【技术实现步骤摘要】
用于小件镀膜的减速蒸发组合钼舟
[0001]本技术属于镀膜装置
,具体涉及一种用于小件镀膜的减速蒸发组合钼舟。
技术介绍
[0002]钼舟主要用于涂层技术,如电子工业、电力工程中真空热蒸发、电容器烧结、核燃料烧结、热电偶外壳等。现在使用的钼舟一般都是通过在舟盖上制作镀膜孔来实现对零件的镀膜,如专利号“CN201320274016.2”公开的技术专利“新型封闭式钼舟”和专利号“CN201720860999.6”公开的技术专利“盖板窗口式蒸发钼舟”,均是直接将镀膜料放在舟舱内,舟舱上开口用舟盖盖合,通过在舟盖上设多个镀膜孔实现气化膜料的通过,从而实现对零件的镀膜。但是上述这些钼舟镀膜结构都只是在舟盖上设置一道镀膜孔,镀膜气化流通屏障小,膜料气化流速较快。而对于用于航天上的比较小的零件而言,在镀膜时,则需要慢速蒸发镀膜,雾化小,不但能够实现对小零件的均匀有效的镀膜,而且降低了消耗。显然,现有技术中公开的钼舟结构都不符合这些小零件的镀膜要求,因此有必要提出改进。
技术实现思路
[0003]本技术解决的技术问题:提供 ...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.用于小件镀膜的减速蒸发组合钼舟,具有舟体(1),所述舟体(1)包括舟舱(11),所述舟舱(11)两端设有舟翼(12),其特征在于:所述舟舱(11)内腔中设有蒸发盖(2),所述蒸发盖(2)上设有便于气化膜料通过的一级蒸发镀膜孔(21),所述蒸发盖(2)上部的舟舱(11)内腔中设有蒸发缓冲隔板(3),所述蒸发缓冲隔板(3)两侧边沿设有便于气化膜料通过的镀膜缓冲缺口(31),所述舟舱(11)上开口通过舟盖(4)盖合,所述舟盖(4)将蒸发盖(2)和蒸发缓冲隔板(3)封于舟舱(11)内,所述舟盖(4)上设有便于气化膜料通过的二级蒸发镀膜孔(41)。2.根据权利要求1所述的用于小件镀膜的减速蒸发组合钼舟,其...
【专利技术属性】
技术研发人员:赵锋,毛姬红,
申请(专利权)人:宝鸡市天瑞有色金属材料有限责任公司,
类型:新型
国别省市:
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