For a diamond wire slicing machine rotary joint wafer cutting, including rotary joint of the upper part of the body is arranged on the base and connected with a touch screen hanging cantilever, connecting the body of the rotary joint with the touch screen and the base of the cantilever hanging with rolling bearings, which are used to realize the rotation of the rolling head body rotating. The rotary joint structure of the utility model of the sliding friction existing technology into rolling friction, and can limit the rotation angle of the touch screen hanging in operation, greatly reduces the hanging joint wear, reduce joint friction, reduce the difficulty of the operation, prolong the service life of the joint, hanging, further reduce the failure rate save the cost.
【技术实现步骤摘要】
一种用于硅片切割的金刚石线切片机旋转接头
本技术涉及硅片切割装置
,具体涉及一种用于硅片切割的金刚石线切片机旋转接头。
技术介绍
硅片具有禁带宽度大、临界击穿场强高、热导率高等优点,是制作高压、大功率半导体器件的理想材料。由于硅片加工的晶体原料莫氏硬度非常高,加工难度很大。当晶体的直径达到2英寸时,常规的内圆切割机不能有效地工作,必须采用金刚石线切割技术。在使用切片机的过程中经常操作的有两个部位:切片机的加工仓、线管理仓,这两个部位的距离在3米以上;而且要操作的一些指令都在触摸屏的人机画面上面,所以就要求切片机的触摸屏需要具备旋转的功能而且旋转的有效半径在1.5米左右(旋转范围在180°)。随着时代的发展、技术的进步以及客户对产品要求的不断提高,现在的金刚石线切片机的切割速度也在不断的提高。随之带来的对切片机的触摸屏吊挂的使用频率也在不断的增加,与其同时对吊挂接头的磨损也就大幅度增加;最后吊挂接头故障增加,影响了设备的稼动率、增加了设备的维修成本。
技术实现思路
针对现有技术不足,本技术提供了一种易于操作的减磨金刚石线切片机旋转接头。本技术解决上述技术问题采用的技术方案为:一种用于硅片切割的金刚石线切片机旋转接头,其包括设置于底座上的、上部连接触摸屏悬臂吊挂的旋转接头本体,所述的旋转接头本体与触摸屏悬臂吊挂以及底座的连接处装有圆锥滚子轴承,用于实现旋转接头本体的滚动旋转。进一步地,所述的底座带有限位机构,用于限制旋转接头本体的旋转角度。进一步地,所述的旋转接头本体内部为中空结构。与现有技术相比,本技术具备的有益效果为:(1)把现有技术中的滑动摩擦变为滚动摩擦 ...
【技术保护点】
一种用于硅片切割的金刚石线切片机旋转接头,其特征在于,包括设置于底座上的、上部连接触摸屏悬臂吊挂的旋转接头本体,所述的旋转接头本体与触摸屏悬臂吊挂以及底座的连接处装有滚动轴承,用于实现旋转接头本体的滚动旋转。
【技术特征摘要】
1.一种用于硅片切割的金刚石线切片机旋转接头,其特征在于,包括设置于底座上的、上部连接触摸屏悬臂吊挂的旋转接头本体,所述的旋转接头本体与触摸屏悬臂吊挂以及底座的连接处装有滚动轴承,用于实现旋转接头本体的滚动旋转。2.根据权利要求1所述的一种用于硅片切割的金刚石线切片机旋转接头,其特...
【专利技术属性】
技术研发人员:邓加云,
申请(专利权)人:无锡隆基硅材料有限公司,
类型:新型
国别省市:江苏,32
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