一种磁隔板及蒸镀腔室、蒸镀装置制造方法及图纸

本发明专利技术实施例提供一种磁隔板及蒸镀腔室、蒸镀装置，涉及蒸镀技术领域，能够解决现有技术中的磁隔板对掩模版上各个部分的磁吸力大小不均匀、磁吸附效果较差的问题。包括：底板。多组条形磁铁组，条形磁铁组设置在底板上，多组条形磁铁组并列设置且相互平行。其中，条形磁铁组包括多个条形磁铁，多个条形磁铁沿垂直于其长度方向间隔设置，且多个条形磁铁设置相同的极性方向。提高了磁隔板对掩模版以及设置在磁隔板与掩模版之间的待蒸镀基板的吸附能力，并使得磁隔板对掩模版以及待蒸镀基板上各个位置处的吸附效果较为均衡，提高了待蒸镀基板的蒸镀效果。

【技术实现步骤摘要】
一种磁隔板及蒸镀腔室、蒸镀装置
本专利技术涉及蒸镀
，尤其涉及一种磁隔板及蒸镀腔室、蒸镀装置。
技术介绍
OLED(OrganicLightEmittingDiode，有机发光二极管)显示面板具有自发光、反应快、亮度高、轻薄等诸多优点，已经逐渐成为显示领域的主流。OLED按驱动方式可分为PMOLED(PassiveMatrixDrivingOLED，无源矩阵驱动有机发光二极管)和AMOLED(ActiveMatrixDrivingOLED，有源矩阵驱动有机发光二极管)两种，由于AMOLED采用制备有TFT(ThinFilmTransistor，薄膜晶体管)图案的背板作为显示基板，因此，AMOLED显示器不但具有低制造成本、高应答速度、节省功耗、可用于便携式设备的直流驱动、工作温度范围大等等优点，还可以获得更大的显示容量、更优的显示质量以及更长的寿命，因此，AMOLED被认为是最有发展前景的下一代平板显示技术之一。OLED显示面板包括阵列排布的多个子像素单元，每一个子像素单元包括阳极、发光层和阴极，其中，发光层采用有机电致发光材料形成，尤其对于AMOLED而言，目前主要的制作方式即是采用掩膜板并通过有机蒸镀工艺将高分子材料制作在AMOLED显示面板上。在有机蒸镀腔室内，对待蒸镀基板进行蒸镀操作前需要在待蒸镀基板的待蒸镀面将掩模版贴合对位，掩模版与待蒸镀基板之间对位完成后，通过设置在蒸镀腔室顶部的磁隔板对掩模版进行吸附，由于磁隔板设置在待蒸镀基板背离掩模版的一侧，这样就通过磁力吸附掩模版的同时，使得位于磁隔板和掩模版之间的待蒸镀基板也一同被吸附固定，同时，磁隔板磁吸力的作用，使得待蒸镀基板与掩模版之间对位固定。现有技术的磁隔板，如图1所示，在基底00上加工多个相互平行且间距相等的沟槽01，在沟槽01内以相同的极性设置方向分别设置条状磁铁02构成，如图2所示，由于条状磁铁02的磁感线方向(如图2中的虚线环所示)为由条状磁铁02的一端向另一端的圆弧形，而磁隔板与掩模版是相互平行的平面(掩模版在图2中未示出)，而且磁隔板在靠近吸附掩模版的过程中，磁隔板与掩模版之间始终各处距离相等，这就使得掩模版上各处受到的来自磁隔板的磁吸力大小不均匀，对应磁隔板中心位置的磁吸力较强、对应磁隔板边缘位置的磁吸力较弱，整体磁吸附效果较差。
技术实现思路
本专利技术实施例提供一种磁隔板及蒸镀腔室、蒸镀装置，能够解决现有技术中的磁隔板对掩模版上各个部分的磁吸力大小不均匀、磁吸附效果较差的问题。为达到上述目的，本专利技术的实施例采用如下技术方案：本专利技术实施例的一方面提供一种磁隔板，包括：底板。多组条形磁铁组，条形磁铁组设置在底板上，多组条形磁铁组并列设置且相互平行。其中，条形磁铁组包括多个条形磁铁，多个条形磁铁沿垂直于其长度方向间隔设置，且多个条形磁铁设置相同的极性方向。优选的，每一组条形磁铁组中的条形磁铁的设置数量均相同，多组条形磁铁组中的条形磁铁在底板上呈矩阵形式设置。进一步的，在底板上还设置有多个并列设置且相互平行的辅助条形磁铁组，辅助条形磁铁组的设置方向与条形磁铁组的设置方向相互垂直，且辅助条形磁铁组设置在条形磁铁组中相邻两个条形磁铁之间。进一步的，辅助条形磁铁组包括多个辅助条形磁铁，多个辅助条形磁铁沿垂直于其长度方向间隔设置，且多个辅助条形磁铁设置相同的极性方向。优选的，辅助条形磁铁组中相邻两个辅助条形磁铁之间的间隔位置位于条形磁铁组内。进一步的，在磁隔板上划分有多个窗口区域，以及位于相邻两个窗口区域之间的支撑区域，在对应支撑区域的底板上还设置有加强磁铁组。进一步的，加强磁铁组包括在支撑区域内沿对应支撑区域的各个延伸方向分别设置的磁条。进一步的，底板包括多个子底板，每一个子底板对应于一个窗口区域，相邻两个子底板之间在对应于支撑区域的位置相互拼接。本专利技术实施例的另一方面提供一种蒸镀腔室，包括上述任一项的磁隔板。本专利技术实施例的再一方面提供一种蒸镀装置，包括上述的蒸镀腔室。本专利技术实施例提供一种磁隔板及蒸镀腔室、蒸镀装置，包括：底板。多组条形磁铁组，条形磁铁组设置在底板上，多组条形磁铁组并列设置且相互平行。其中，条形磁铁组包括多个条形磁铁，多个条形磁铁沿垂直于其长度方向间隔设置，且多个条形磁铁设置相同的极性方向。通过间隔设置多个极性方向相同的条形磁铁作为条形磁铁组，在每一个条形磁铁的两极之间均形成环形的磁场方向，使得一组条形磁铁组包括多个环形磁场，从而避免由于单个环形磁场的中心部分磁场作用力较强、靠近环形磁场的两极位置的磁场作用力较弱，而导致的条形磁铁组上各个位置处磁场作用力差异较大的问题，提高了磁隔板对掩模版以及设置在磁隔板与掩模版之间的待蒸镀基板的吸附能力，并使得磁隔板对掩模版以及待蒸镀基板上各个位置处的吸附效果较为均衡，提高了待蒸镀基板的蒸镀效果。附图说明为了更清楚地说明本专利技术实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本专利技术的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。图1为现有技术中的磁隔板的结构示意图；图2为图1的A-A剖视图；图3为本专利技术实施例提供的一种磁隔板的结构示意图之一；图4为图3的B-B剖视图；图5为本专利技术实施例提供的一种磁隔板的结构示意图之二；图6为本专利技术实施例提供的一种磁隔板的结构示意图之三；图7为本专利技术实施例提供的一种磁隔板的结构示意图之四；图8为本专利技术实施例提供的一种磁隔板的结构示意图之五；图9为图8的C-C剖视图；图10为本专利技术实施例提供的一种蒸镀腔室的结构示意图。附图标记：00-基底；01-沟槽；02-条状磁铁；10-底板；11-子底板；20-条形磁铁组；21-条形磁铁；30-辅助条形磁铁组；31-辅助条形磁铁；40-加强磁铁组；41-磁条；50-磁隔板；60-真空腔室；70-蒸镀源；T-支撑区域；W-窗口区域。具体实施方式下面将结合本专利技术实施例中的附图，对本专利技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本专利技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本专利技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本专利技术保护的范围。本专利技术实施例提供一种磁隔板，如图3所示，包括：底板10。多组条形磁铁组20，条形磁铁组20设置在底板10上，多组条形磁铁组20之间并列设置，且多组条形磁铁组20之间相互平行。其中，条形磁铁组20包括多个条形磁铁21，多个条形磁铁21沿垂直于其长度方向间隔设置，且多个条形磁铁21设置相同的极性方向。需要说明的是，第一，如图3所示，条形磁铁组20设置在底板10上，且多组条形磁铁组20之间并列设置，其中，以图3中的位置关系为例，条形磁铁组20中的多个条形磁铁21可以如图3中所示的，横向延伸排列设置，多组条形磁铁组20之间纵向并排设置，或者，条形磁铁组20中的多个条形磁铁21还可以纵向延伸排列设置，多组条形磁铁组20之间横向并列设置。本专利技术对此不作具体限定，二者仅是排列方向的不同，其他排列条件均相同。第二，如图1所示，现有技术中的基底00上加工有沟槽01，条状磁铁02设置在沟槽01中，这样一来，本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种磁隔板，其特征在于，包括：底板；多组条形磁铁组，所述条形磁铁组设置在所述底板上，多个所述条形磁铁组并列设置且相互平行；其中，所述条形磁铁组包括多个条形磁铁，多个所述条形磁铁沿垂直于其长度方向间隔设置，且多个所述条形磁铁设置相同的极性方向。

【技术特征摘要】
1.一种磁隔板，其特征在于，包括：底板；多组条形磁铁组，所述条形磁铁组设置在所述底板上，多个所述条形磁铁组并列设置且相互平行；其中，所述条形磁铁组包括多个条形磁铁，多个所述条形磁铁沿垂直于其长度方向间隔设置，且多个所述条形磁铁设置相同的极性方向。2.根据权利要求1所述的磁隔板，其特征在于，每一组所述条形磁铁组中的条形磁铁的设置数量均相同，多组所述条形磁铁组中的条形磁铁在所述底板上呈矩阵形式设置。3.根据权利要求1或2所述的磁隔板，其特征在于，在所述底板上还设置有多个并列设置且相互平行的辅助条形磁铁组，所述辅助条形磁铁组的设置方向与所述条形磁铁组的设置方向相互垂直，且所述辅助条形磁铁组设置在所述条形磁铁组中相邻两个所述条形磁铁之间。4.根据权利要求3所述的磁隔板，其特征在于，所述辅助条形磁铁组包括多个辅助条形磁铁，多个所述辅助条形磁铁沿垂直于其长度方向间隔设置，且多...

【专利技术属性】
技术研发人员：扈自清，任星利，王国庆，康建东，孙忠强，赵镜，张磊，王斌，李国强，李晓龙，王在成，
申请(专利权)人：京东方科技集团股份有限公司，鄂尔多斯市源盛光电有限责任公司，
类型：发明
国别省市：北京,11