柔性OLED的蒸镀设备制造技术

本实用新型专利技术公开了一种柔性OLED的蒸镀设备，该设备包括真空蒸镀室、安装在真空蒸镀室顶端的旋转轴和固定在旋转轴上的基片；所述真空蒸镀室上放置有用于放置镀料的容器，所述容器位于基片的正下方，所述容器与加热装置相电连接，且该加热装置与电源电连接。本实用新型专利技术将镀料放置在利用加热装置产生热可控的容器中，通过启动电源加热容器使之产生热能；所述镀料加热形成镀料蒸汽，镀料蒸汽自由作直线运动，碰撞基片表面而凝结，形成薄膜；旋转轴适时旋转，使得基片得以均匀受镀，工件就可以保持均匀，不易形成不规则排列而导致缺陷，本技术的改进避免浪费材料，散射出去的有机分子导致腔体污染，进而避免薄膜会有空气分子杂质等。

Steam plating equipment for flexible OLED

The utility model discloses a flexible OLED evaporation device, the device comprises a vacuum evaporation chamber, a deposition chamber installed at the top of the rotating shaft and fixed on the rotating shaft of the substrate in vacuum; the vacuum evaporation chamber is arranged on the container for placing a coating material, wherein the container is positioned below the substrate, the container and the heating device is electrically connected, and the heating device is electrically connected with the power supply. The utility model has the advantages of the coating material container is placed in the heat controllable heating device, heat generated by the heating container to start power supply; the coating material is heated to form a coating material coating material free of steam, steam for linear motion, collision substrate surface and condensation, forming a thin film; the rotating shaft rotating the substrate timely. The uniform plating workpiece can be kept uniform, is not easy to form irregular arrangement and defects, improve the technology to avoid the waste of materials, organic molecular scattering out of the cavity caused pollution, and thus avoid the film will have air molecules impurities etc..

【技术实现步骤摘要】
柔性OLED的蒸镀设备
本技术涉及蒸镀
，尤其涉及一种柔性OLED的蒸镀设备。
技术介绍
近年来,随着科技进步,个人计算机、网络及信息传播的普遍化,显示器成为了人机互动不可或缺的重要角色,而不断进步的显示技术更是带动了显示器产业跨跃式的发展。平板显示器(FlatPanelDisplay,简称FPD)是目前最重要的光电产品之一,其与日常生活的紧密相关性,使得光电企业多年来不断地努力研发新的平板显示器,以追求更完美的功能。主流的平板显示器从阴极射线管(CathodeRayTube,简称CRT)显示器发展到了液晶显示器(LiquidCrystalDisplay,简称LCD),在新的平面显示器行列中,OLED是业界公认的可能替代液晶显示器(LCD)的新一代显示器。OLED屏幕，在色域、对比度仍保持绝对优势。在色准、亮度等方面，完全有了与主流LCD一较高下的能力。加上从结构上来看，OLED屏幕更利于做薄和做成柔性、曲面结构。由于OLED市场巨大的成长性,各大厂商纷纷进入OLED的竞争格局,斥资建立生产线。目前,全球已有超过85家公司、近百个实验室致力于相关材料、制备工艺及生产设备的研究,并已制备出大量高效的有机发光器件。如果从产品的市场竞争力来看,全球最具有竞争力的区域为日、韩及中国台湾等地区,主要开发厂商有SAMSUNG、SONY、HP、IBM、KODAK、TOSHIBA、SANYO、EPSON等。OLED的发光机理,目前普遍公认的是能带理论模型,认为OLED发光属于注入式发光,即由阳极注入的空穴和阴极注入的电子,在发光层复合后产生激子,激子自身通过光辐射形式释放光子回到基态,或将能量传递给发光层分子,激发发光材料的电子从基态跃迁至激发态,然后以光辐射跃迁形式返回基态。OLED的发光其发光过程概括为以下五个阶段:一，载流子的注入,电子和空穴分别从阴极和阳极注入夹在电极之间功能薄膜发光层中;二，载流子的传输,载流子分别从电子传输层和空穴传输层向发光层迁移;三，双分子复合,空穴和电子在发光层中相遇、复合;四，激发子的能量传递给发光材料,使电子从基态跃迁到激发态;五，激发态能量通过辐射失活,产生光子,释放能量回到基态。而其中的这层发光材料是通过真空蒸镀的方式镀在ITO玻璃基板上面，可见，薄膜质量影响着屏幕显示质量。而薄膜质量与OLED的蒸镀工艺有很大的关系，由于现有的蒸镀工艺存在缺陷，不仅造成工件的均匀度不高；而且蒸镀不规则排列，导致造成浪费材料，散射出去的有机分子导致腔体污染，薄膜会有空气分子杂质等。
技术实现思路
针对上述技术中存在的不足之处，本技术提供一种功能多样、使用方便及结构简单的柔性OLED的蒸镀设备。为实现上述目的，本技术提供一种柔性OLED的蒸镀设备，包括真空蒸镀室、安装在真空蒸镀室顶端的旋转轴和固定在旋转轴上的基片；所述真空蒸镀室上放置有用于放置镀料的容器，所述容器位于基片的正下方，所述容器与加热装置相电连接，且该加热装置与电源电连接；将镀料放置在利用加热装置产生热可控的容器中，通过启动电源加热容器使之产生热能；所述镀料加热形成镀料蒸汽，镀料蒸汽自由作直线运动，碰撞基片表面而凝结，形成薄膜；旋转轴适时旋转，使得基片得以均匀受镀。其中，所述加热装置包括两组热敏电阻组，每组热敏电阻组的一端均与容器连接，所述热敏电阻组的另一端均与电源相连接。其中，每组热敏电阻组均由两个串联的热敏电阻组成。其中，所述基片为工件，且工件的材质为PE基材。本技术的有益效果是：与现有技术相比，本技术提供的柔性OLED的蒸镀设备，本技术将镀料放置在利用加热装置产生热可控的容器中，通过启动电源加热容器使之产生热能；所述镀料加热形成镀料蒸汽，镀料蒸汽自由作直线运动，碰撞基片表面而凝结，形成薄膜；旋转轴适时旋转，使得基片得以均匀受镀，工件就可以保持均匀，不易形成不规则排列而导致缺陷，本技术的改进避免浪费材料，散射出去的有机分子导致腔体污染，进而避免薄膜会有空气分子杂质等。附图说明图1为本技术的柔性OLED的蒸镀设备的结构示意图。主要元件符号说明如下：10、真空蒸镀室11、旋转轴12、基片13、镀料14、镀料蒸汽15、容器16、加热装置17、电源161、热敏电阻。具体实施方式为了更清楚地表述本技术，下面结合附图对本技术作进一步地描述。请参阅图1，本技术提供的柔性OLED的蒸镀设备，包括真空蒸镀室10、安装在真空蒸镀室顶端的旋转轴11和固定在旋转轴上的基片12；所述真空蒸镀室上放置有用于放置镀料13的容器15，所述容器位于基片的正下方，所述容器与加热装置16相电连接，且该加热装置与电源17电连接；将镀料放置在利用加热装置产生热可控的容器中，通过启动电源加热容器使之产生热能；所述镀料加热形成镀料蒸汽14，镀料蒸汽自由作直线运动，碰撞基片表面而凝结，形成薄膜；旋转轴适时旋转，使得基片得以均匀受镀。在本实施例中，所述加热装置包括两组热敏电阻组，每组热敏电阻组的一端均与容器连接，所述热敏电阻组的另一端均与电源相连接。每组热敏电阻组均由两个串联的热敏电阻161组成。本案中通过热敏电阻实现了容器的热可控性。在本实施例中，所述基片为工件，且工件的材质为PE基材。工艺更适用于生产柔性PMOLED，因为PE基材可以更紧贴工件台，进行柔性PE基材的蒸镀，以生产柔性PMOLED。为实现上述目的，本技术还提供一种柔性OLED的蒸镀工艺，该工艺为：将镀料放置在利用加热装置产生热可控的容器中，通过启动电源加热容器使之产生热能；所述镀料加热形成镀料蒸汽，镀料蒸汽自由作直线运动，碰撞基片表面而凝结，形成薄膜；旋转轴适时旋转，使得基片得以均匀受镀。相较于现有技术的情况，本技术提供的柔性OLED的蒸镀设备，本技术将镀料放置在利用加热装置产生热可控的容器中，通过启动电源加热容器使之产生热能；所述镀料加热形成镀料蒸汽，镀料蒸汽自由作直线运动，碰撞基片表面而凝结，形成薄膜；旋转轴适时旋转，使得基片得以均匀受镀，工件就可以保持均匀，不易形成不规则排列而导致缺陷，本技术的改进避免浪费材料，散射出去的有机分子导致腔体污染，进而避免薄膜会有空气分子杂质等。本OLED蒸镀工艺的优点在于其通过旋转轴使得工件均匀受镀，并且减少成品个体差异，使得批次产品中，一致性高，从而提高产品的良率。还有，可以贴附PE柔性基，进行柔性OLED生产。本技术简单高效结构优化，能优化蒸镀工艺均匀度；改善产品显示性能质量、提高良品率。本技术中使得旋转轴旋转的装置是现有技术，因此不进行详细描述。以上公开的仅为本技术的几个具体实施例，但是本技术并非局限于此，任何本领域的技术人员能思之的变化都应落入本技术的保护范围。本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种柔性OLED的蒸镀设备，其特征在于，包括真空蒸镀室、安装在真空蒸镀室顶端的旋转轴和固定在旋转轴上的基片；所述真空蒸镀室上放置有用于放置镀料的容器，所述容器位于基片的正下方，所述容器与加热装置相电连接，且该加热装置与电源电连接；将镀料放置在利用加热装置产生热的容器中，通过启动电源加热容器使之产生热能；所述镀料加热形成镀料蒸汽，镀料蒸汽自由作直线运动，碰撞基片表面而凝结，形成薄膜；旋转轴适时旋转，使得基片得以均匀受镀。

【技术特征摘要】
1.一种柔性OLED的蒸镀设备，其特征在于，包括真空蒸镀室、安装在真空蒸镀室顶端的旋转轴和固定在旋转轴上的基片；所述真空蒸镀室上放置有用于放置镀料的容器，所述容器位于基片的正下方，所述容器与加热装置相电连接，且该加热装置与电源电连接；将镀料放置在利用加热装置产生热的容器中，通过启动电源加热容器使之产生热能；所述镀料加热形成镀料蒸汽，镀料蒸汽自由作直线运动，碰撞基片表面而凝结，形成薄膜；旋转轴适...

【专利技术属性】
技术研发人员：杨锦标，
申请(专利权)人：河源耀国电子科技有限公司，
类型：新型
国别省市：广东,44