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本实用新型公开了一种PECVD柔性太阳能电池制造设备，所述设备包括至少一个真空室，每个真空室内设有至少一个电极室，所述电极室从内向外依次包括内管、中管和外管，所述内管、中管和外管两端通过端盖进行固定，且内管和中管间的距离处处相等，所述内管和...
该专利属于苏州思博露光伏能源科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过苏州思博露光伏能源科技有限公司授权不得商用。

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