籽晶清洗盒制造技术

技术编号:17386690 阅读:66 留言:0更新日期:2018-03-04 10:14
一种籽晶清洗盒,包括盒体,所述盒体包括两个相对设置的第一侧板和相对设置的两个第二侧板,所述籽晶清洗盒还包括所述盒体内部的至少一个隔板,两个所述第一侧板均开设与所述隔板的宽度匹配的隔板安装孔,所述隔板安装孔用于放置所述隔板,所述隔板安装孔的高度大于所述隔板的厚度,所述隔板包括一平板部和所述平板部上的至少一个凸起组,每个所述凸起组包括多个凸起部。本实用新型专利技术中,籽晶清洗彻底,不会使籽晶表面产生凹凸不平的情况,提高了籽晶的清洗效果。

Seed crystal cleaning box

A seed cleaning box comprises a box body, wherein the box body comprises two opposite the first side plate and the two side plate second arranged relatively, the seed cleaning box also comprises at least one partition inside the box body two, the first side plate are provided with the baffle plate the width of the matching installation hole, the baffle mounting hole for arranging the baffle, the baffle mounting hole is greater than the thickness of the clapboard, the clapboard comprises a flat plate portion and the flat portion of the at least one projection group, each of the convex set comprises a plurality of protrusions. In the utility model, the seed crystal is cleaned thoroughly, and the seed crystal surface is not uneven, and the cleaning effect of the seed crystal is improved.

【技术实现步骤摘要】
籽晶清洗盒
本技术涉及硅单晶设备
,特别是涉及籽晶清洗盒。
技术介绍
类单晶是一种采用底部铺设单晶籽晶的定向凝固技术,籽晶的制备是类单晶技术的关键因素之一,籽晶在坩埚中进行铺设时要求籽晶纯净,且侧部接触面要求平整,无明显凸起与凹坑,否则容易引起多晶产生缺陷。籽晶的清洗是籽晶制备的关键环节之一,所以籽晶的清洗成为类单晶技术的关键内容。籽晶通过切割加工后,表面会存在大量的杂质污染,需要经过酸清洗环节加以清除,籽晶在切割加工齐整通常不会产生凸起或者凹坑的,通常是在清洗环节使得籽晶表面产生凹凸不平。现有技术中,籽晶的清洗通常采用耐强酸装载盒在强酸中清洗一定时间。类单晶技术使用的籽晶通常为与多晶硅片平面尺寸近似相等的立方体结构。籽晶在常规的装载盒中通常是水平堆叠放置,或竖直放置。籽晶水平放置或竖直放置在装载盒中,会使得籽晶的一面或多面与装载盒接触,籽晶与装载盒的接触面接受酸液清洗程度减弱,导致接触面清洗不干净或者导致的籽晶清洗过后接触面凹凸不平。
技术实现思路
鉴于上述状况,针对现有技术中籽晶清洗效果差的问题提供一种籽晶清洗盒。一种籽晶清洗盒,包括盒体,所述盒体包括两个相对设置的第一侧板和相对设置的两个第二侧板,所述籽晶清洗盒还包括所述盒体内部的至少一个隔板,两个所述第一侧板均开设与所述隔板的宽度匹配的隔板安装孔,所述隔板安装孔用于放置所述隔板,所述隔板安装孔的高度大于所述隔板的厚度,所述隔板包括一平板部和所述平板部上的至少一个凸起组,每个所述凸起组包括多个凸起部。上述籽晶清洗盒,其中,所述第一侧板上相邻的两个所述隔板安装孔之间开设多个第一导流孔,每个所述第一侧板上的所述第一导流孔和所述隔板安装孔形成的开孔面积占所述第一侧板面积的60%~80%。上述籽晶清洗盒,其中,每个所述第二侧板上开设有均匀分布多个第二导流孔。上述籽晶清洗盒,其中,所述第二导流孔的孔径为0.5~1mm。上述籽晶清洗盒,其中,每个所述第二侧板上的第二导流孔形成的开孔面积占第二侧板的面积的10%~15%。上述籽晶清洗盒,其中,所述凸起组设置多个,且为阵列分布,相邻两个所述凸起组的中心点的间距大于单块籽晶的尺寸。上述籽晶清洗盒,其中,每个所述凸起部的上端面的尺寸小于下端面的尺寸。上述籽晶清洗盒,其中,所述隔板的两侧设有滑块,两个所述第一侧板上分别开设有与所述滑块匹配的滑槽。上述籽晶清洗盒,其中,所述滑槽的一端设有限位块。本技术实施例中的籽晶清洗盒中设有至少一个隔板,隔板上设有凸起组,突起组包括多个用于支撑籽晶的凸起部,待清洗的籽晶放置在凸起组上,与籽晶清洗盒一起放入酸洗槽中进行酸洗。装载盒具有多层隔板,可以起到批量清洗的目的,提高清洗效率。隔板上设计凸起部,可以将籽晶块水平放置,籽晶底面只有凸起部只有很小的接触点,因此籽晶的下表面基本与清洗液完全接触,使籽晶上的脏污清洗干净,不会使籽晶表面产生凹凸不平的情况,提高了籽晶的清洗效果。附图说明图1为本技术第一实施例中的籽晶清洗盒的结构示意图;图2为本技术第一实施例中的籽晶清洗盒的剖视;图3为本技术第一实施例中的隔板的结构示意图;图4为本技术第二实施例中的籽晶清洗盒的结构示意图。主要元件符号说明具体实施方式为了便于理解本技术,下面将参照相关附图对本技术进行更全面的描述。附图中给出了本技术实施例。但是,本技术可以以许多不同的形式来实现,并不限于本文所描述的实施例。相反地,提供该实施例的目的是使对本技术的公开内容更加透彻全面。需要说明的是,当元件被称为“固设于”另一个元件,它可以直接在另一个元件上或者也可以存在居中的元件。当一个元件被认为是“连接”另一个元件,它可以是直接连接到另一个元件或者可能同时存在居中元件。本文所使用的术语“垂直的”、“水平的”、“左”、“右”以及类似的表述只是为了说明的目的。除非另有定义,本文所使用的所有的技术和科学术语与属于本技术的
的技术人员通常理解的含义相同。本文中在本技术的说明书中所使用的术语只是为了描述具体的实施例的目的,不是旨在于限制本技术。本文所使用的术语“及/或”包括一个或多个相关的所列项目的任意的和所有的组合。请参阅图1至图3,为本技术第一实施中的籽晶清洗盒,包括盒体10和所述盒体10内部的至少一个隔板20。所述盒体10采用耐酸碱的材料,如聚四氟乙烯、不锈钢材料等。所述盒体10为方形,包括两个相对设置的第一侧板11和相对设置的两个第二侧板12以及底板形成一个上端开放的盒体。所述盒体通过注塑工艺,形成两个第一侧板11、第二侧板12。两个所述第一侧板11均开设至少一个与所述隔板20的宽度匹配的隔板安装孔111,所述隔板安装孔111用于固定隔板20。所述隔板20包括一平板部21和固设在所述平板部21上的至少一个凸起组,每个所述凸起组包括多个凸起部22。所述隔板安装孔111的高度大于所述隔板20的厚度,即所述隔板安装孔111的高度大于所述平板部21加上所述凸起部22的厚度,本实施例中隔板安装孔111设定为10mm,使隔板20可进出隔板安装孔111中。所述隔板20用于放置籽晶30,每个凸起组上放置一个籽晶30,凸起组上的凸起部22的高度均相等,保证块状的籽晶平放在隔板的凸起部上。相邻的两个隔板的距离要大于籽晶的厚度,避免隔板叠加时碰到下层隔板上的籽晶,本实施例中两个隔板20之间的距离设定为50mm以上。隔板20上的凸起组的数量根据籽晶清洗盒的尺寸和放置的籽晶的数量来确定,如本实施例中,一个隔板20上可放置4块籽晶,即隔板上设有4个阵列分布的凸起组,相邻两个凸起组的中心点的间距大于单块籽晶的尺寸,即,4个籽晶放置在隔板上时,彼此具有一定的间隙。每个突起组包括4个凸起部22,用于支撑籽晶30。每个凸起部22的上端面的尺寸小于下端面的尺寸,具体实施时,凸起部可以为三角锥形、金字塔形或弧形,保证凸起部与籽晶的接触面积小。优选的所述凸起部为的内部开设通孔,使盒体内的液体具有更好的流通性。所述第一侧板11上相邻的两个所述隔板安装孔111之间开设多个第一导流孔112,多个第一导流孔112均匀排列。两个第一侧板11上的第一导流孔112分别相对设置,处于同一水平面上。使用该籽晶清洗盒时,先将盒体10最底部隔板20,第一层隔板,在隔板安装孔111放置稳定,然后将籽晶30放置在隔板20的凸起组上,每一个突起组上放置一个籽晶块30,接着放置第二层隔板与籽晶,依次往上放置。本专利技术对隔板层数不作要求,可根据使用者酸液槽的高度来确定。盛装了籽晶块的清洗盒放置在酸液槽中进行浸泡清洗籽晶块。为了达到更好的清洗效果,酸液槽中不断添加纯净的酸液,形成流动的冲洗环境。盛放了籽晶的籽晶清洗盒放置在酸液槽中,酸液从隔板安装孔111和第一导流孔112流入盒体10中,流动的酸液不断冲洗籽晶上的杂质。通过第一侧板11上的隔板安装孔111和第一导流孔112的导流作用,酸液在籽晶清洗盒中沿者一个方向流动,提高使籽晶的清洗效果。每个第一侧板上总的孔隙率不能太小,以免影响酸液的流动性。具体实施时,第一侧板上开孔的面积为第一侧板的60%~80%。每个第一导流孔112设计为长方形,密集排列在两个隔板安装孔111之间。可以理解的第一导流孔112的形状也可本文档来自技高网
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籽晶清洗盒

【技术保护点】
一种籽晶清洗盒,包括盒体,所述盒体包括两个相对设置的第一侧板和两个相对设置的第二侧板,其特征在于,所述籽晶清洗盒还包括所述盒体内部的至少一个隔板,两个所述第一侧板均开设与所述隔板的宽度匹配的隔板安装孔,所述隔板安装孔用于放置所述隔板,所述隔板安装孔的高度大于所述隔板的厚度,所述隔板包括一平板部和所述平板部上的至少一个凸起组,每个所述凸起组包括多个凸起部。

【技术特征摘要】
1.一种籽晶清洗盒,包括盒体,所述盒体包括两个相对设置的第一侧板和两个相对设置的第二侧板,其特征在于,所述籽晶清洗盒还包括所述盒体内部的至少一个隔板,两个所述第一侧板均开设与所述隔板的宽度匹配的隔板安装孔,所述隔板安装孔用于放置所述隔板,所述隔板安装孔的高度大于所述隔板的厚度,所述隔板包括一平板部和所述平板部上的至少一个凸起组,每个所述凸起组包括多个凸起部。2.如权利要求1所述的籽晶清洗盒,其特征在于,所述第一侧板上相邻的两个所述隔板安装孔之间开设多个第一导流孔,每个所述第一侧板上的所述第一导流孔和所述隔板安装孔形成的开孔面积占所述第一侧板面积的60%~80%。3.如权利要求1所述的籽晶清洗盒,其特征在于,每个所述第二侧板上开设有均匀...

【专利技术属性】
技术研发人员:王全志欧子杨汪沛渊晏文勇邓清香罗丁李林东肖贵云陈志军王海涛陈伟金浩
申请(专利权)人:晶科能源有限公司浙江晶科能源有限公司
类型:新型
国别省市:江西,36

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