The utility model discloses a vacuum coating optical device, including rotary motor, ultrasonic dust removing device, a connecting rod, bearing platform, spraying device, baffle plate, vacuum coating chamber, gas control valve, inlet pipe, evaporator, air filter, air inlet and outlet and a temperature control device, the utility provided by ultrasonic apparatus the treatment of plating unless, and then control the realization of dust in the vacuum environment by the impact of airflow and out of gas, to avoid the dust to be plated and then into the vacuum chamber caused by pollution, at the same time, the utility model is also provided by the temperature control system, the quality of optical coating spraying device and gas flow to provide greatly improved the utility model, the surface coating thickness, and reduces the cost of coating.
【技术实现步骤摘要】
一种真空光学镀膜装置
本技术属于光学仪器设备,尤其涉及一种真空光学镀膜装置。
技术介绍
光学零件真空镀膜是光学零件加工中必不可少的一道工序,光学零件被镀膜后,可改变光在光学零件表面的光谱透、反射性能。光学镀膜是用物理或化学的方法在材料表面镀上一层透明的电解质膜,或镀一层金属膜,目的是改变材料表面的反射和透射特性.在可见光和红外线波段范围内,大多数金属的反射率都可达到78%~98%,但不可高于98%。无论是对于CO2激光,采用铜、钼、硅、锗等来制作反射镜,采用锗、砷化镓、硒化锌作为输出窗口和透射光学元件材料,还是对于YAG激光采用普通光学玻璃作为反射镜、输出镜和透射光学元件材料,都不能达到全反射镜的99%以上要求。不同应用时输出镜有不同透过率的要求,因此必须采用光学镀膜方法。对于CO2激光灯中红外线波段,常用的镀膜材料有氟化钇、氟化镨、锗等;对于YAG激光灯近红外波段或可见光波段,常用的镀膜材料有硫化锌、氟化镁、二氧化钛、氧化锆等。除了高反膜、增透膜之外,还可以镀对某波长增反射、对另一波长增透射的特殊膜,如激光倍频技术中的分光膜等。光学镀膜的工艺:将素材表面清洁干净→喷底UV→光学电镀→喷光学电镀底水→喷一层有色精涂层→喷一层面UV→下一道工序。一般素材在光学镀膜后,喷有色漆会掉,附着力达不到要求,为些东莞炅盛塑胶科技有限公司研发了出一款专业针对光学镀膜后附着力问题,能有效提高镀膜与色精涂层的附着力→即为光学镀膜处理水。
技术实现思路
技术目的:针对上述现有镀膜技术的不足,解决各种光学薄膜和光电功能多层薄膜以及光电微系统制备的需求,本技术提供一种降低镀膜成本、容易实 ...
【技术保护点】
一种真空光学镀膜装置,其特征在于:包括旋转马达(1)、超声波除尘装置(2)、连接杆(3)、承载平台(4)、喷涂装置(5)、挡流板(6)、真空镀膜室(7)、气体控制阀门(801)、进气管(9)、蒸发源(10)、气体过滤装置(11)、进出气口(12)和温度控制装置(13),所述的旋转马达通过连接杆(3)与承载平台(4)连接,所述的挡流板(6)可旋转设置在承载平台(4)的下方,所述的承载平台(4)下方贴合设置有的喷涂装置(5),所述的真空镀膜室(7)上部设有的超声波除尘装置(2),所述的真空镀膜室(7)底部设有蒸发源(10)、气体过滤装置(11)、所述的气体过滤装置(11)通过气体控制阀门和进气管(9)与真空镀膜室(7)连接,所述的真空镀膜室(7)位于超声波除尘装置(2)的左侧下方设有温度控制装置(13)。
【技术特征摘要】
1.一种真空光学镀膜装置,其特征在于:包括旋转马达(1)、超声波除尘装置(2)、连接杆(3)、承载平台(4)、喷涂装置(5)、挡流板(6)、真空镀膜室(7)、气体控制阀门(801)、进气管(9)、蒸发源(10)、气体过滤装置(11)、进出气口(12)和温度控制装置(13),所述的旋转马达通过连接杆(3)与承载平台(4)连接,所述的挡流板(6)可旋转设置在承载平台(4)的下方,所述的承载平台(4)下方贴合设置有的喷涂装置(5),所述的真空镀膜室(7)上部设有的超声波除尘装置(2),所述的真空镀膜室(7)底部设有蒸发源(10)、气体过滤装置(11)、所述的气体过滤装置(11)通过气体控制阀门和进气管(9)与真空镀膜室(7)连接,所述的真空镀膜室(7)位于超声波除尘装置(2)的左侧下方设有温度控制装置(13)。2.根据权利要求1所述的一种真空光学镀膜装置,其特征在于:所述的超声波除尘装置(...
【专利技术属性】
技术研发人员:陶春,
申请(专利权)人:南京施密特光学仪器有限公司,
类型:新型
国别省市:江苏,32
还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。