冷却板及蒸镀装置制造方法及图纸

本发明专利技术提供了一种冷却板和蒸镀装置，属于显示技术领域。所述冷却板包括：冷却板主体，所述冷却板主体包括具有冷却作用的冷却面，所述冷却面上设置有凸起。本发明专利技术解决了在冷却板和玻璃基板对位叠加时，冷却板和玻璃基板之间会产生静电吸附力，从而导致冷却板容易划伤玻璃基板的问题。本发明专利技术用于制造冷却板及蒸镀装置。

【技术实现步骤摘要】
冷却板及蒸镀装置
本专利技术涉及显示
，特别涉及一种冷却板及蒸镀装置。
技术介绍
有机发光二极管(英文：OrganicLight-EmittingDiode，简称：OLED)显示装置因其具有主动发光、响应速度快等诸多优点而应用越来越广泛，且通常会使用蒸镀装置制造OLED显示装置。如图1所示，蒸镀装置10通常包括：蒸镀腔室101、坩埚102、掩膜板103以及冷却板104，其中，冷却板104的材质通常为表面较粗糙且存在毛刺的金属材质。OLED显示装置包括玻璃基板20，以及设置在玻璃基板20上的蒸镀材料(图1中未示出)。在使用蒸镀装置10在玻璃基板20上形成蒸镀材料时，需要首先在坩埚102中装入蒸镀材料，并将坩埚102设置在蒸镀腔室102内的底部。然后，将玻璃基板20与掩膜板102对位叠加，以及将冷却板104与玻璃基板20对位叠加，使得玻璃基板20位于掩膜板103和冷却板104之间，并将叠加的冷却板104、玻璃基板20以及掩膜板103放入蒸镀腔室101内坩埚102的上方。最后，将坩埚102加热以使坩埚102内的蒸镀材料蒸发，进而穿过掩膜板103上的镂空区域到达玻璃基板20表面。且在加热坩埚102时，还需要控制冷却板104对掩膜板103进行降温，以防止掩膜板103的热变形。需要说明的是，在将玻璃基板20与冷却板104对位叠加过程中，需要控制冷却板104相对于玻璃基板20不断移动。在冷却板移动过程中，冷却板和玻璃基板之间会产生静电，以及静电吸附力，表面较粗糙且存在毛刺的冷却板较容易在静电吸附力的作用下划伤玻璃基板，造成玻璃基板的破碎。且玻璃基板上产生的静电会传导至掩膜板上，玻璃基板和掩膜板之间会产生静电吸附力，在该静电吸附力的作用下，玻璃基板会对掩模板造成损伤。从而影响OLED的生产效率。
技术实现思路
本专利技术提供了一种冷却板和蒸镀装置，可以解决相关技术中冷却板和玻璃基板对位叠加时，冷却板和玻璃基板之间会产生静电吸附力，从而导致冷却板容易划伤玻璃基板的问题，所述技术方案如下：第一方面，提供了一种冷却板，所述冷却板包括：冷却板主体，所述冷却板主体包括具有冷却作用的冷却面，所述冷却面上设置有凸起。可选的，所述凸起上远离所述冷却面的表面为曲面。可选的，所述凸起为半球，所述半球中的曲面远离所述冷却面设置。可选的，所述凸起为半圆柱，且所述半圆柱高度方向平行于所述冷却面，所述半圆柱中的曲面远离所述冷却面设置。可选的，所述凸起为具有圆顶的结构。可选的，所述冷却面上设置有阵列排布的多个所述凸起。可选的，所述冷却板主体和所述凸起均为导体材质，且所述冷却板主体接地。可选的，所述导体材质为铜。第二方面，提供一种蒸镀装置，所述蒸镀装置包括：第一方面所述的冷却板。可选的，所述蒸镀装置还包括：导线和蒸镀腔室，所述冷却板包括：冷却板主体，以及设置在所述冷却板主体的冷却面上的凸起，所述冷却板主体的材质和所述凸起的材质均为导体材质，且所述冷却板主体通过所述导线与所述蒸镀腔室连接，所述蒸镀腔室接地。本专利技术提供的技术方案带来的有益效果是：在本专利技术实施例提供的冷却板中，由于冷却板的冷却面上设置有凸起，在冷却板与玻璃基板对位叠加时，由冷却板上的凸起接触玻璃基板，因此减小了冷却板与玻璃基板的接触面积，进而减小了冷却板与玻璃基板间因摩擦导致的静电吸附力，从而减小了冷却板划伤玻璃基板的概率。附图说明为了更清楚地说明本公开的实施例，下面将对实施例描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本公开的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。图1为一种相关技术提供的一种OLED蒸镀装置的结构示意图；图2为本专利技术实施例提供的一种冷却板的结构示意图；图3是本专利技术实施例提供的图2所示的冷却板的侧视图；图4是本专利技术实施例提供的另一种冷却板的结构示意图；图5是本专利技术实施例提供的图4所示的冷却板的侧视图；图6为本专利技术实施例提供的又一种冷却板的结构示意图；图7为本专利技术实施例提供的图6所示的冷却板的侧视图；图8为本专利技术实施例提供的再一种冷却板的结构示意图；图9为本专利技术实施例提供的图8所示的冷却板的侧视图；图10为本专利技术实施例提供的一种蒸镀装置的结构示意图。具体实施方式为了使本公开的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将结合附图对本公开作进一步地详细描述，显然，所描述的实施例仅仅是本公开一部份实施例，而不是全部的实施例。基于本公开中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其它实施例，都属于本公开保护的范围。OLED显示装置应用越来越广泛，且通常会使用蒸镀装置制造OLED显示装置，请参考图1，蒸镀装置10通常包括冷却板104，在进行对掩膜板103降温时，通常需要将冷却板104与玻璃基板20对位叠加。冷却板104中通常设置有冷却管(图1中未示出)，该冷却管的两端分别为进水口和出水口，且该冷却管的进水口外接冷水库，而出水口外接排水槽。在冷却板工作时，冷水库内的冷却水从冷却管的进水口进入冷却板104内，并在冷却水流动的过程中吸收冷却板104的热量，随后冷却水从冷却管的出水口排入排水槽。图2为本专利技术实施例提供的一种冷却板的结构示意图。需要说明的是，图2示出的是冷却板的俯视图。图3为本专利技术实施例提供的一种图2所示的冷却板的侧视图。请结合图2和图3，该冷却板包括冷却板主体20，该冷却板主体20包括冷却面201，该冷却面201具有冷却作用，且该冷却面201上设置有凸起201A。示例的，图2中以在冷却面上设置4个凸起201A为例，实际应用中，冷却面上设置的凸起201A个数还可以为大于或等于1的其他数值(如凸起201A的个数为10)，本专利技术实施例对此不作限定。在玻璃基板与图2中的冷却板对位叠加时，工作人员可以调整该冷却板的空间位置，使该冷却板上的凸起201A与玻璃基板接触。综上所述，在本专利技术实施例提供的冷却板中，由于冷却板的冷却面上设置有凸起，在冷却板与玻璃基板对位叠加时，由冷却板上的凸起接触玻璃基板，因此减小了冷却板与玻璃基板的接触面积，进而减小了冷却板与玻璃基板间因摩擦导致的静电，以及静电吸附力，从而减小了冷却板划伤玻璃基板的概率。另外，由于减小了玻璃基板产生的静电，因此减小了由玻璃基板传导到掩膜板上的静电，从而减小了玻璃基板和掩膜板间的静电吸附力，进而减小了玻璃基板对掩膜板的损伤程度。如图3所示，凸起201A远离冷却面201的表面可以为曲面。图3中以凸起201A远离冷却面201的表面为半球面为例，实际应用中，凸起201A远离冷却面201的表面还可以是其他类型的曲面，如椭球面、椭圆抛物面或曲线回转面等不可展曲面，也可以是柱面或锥面等可展曲面，还可以是连续的曲面或不规则的曲面等，本专利技术实施例对此不作限定。可选的，凸起201A可以为半球，且半球中的曲面远离冷却面201设置，也即凸起201A的形状为半球状。实际应用中，冷却面201上凸起201A的形状可以为其他形状，如球状、圆柱状、板状、棱柱状或不规则形状。在将玻璃基板和图3中的冷却板对位叠加的过程中，由于凸起201A远离冷却面201的表面(也即凸起201A与玻璃基板接触的表面)为球面的一部分，使得凸起201A和玻璃基板点接触，进一步本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种冷却板，其特征在于，所述冷却板包括：冷却板主体，所述冷却板主体包括具有冷却作用的冷却面，所述冷却面上设置有凸起。

【技术特征摘要】
1.一种冷却板，其特征在于，所述冷却板包括：冷却板主体，所述冷却板主体包括具有冷却作用的冷却面，所述冷却面上设置有凸起。2.根据权利要求1所述的冷却板，其特征在于，所述凸起上远离所述冷却面的表面为曲面。3.根据权利要求2所述的冷却板，其特征在于，所述凸起为半球，所述半球中的曲面远离所述冷却面设置。4.根据权利要求2所述的冷却板，其特征在于，所述凸起为半圆柱，且所述半圆柱高度方向平行于所述冷却面，所述半圆柱中的曲面远离所述冷却面设置。5.根据权利要求2所述的冷却板，其特征在于，所述凸起为具有圆顶的结构。6.根据权利要求1至5任一所述的冷却板，其特征在于，所...

【专利技术属性】
技术研发人员：张新建，黄俊杰，吴文泽，阮士薪，张德，
申请(专利权)人：京东方科技集团股份有限公司，鄂尔多斯市源盛光电有限责任公司，
类型：发明
国别省市：北京,11