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气体感测器的制作方法技术
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文档序号:17262016
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一种气体感测器的制作方法,包含一准备步骤、一感测单元形成步骤及一金属层形成步骤。该准备步骤包括准备一导电基板。该感测单元形成步骤包括在该导电基板上形成一感测单元。该金属层形成步骤包括以蒸镀法在该感测单元上形成连续且厚度足以自行产生多个感测孔...
该专利属于财团法人交大思源基金会所有,仅供学习研究参考,未经过财团法人交大思源基金会授权不得商用。
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