构的横截面图2是基座支撑件的平面图3是图2的基座支撑件的透视图4是基座支撑件的分解透视图5是#4居本专利技术另一实施例的用于平板显示器的化学气相沉积设备 的透浮见图。具体实施例方式参考用于说明本专利技术的示范性实施例的附图，以便充分理解本专利技术、 其价值以及本专利技术的实施方案所卖现的目的。在下文中，将通过参考附图 阐释本专利技术的示范性实施例来详细描述本专利技术。图式中的相同参考标号表 示相同元件。的结构的横截面图。图2是^^座支撑件的平面图。图3是图2的基產支撑 件的透视图。图4是基座支撑件的分解透视图。平板显示器G可以是液晶显示器(LCD)、等离子体显示面板(PDP)和 有机发光二极管(0LED)中的任何一者。然而，在本实施例中，将用于LCD的大玻璃衬底视为平板显示器G。术语"大"指示与第8代玻璃衬底的大小 相对应的大小。在以下描述内容中，平板显示器G被称为玻璃衬底G。参看图'1,根据本专利技术的用于平板显示器的化学气相沉积设备包含:上 腔室10和下腔室20;电极30,其提供在上腔室10中，且向经受沉积的玻 璃衬底G注射沉积物本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种用于平板显示器的化学气相沉积设备，其特征在于其包括：　　　　基座，其安装在腔室中，能够升高，且具有上面加载所述平板显示器的上表面；　　　　柱，其具有耦合到所述基座的后表面的中心区域的上端，和向下穿过所述腔室而暴露的下端，从而支撑所述基座，使其能够升高；以及　　　　基座支撑件，其在所述腔室中耦合到所述柱，且允许其上表面的至少一区域接触并支撑所述基座的所述后表面，从而从所述基座的下侧支撑所述基座，以防止所述基座下垂。

【技术特征摘要】
...

【专利技术属性】
技术研发人员：李相琝，张祥来，
申请(专利权)人：SFA工程股份有限公司，
类型：发明
国别省市：KR[韩国]