盖板窗口式蒸发钼舟制造技术

提供一种盖板窗口式蒸发钼舟，具有一体化制成的钼舟本体，且钼舟本体上端开口适配蒸发盖板，所述蒸发盖板的水平封盖端面一侧中间开制单个圆形注料孔，另一侧中部开制一个预留一定边宽的蒸发窗口，且蒸发窗口开口面积占钼舟本体上端水平开口面积的58％。本实用新型专利技术通过窗口式蒸发解决了现有技术下多孔蒸发存在的蒸发孔堵塞，钼舟有效使用寿命过短，更新频次过高，影响加工企业生产进度并导致加工成本的攀升的技术问题，在防溅、漏、渗、滴、堵和保证成品质量方面更具综合性优势，经实践可将单只钼舟的有效使用寿命延长三倍以上。

Evaporating molybdenum boat with cover plate window

Provides a window cover plate type evaporation molybdenum boat, with molybdenum boat made of ontology integration, and the upper part of the main body opening molybdenum boat fit the evaporation plate, side sealing end cover of the middle level of evaporation on single circular material injecting hole, the other side of the central open system a set of edge width and window evaporation, evaporation the window opening area of the upper end of the body is the level of molybdenum boat opening area 58%. The utility model solves the evaporation evaporation through the window hole evaporation technology under the existing porous plug, the effective use of molybdenum boat to have a short life, update frequency is too high, affecting the progress of production and processing enterprises and lead to rising technical problems in the processing cost, splash, leakage, drop, blocking and ensure product quality more with the comprehensive advantages, the practice can be a useful life of only more than three times the molybdenum boat.

【技术实现步骤摘要】
盖板窗口式蒸发钼舟
本技术属真空蒸发材料镀覆配套装置
，具体涉及一种盖板窗口式蒸发钼舟。
技术介绍
钼舟是利用气相沉积法完成真空镀膜工艺的常备部件。现有技术下，以如图1所示的加盖式蒸发钼舟和授权公告号为CN204529955U的“一种镀膜用的蒸发装置”为例，其在钼舟本体1的舟舱开口设置蒸发盖板2，并在蒸发盖板2开制一个注料孔3和多个蒸发孔6的结构虽然在防镀料液外溅和提高镀层质量方面虽然具有诸多优势，但是，在实际应用中发现，这种多孔式盖板蒸发钼舟内的蒸发镀料最终气化后，随着时间的推移和加工间歇的存在，受蒸发孔孔径的限制，迁移过程中的部分气态粒子以及部分杂质不可避免会凝聚沉积在蒸发盖板蒸发孔的孔壁周围，到后期必然会影响镀膜产品成品质量的把控，为此，加工企业不得不及时清理钼舟的蒸发盖板乃至更换新的蒸发钼舟来解决由此导致的产品质量问题，而无论是清理钼舟盖板还是更换全新的钼舟，都会影响加工企业的生产进度并导致加工成本的攀升，因此有必要改进。
技术实现思路
本技术解决的技术问题：提供一种盖板窗口式蒸发钼舟，通过窗口式蒸发解决现有技术下多孔蒸发存在的蒸发孔堵塞，钼舟有效使用寿命过短，钼舟更新频次过高本文档来自技高网...

【技术保护点】
盖板窗口式蒸发钼舟，具有一体化制成的钼舟本体(1)，且钼舟本体(1)上端开口适配蒸发盖板(2)，其特征在于：所述蒸发盖板(2)水平封盖端面一侧中间开制单个圆形注料孔(3)，另一侧中部开制一个预留一定边宽的蒸发窗口(4)，且蒸发窗口(4)开口面积占钼舟本体(1)上端水平开口面积的58％。

【技术特征摘要】
1.盖板窗口式蒸发钼舟，具有一体化制成的钼舟本体(1)，且钼舟本体(1)上端开口适配蒸发盖板(2)，其特征在于：所述蒸发盖板(2)水平封盖端面一侧中间开制单个圆形注料孔(3)，另一侧中部开制一个预留一定边宽的蒸发窗口(4)，且蒸发窗口(4)开口面积占钼舟本体(1)上端水平开口面积的58％。2.根据权利要求1所述的盖板窗口式蒸发钼舟，其特征在于：所述钼舟本体(1)由一体化折叠制成的舟舱(101)和对称设置的舟翼(102)组成，其中舟舱(101)舱壁四角弯折制有防液面中部鼓凸的凹槽(103)。3.根据权利要求1所述的盖板窗口式蒸发钼舟，其特征在于：所述钼舟本体(1)由一体化折叠制成的舟舱(101)和对称设置的舟翼(102)组成，其中舟舱(101)舱内设有用于吸附过...

【专利技术属性】
技术研发人员：赵锋，
申请(专利权)人：宝鸡市天瑞有色金属材料有限责任公司，
类型：新型
国别省市：陕西,61