镀膜机及镀膜方法技术

本发明专利技术提供了一种镀膜机及镀膜方法，可以降低使用镀膜机生产TFT液晶显示屏时的破片率，提高了TFT液晶显示屏加工良率。

Coating machine and coating method

The invention provides a coating machine and a coating method, which can reduce the fragment rate of the TFT liquid crystal display when using the coating machine, and improve the processing yield of the TFT liquid crystal display.

【技术实现步骤摘要】
镀膜机及镀膜方法
本专利技术涉及液晶显示屏加工
，尤其涉及一种镀膜机及镀膜方法。
技术介绍
真空镀膜机用于给液晶显示屏镀膜，在镀膜机内设有多个依次相连的腔体及与腔体相连通的主真空管，腔体通过直管与主真空管相连，直管上设有阀门，第一个腔体与最后一个腔体分别与外界大气相连通，现有的镀膜机额第一个腔体从大气压抽气到真空时，抽气时间只有20s左右，抽气速度较快，最后一个腔体从真空放气到大气压时，放气时间只有10s左右，放气速度较快，而抽气速度、放气速度过快导致镀膜机在加工TFT液晶显示屏时显示屏受气流撞击力较大，使得TFT液晶显示屏的破片率较高、良率低，因此急需提高使用普通镀膜机加工TFT液晶显示屏的产品加工良率。
技术实现思路
本专利技术提供了一种镀膜机，该镀膜机的抽气速度、放气速度均较慢，可以减小气流的冲击率，降低TFT液晶显示屏的破片率，提高镀膜时的产品加工良率。本专利技术采用的技术方案是，一种镀膜机，其特征在于，包括多个依次连通的腔体，所述的腔体包括M1、M2、M3…M13、M14、M15腔体，所述的M1腔体设有出气管和第一真空管，所述的M15腔体设有进气管和第二真空管，所述的出气本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种镀膜机，其特征在于，包括多个依次连通的腔体，所述的腔体包括M1、M2、M3…M13、M14、M15腔体，所述的M1腔体(1)设有出气管(11)和第一真空管(12)，所述的M15腔体(2)设有进气管(21)和第二真空管(22)，所述的出气管(11)、进气管(21)的端部分别与大气连通，在出气管、进气管的管体上分别设有至少一个真空阀(111)，在所述的第一真空管(12)、第二真空管(22)上分别设有机械泵(31)、罗芡泵(32)和蝶阀(121)；在M1腔体(1)设有与出气管(11)相连接的出气孔(112)，在所述的出气孔(112)上设有第一过滤网(7)，在所述的第一过滤网(7)与所述的出气孔(...

【技术特征摘要】
1.一种镀膜机，其特征在于，包括多个依次连通的腔体，所述的腔体包括M1、M2、M3…M13、M14、M15腔体，所述的M1腔体(1)设有出气管(11)和第一真空管(12)，所述的M15腔体(2)设有进气管(21)和第二真空管(22)，所述的出气管(11)、进气管(21)的端部分别与大气连通，在出气管、进气管的管体上分别设有至少一个真空阀(111)，在所述的第一真空管(12)、第二真空管(22)上分别设有机械泵(31)、罗芡泵(32)和蝶阀(121)；在M1腔体(1)设有与出气管(11)相连接的出气孔(112)，在所述的出气孔(112)上设有第一过滤网(7)，在所述的第一过滤网(7)与所述的出气孔(112)之间还设有挡板(6)；在所述的M2、M3…M13、M14腔体的上方设有横向的主真空管(3)，在所述的主真空管(3)的两端分别设有机械泵(31)和罗芡泵(32)，所述的M2、M3…M13、M14腔体分别通过至少一个直管(4)与所述的主真空管(3)连通，在每个直管(4)上均设有分子泵(41)和真空阀(111)；...

【专利技术属性】
技术研发人员：郭友根，
申请(专利权)人：江西合力泰科技有限公司，
类型：发明
国别省市：江西,36