一种碳化硅加工籽晶夹持装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术公开了一种碳化硅加工籽晶夹持装置。其包括夹持柱体，所述夹持柱体的底部设有夹持腔，所述夹持腔的上侧位于夹持柱体的上部设有夹持后腔，所述夹持腔的侧边设有凹槽，所述凹槽的内部通过螺杆连接有夹紧块，所述夹紧块的内部设有轴承，所述螺杆的一端套接于轴承的内部，本实用新型专利技术通过观察口的设置，可观察到碳化硅籽晶是否进入至夹持后腔的合适位置处，在碳化硅籽晶经由夹持腔进入夹持后腔，碳化硅籽晶的上端以及上部侧边与夹持后腔接触时，通过后腔防护垫的设置，可起到保护碳化硅籽晶的作用，然后旋紧螺杆，使得夹紧块夹紧碳化硅籽晶时，夹紧块之间相互配合夹紧后，对碳化硅籽晶起到很好的夹紧固定作用。

A silicon carbide processing seed crystal clamping device

The utility model discloses a silicon carbide processing seed crystal clamping device. It includes a clamping cylinder, the clamping cylinder is arranged at the bottom of the clamping cavity, the upper part of the clamping cavity is located in the upper clamping cylinder is provided with clamping cavity, the clamping cavity side is provided with a groove, the inside of the groove by a screw connected with the inner clamping block. The clamping block is provided with a bearing sleeve, one end of the screw is connected to the bearing, the utility model by observing the port settings, can be observed in the SiC seed to clip whether to enter the place holding cavity, the silicon carbide seed through the clamping cavity into the holding cavity after seed, silicon carbide the crystal and the upper side and the upper clamping cavity after contact, through the cavity of the protection pad, can play a protective role in seed crystal silicon carbide, and then tighten the screw, the clamping clamping silicon seed crystal, the mutual coordination between the clamping clamping block after the carbonation The silicon seed crystal plays a very good clamping and fixing effect.

【技术实现步骤摘要】
一种碳化硅加工籽晶夹持装置
本技术涉及碳化硅加工设备
，具体为一种碳化硅加工籽晶夹持装置。
技术介绍
籽晶夹具是碳化硅长晶制造的过程中一种重要而且是必需的部件，籽晶从最开始长晶准备工序到最终的长晶结束退火阶段需要被很好地固定到籽晶夹具中，确保在制备过程中籽晶不会脱落掉入熔汤，最终顺利完成碳化硅单晶的生长，为此，我们推出一种新的碳化硅加工籽晶夹持装置。
技术实现思路
本技术的目的在于提供一种碳化硅加工籽晶夹持装置，以解决上述
技术介绍
中提出的问题。为实现上述目的，本技术提供如下技术方案：一种碳化硅加工籽晶夹持装置，包括夹持柱体，所述夹持柱体的底部设有夹持腔，所述夹持腔的上侧位于夹持柱体的上部设有夹持后腔，所述夹持腔的侧边设有凹槽，所述凹槽的内部通过螺杆连接有夹紧块，所述夹紧块的内部设有轴承，所述螺杆的一端套接于轴承的内部。优选的，所述夹持后腔的表面设有后腔防护垫。优选的，所述夹紧块的内侧表面设有防护垫。优选的，所述夹紧块为等距对称设置。优选的，所述夹持后腔和夹持腔的尺寸相等。优选的，所述夹持柱体的上部侧边设有观察口。与现有技术相比，本技术的有益效果是：本技术通过夹持后腔和夹持腔的尺寸相等的本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种碳化硅加工籽晶夹持装置，包括夹持柱体(1)，其特征在于：所述夹持柱体(1)的底部设有夹持腔(4)，所述夹持腔(4)的上侧位于夹持柱体(1)的上部设有夹持后腔(9)，所述夹持腔(4)的侧边设有凹槽(3)，所述凹槽(3)的内部通过螺杆(2)连接有夹紧块(5)，所述夹紧块(5)的内部设有轴承(7)，所述螺杆(2)的一端套接于轴承(7)的内部。

【技术特征摘要】
1.一种碳化硅加工籽晶夹持装置，包括夹持柱体(1)，其特征在于：所述夹持柱体(1)的底部设有夹持腔(4)，所述夹持腔(4)的上侧位于夹持柱体(1)的上部设有夹持后腔(9)，所述夹持腔(4)的侧边设有凹槽(3)，所述凹槽(3)的内部通过螺杆(2)连接有夹紧块(5)，所述夹紧块(5)的内部设有轴承(7)，所述螺杆(2)的一端套接于轴承(7)的内部。2.根据权利要求1所述的碳化硅加工籽晶夹持装置，其特征在于：所述夹持后腔(9)的表面...

【专利技术属性】
技术研发人员：王晓，杨树莲，刘鹏飞，柏文文，
申请(专利权)人：山东天岳先进材料科技有限公司，
类型：新型
国别省市：山东,37