用于测量沉积速率的方法及沉积速率控制系统技术方案

描述一种用于测量蒸发材料的沉积速率的方法(100)。所述方法包括：以第一测量M1与第二测量M2之间的一时间间隔ΔT测量(110)沉积速率；以及根据所测量的沉积速率调整(120)时间间隔ΔT。此外，描述一种沉积速率控制系统(200)。所述沉积速率控制系统包括：沉积速率测量组件(210)，用于测量蒸发材料的沉积速率；以及控制器(220)，连接至沉积速率测量组件(210)且连接至蒸发源(300)，其中控制器被配置为提供控制信号至沉积速率测量组件(210)。

A method for measuring deposition rate and a deposition rate control system

A method for measuring the deposition rate of an evaporative material (100) is described. The method comprises the following steps: (1) measuring the deposition rate between a M1 and second measured M2, a time interval Delta T, (110) deposition rate, and adjusting the time interval (T) based on the measured deposition rate (T). In addition, a deposition rate control system (200) is described. The deposition rate control system includes: the deposition rate measurement unit (210), for measuring deposition rate of evaporation materials; and a controller (220), connected to the deposition rate measurement unit (210) and is connected to the evaporation source (300), wherein the controller is configured to provide a control signal to the deposition rate measurement unit (210).

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】用于测量沉积速率的方法及沉积速率控制系统
本公开内容涉及一种用于控制蒸发材料(evaporatedmaterial)的沉积速率的方法、一种沉积速率控制系统、以及一种用于材料的蒸发的蒸发源。本公开内容特别涉及一种用于控制蒸发的有机材料的沉积速率的方法及控制系统。
技术介绍
有机物蒸发器是用于生产有机发光二极管(OLED)的工具。OLED是特殊类型的发光二极管，其中发射层包括某些有机化合物的薄膜。有机发光二极管(OLED)被用来制造用于显示信息的电视屏幕、电脑显示屏、移动电话、其他手持装置等。OLED也可用于一般空间照明。OLED显示器的可行的颜色、亮度、和视角的范围大于传统的LCD显示器的这些特性，因为OLED像素直接地发光且不包含背光。因此，相较传统的LCD显示器的能量损耗，OLED显示器的能量损耗相当地少。此外，OLED可制造于柔性基板上的事实产生进一步的应用。OLED的功能取决于有机材料的涂层厚度。这个厚度必须在预定范围中。在OLED的制造中，产生具有有机材料的涂层的沉积速率因而被控制为落在预定公差范围中。也就是说，必须在生产工艺中充分地控制有机物蒸发器的沉积速率。因此，对于OL本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种用于测量蒸发材料的沉积速率的方法(100)，所述方法包括‑以第一测量与第二测量之间的一时间间隔测量(110)所述沉积速率，及‑根据所测量的沉积速率调整(120)所述时间间隔。

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】1.一种用于测量蒸发材料的沉积速率的方法(100)，所述方法包括-以第一测量与第二测量之间的一时间间隔测量(110)所述沉积速率，及-根据所测量的沉积速率调整(120)所述时间间隔。2.如权利要求1所述的方法(100)，其中对所测量的沉积速率的依赖关系是所述沉积速率的函数。3.如权利要求1或2所述的方法(100)，其中所测量的沉积速率的所述函数选自由以下项组成的组：所述沉积速率的斜率、在预定范围中的所述沉积速率的布尔决策、所测量的沉积速率与预定沉积速率的标称/设定值的差的多项式函数、以及所测量的沉积速率的振动函数。4.如权利要求1至3的任一项所述的方法(100)，进一步包括在所述第一测量与所述第二测量之间遮蔽(130)沉积速率测量装置以使所述沉积速率测量装置不受蒸发材料的影响。5.如权利要求4所述的方法(100)，其中遮蔽(130)的步骤包括移动遮板(213)于所述沉积速率测量装置(211)与测量出口(230)之间，所述测量出口(230)用于提供蒸发材料至所述沉积速率测量装置(211)。6.如权利要求1至5的任一项所述的方法(100)，进一步包括在所述第一测量与所述第二测量之间清洁(140)所述沉积速率测量装置(211)的沉积材料。7.如权利要求6所述的方法(100)，其中清洁(140)的步骤包括从所述沉积速率测量装置(211)蒸发所述沉积材料。8.如权利要求7所述的方法(100)，其中从所述沉积速率测量装置(211)蒸发所述沉积材料的步骤通过加热所述沉积速率测量装置来执行。9.一种沉积速率控制系统(200)，包括：-沉积速率测量组件(210)，用于测量蒸发材料的沉积速率，以及-控制器(220)，连接至所述沉积速率测量组件(210)且连接至蒸发源(300)，其中所述控制器被配置为提供控制信号至所述沉积速率测量组件(210)，...

【专利技术属性】
技术研发人员：乔斯·曼纽尔·迭格斯坎波，海克·兰特格雷夫，托马斯·科赫，斯蒂芬·班格特，
申请(专利权)人：应用材料公司，
类型：发明
国别省市：美国,US