【技术实现步骤摘要】
PECVD柔性太阳能电池制造设备
本技术涉及太阳能电池镀膜设备
，特别是涉及一种PECVD柔性太阳 能电池制造设备。
技术介绍
目前，世界上广泛制造的太阳能电池组件都是采用硅片或玻璃为基材，不可弯曲 的刚性结构，重量重，体积大，不耐冲击，从而不适合移动应用。目前世界上只有少数几家公 司掌握以不锈钢箔(Stainless Steel)或聚酰亚胺(Ifepton)等高分子膜为基材制造太阳能 电池组件，产品具备柔性或半柔性，可弯曲，重量轻，体积小，耐冲击等优异性能，适合移动 应用。现有技术中采用“卷对卷“的样品输送技术进行半导体真空镀膜，需要先后经过 不同的真空室进行分层镀膜，代表性的镀膜工艺为PECVD (Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition,等离子体辅助化学气相沉积)镀膜,代表性的薄膜太阳能器件为薄膜非 晶娃(a-Si)与微晶娃(uc-Si)太阳能电池,代表性的基材为不锈钢箔材(Stainless Steel Foil)或聚酰亚胺(Kepton)等高分子膜。由于卷对卷的基材输送机构，基材要在牵引张力 状...
【技术保护点】
一种PECVD柔性太阳能电池制造设备，所述设备包括至少一个真空室，每个真空室内设有至少一个电极室，其特征在于，所述电极室从内向外依次包括内管、中管和外管，所述内管、中管和外管两端通过端盖进行固定，且内管和中管间的距离处处相等，所述内管和中管分别作为内电极和外电极与射频发生器相连。
【技术特征摘要】
1.一种PECVD柔性太阳能电池制造设备，所述设备包括至少一个真空室，每个真空室 内设有至少一个电极室，其特征在于，所述电极室从内向外依次包括内管、中管和外管，所 述内管、中管和外管两端通过端盖进行固定，且内管和中管间的距离处处相等，所述内管和 中管分别作为内电极和外电极与射频发生器相连。2.根据权利要求1所述的PECVD柔性太阳能电池制造设备，其特征在于，所述内管、中 管和外管为同心设置的圆柱体，所述外管和中管紧贴设置。3.根据权利要求1所述的PECVD柔性太阳能电池制造设备，其特征在于，所述外管上均 匀分布有加热装置。4.根据权利要求3所述的PECVD柔性太阳能电池制造设备，其特征在于，所述加热装置 为螺旋式电加热管、或若干圆形电加热管、或若干直线型电加热管。5.根据权利要求4所述的PECVD柔性太阳能电池制造设备，其特征在于，所述外管上设 有用于收容电加热管的螺旋式收容槽、或圆形收容槽、或直线型收容槽。...
【专利技术属性】
技术研发人员：奚建平，
申请(专利权)人：苏州思博露光伏能源科技有限公司，
类型：实用新型
国别省市：
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