下载气体感测器的制作方法的技术资料

文档序号:17262016

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一种气体感测器的制作方法,包含一准备步骤、一感测单元形成步骤及一金属层形成步骤。该准备步骤包括准备一导电基板。该感测单元形成步骤包括在该导电基板上形成一感测单元。该金属层形成步骤包括以蒸镀法在该感测单元上形成连续且厚度足以自行产生多个感测孔...
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