气体感测器的制作方法技术
Making method of gas sensor
A method for making a gas sensor includes a preparatory step, a sensing unit forming step and a metal layer forming step. The preparation step includes preparing a conductive substrate. The sensing unit forming step includes the formation of a sensing unit on the conductive substrate. The forming step of the metal layer includes forming a metal layer with continuous thickness and enough thickness to generate multiple sensing holes on the sensing unit by evaporation, so that the surface of the sensing unit is exposed from the sensing holes. Through the metal layer, there are many holes to expose the surface of the sensing unit, which can effectively simplify the whole process and avoid using organic solvents to avoid the destruction of the sensing unit.
【技术实现步骤摘要】
气体感测器的制作方法
本专利技术涉及一种气体感测器的制作方法，特别是涉及一种通过蒸镀法直接形成气体感测器的金属层的制作方法。
技术介绍
一般而言，通过气体感测器来侦测氨(ammonia)的浓度，可作为监测环境污染、食物的新鲜程度或监控使用者呼吸而反应使用者身体健康状况的指标，因此，可侦测氨的气体感测器被广泛研究并大量应用于快速兴起的穿戴装置中。参阅图1，现有的气体感测器的制作方法是先于一导电基板10上依序形成一感测层11后，将具有该感测层11的导电基板10浸泡在一具有多个聚苯乙烯微球(polystyreneball，PSball)12的有机溶剂中，使所述聚苯乙烯微球12间隔地形成在该感测层11上。接着，再于该感测层11与所述聚苯乙烯微球12上沉积金属层13，随后以一胶带(图未示)粘贴位于所述聚苯乙烯微球12上的部分该金属层13，而将部分的该金属层13与所述聚苯乙烯微球12撕离该感测层11，以产生多个让该感测层11露出感测孔洞14。以现有的方式制作该气体感测器，不仅制作程序繁复，且将具有该感测层11的导电基板10浸泡于有机溶剂中形成所述聚苯乙烯微球12时，有机溶剂容...
【技术保护点】
一种气体感测器的制作方法，其特征在于：该气体感测器的制作方法包含准备步骤、感测单元形成步骤及金属层形成步骤，该准备步骤包括准备导电基板，该感测单元形成步骤包括在该导电基板上形成感测单元，该金属层形成步骤包括以蒸镀法在该感测单元上形成连续且厚度足以自行产生多个感测孔洞的金属层，而让该感测单元的表面自所述感测孔洞露出。
【技术特征摘要】
2016.08.03 TW 1051245401.一种气体感测器的制作方法，其特征在于：该气体感测器的制作方法包含准备步骤、感测单元形成步骤及金属层形成步骤，该准备步骤包括准备导电基板，该感测单元形成步骤包括在该导电基板上形成感测单元，该金属层形成步骤包括以蒸镀法在该感测单元上形成连续且厚度足以自行产生多个感测孔洞的金属层，而让该感测单元的表面自所述感测孔洞露出。2.如权利要求1所述的气体感测器的制作方法，其特征在于：该金属层形成步骤包括以热蒸镀方式形成厚度介于7nm～10nm的该金属层。3.如权利要求1所述的气体感测器的制作方法，其特征在于：该感测单元形成步骤包括在该导电基板上形成导电高分子材料所制成的主动层而构成该感测单元，该金属层形成步骤包括在该主动层上形成该金属层。4.如权利要求1所述的气体感测器的制作方法，其特征在于：该感测单元形...
【专利技术属性】
技术研发人员：孟心飞，冉晓雯，陈兆轩，张宇帆，
申请(专利权)人：财团法人交大思源基金会，
类型：发明
国别省市：中国台湾,71
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