非晶硅薄膜太阳能PECVD基片装载箱的防水装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术涉及一种非晶硅薄膜太阳能PECVD基片装载箱的防水装置。?本非晶硅薄膜太阳能PECVD基片装载箱的防水装置，包括电极头防水装置和特气口防水装置，电极头防水装置包括用于密封电极头的中间可开合的长方体壳体，长方体壳体包括上壳体和下壳体，上壳体前面下端开有N个上半圆形孔，下壳体前面上端开有与N个上半圆形孔相匹配的可组合成N个圆形孔的N个下半圆形孔。本实用新型专利技术非晶硅薄膜太阳能PECVD基片装载箱的防水装置，设计科学、分别捆扎每一个电极头，捆扎较严，清洗过程不会出现电极头进水的情况，不影响电极头使用寿命，避免电极杆氧化现象发生；另外，不会刮破电极头、不影响预热和沉积工艺，此外，不会磨损特气口、且防止因磨损导致连接不良。（*该技术在2023年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】
非晶硅薄膜太阳能PECVD基片装载箱的防水装置
本技术涉及一种防水装置，特别涉及一种非晶硅薄膜太阳能PECVD基片装载箱的防水装置。
技术介绍
在非晶硅薄膜太阳能电池生产过程中，将清洗后的导电玻璃装入立式基片装载箱，加热到一定温度后使用PECVD法在导电玻璃基片上沉积非晶硅薄膜完成不同光吸收层电池的制作，是整个电池生产技术的关键步骤。在沉积过程中不可避免的会有非晶硅颗粒附着于装载箱体内。残留的颗粒需要清洁干净，以防止影响再次沉积导电薄膜时出现针孔、透空等镀膜不良。对基片装载箱清洁是PECVD工艺不可忽略的难题。目前基片装载箱的清洁一般采用人工清洁和机械清洁。一般对工件架清洁擦拭的范围为:工件架两端极板边缘3-4cm，最后使用压缩N2或空气吹扫整个工件架后才能装导电玻璃。由于基片装载箱结构的复杂性，铝板之间的间距非常小，清洁死角很多，清洁难度大。使用次数达到一定的工件架要进行水洗清洁。清洗方法为纯水在每个极板表面前后从上往下依次冲洗2-3次，保证每个基板都冲洗到。工件架在清洗过程中，由于采用高压水枪对基板就行清洗，在清洗过程中水不可避免的会进入射频电极头和特气口。目前生产上采用清洗前使用保鲜膜将电极头和进气口包住，防止水进入。但是，捆扎电极头存在以下问题:1、电极头本身有棱角和压杆，并且电极头上还会插有垫片，当前所用保鲜膜捆扎时，可能会刮破甚至会有小块保鲜膜残留在电极头上，如果不能及时有效去除，在之后的预热和沉积过程就会对工艺造成影响。2、用保鲜膜捆扎电极头时，18个电极同时捆扎，不是分别捆扎每一个电极头，同时不同人员捆扎手法不同，所以会存在捆扎不严的现象，清洗过程有可能出现电极头进水的情况，影响电极头使用寿命以及沉积工艺。3、用保鲜膜捆扎不严进水，还会导致电极杆氧化现象。4、用保鲜膜捆扎特气口时，特气口易磨损、且因磨损导致连接不良。
技术实现思路
本技术要解决的技术问题是如何克服现有技术的上述缺陷，提供一种非晶硅薄膜太阳能PECVD基片装载箱的防水装置，该非晶硅薄膜太阳能PECVD基片装载箱的防水装置分别捆扎每一个电极头，捆扎较严，清洗过程不会出现电极头进水的情况，不影响电极头使用寿命，避免电极杆氧化现象发生；另外，不会刮破电极头、不影响预热和沉积工艺，此夕卜，不会磨损特气口、且防止因磨损导致连接不良。为解决上述技术问题，本非晶硅薄膜太阳能PECVD基片装载箱的防水装置，包括电极头防水装置和特气口防水装置，电极头防水装置包括用于密封电极头的中间可开合的长方体壳体，长方体壳体包括上壳体和下壳体，上壳体前面下端开有N个上半圆形孔,下壳体前面上端开有与N个上半圆形孔相匹配的可组合成N个圆形孔的N个下半圆形孔。如此设计，可实现分别捆扎每一个电极头，捆扎较严，清洗过程不会出现电极头进水的情况，不影响电极头使用寿命以及沉积工艺。作为优化,包括娃胶圈,娃胶圈环形围绕卡设在上壳体和下壳体的开合处。如此设计，密封性较好。作为优化，上壳体的左右两端设有卡扣。如此设计，便于安装、且使用方便。作为优化，上壳体和下壳体的后面开合处通过两个铰链连接。如此设计，可折叠、使用很方便。[0011 ] 作为优化，上壳体前部下端开有18个上半圆形孔，下壳体前部上端开有与18个半圆形孔相匹配的18个下半圆形孔。作为优化，特气口防水装置包括底部圆柱体、设置在圆柱体边缘上的半圆弧形连接件、设置在半圆弧形连接件上方的U型体，圆柱体、半圆弧形连接件和U型体为一整体结构。如此设计，不会磨损特气口、且防止因磨损导致连接不良。本技术非晶硅薄膜太阳能PECVD基片装载箱的防水装置，设计科学、分别捆扎每一个电极头，捆扎较严，清洗过程不会出现电极头进水的情况，不影响电极头使用寿命，避免电极杆氧化现象发生；另外，不会刮破电极头、不影响预热和沉积工艺，此外，不会磨损特气口、且防止因磨损导致连接不良。具有较好的实际应用价值和推广价值。【附图说明】下面结合附图对本非晶硅薄膜太阳能PECVD基片装载箱的防水装置作进一步说明:图1是本非晶硅薄膜太阳能PECVD基片装载箱的防水装置的电极头防水装置的装配结构示意图；图2是本非晶硅薄膜太阳能PECVD基片装载箱的防水装置的特气口防水装置的结构示意图。图中:1为上壳体、2为下壳体、3为上半圆形孔、4为下半圆形孔、5为娃胶圈、6为卡扣、7为铰链、8为圆柱体、9为半圆弧形连接件、10为U型体。【具体实施方式】为使本技术的目的、技术方案及优点更加清楚明白，以下参照附图并举实施例，对本技术进一步详细说明。如图1、图2所示，本非晶硅薄膜太阳能PECVD基片装载箱的防水装置，包括电极头防水装置和特气口防水装置，电极头防水装置包括用于密封电极头的中间可开合的不锈钢长方体壳体，不锈钢长方体壳体包括上壳体I和下壳体2,上壳体I前面下端开有18个上半圆形孔3，下壳体2前面上端开有与18个上半圆形孔3相匹配的可组合成18个圆形孔的18个下半圆形孔4 ;包括硅胶圈5，硅胶圈5环形围绕卡设在上壳体I和下壳体2的开合处；上壳体I的左右两端设有卡扣6 ;上壳体I和下壳体2的后面开合处通过两个铰链7连接；不锈钢长方体壳体的长为101.2cm、宽为6.5cm、高为6cm ;每个圆形孔中心距离下边缘距离均为2cm，每两个圆形孔的圆心距离为5.6cm ;左右两端两圆形孔的圆心距离两端的距离均为3cm。特气口防水装置包括底部圆柱体8、设置在圆柱体8边缘上的半圆弧形连接件9、设置在半圆弧形连接件9上方的U型体10，圆柱体8、半圆弧形连接件9和U型体10为一整体结构；圆柱体8半径为3.5cm，U型体10内圆半径为2.5 cm ;特气口防水装置的高度为1.7 cm ;圆柱体8、半圆弧形连接件9和U型体10的厚度均为0.5 cm。特气口防水装置选用塑料材质，进一步有效减少对特气口的摩伤损害，防止因磨损导致连接不良。上述【具体实施方式】仅是本技术的具体个案，本技术的专利保护范围包括但不限于上述【具体实施方式】的产品形态和式样，任何符合本技术权利要求书的非晶硅薄膜太阳能PECVD基片装载箱的防水装置且任何所属
的普通技术人员对其所做的适当变化或修饰，皆应落入本技术的专利保护范围。本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种非晶硅薄膜太阳能PECVD基片装载箱的防水装置，其特征在于：包括电极头防水装置和特气口防水装置，所述电极头防水装置包括用于密封电极头的中间可开合的长方体壳体，所述长方体壳体包括上壳体（1）和下壳体（2），所述上壳体（1）前面下端开有N个上半圆形孔（3），所述下壳体（2）前面上端开有与所述N个上半圆形孔（3）相匹配的可组合成N个圆形孔的N个下半圆形孔（4）。

【技术特征摘要】
1.一种非晶硅薄膜太阳能PECVD基片装载箱的防水装置，其特征在于:包括电极头防水装置和特气口防水装置，所述电极头防水装置包括用于密封电极头的中间可开合的长方体壳体，所述长方体壳体包括上壳体(I)和下壳体(2)，所述上壳体(I)前面下端开有N个上半圆形孔(3)，所述下壳体(2)前面上端开有与所述N个上半圆形孔(3)相匹配的可组合成N个圆形孔的N个下半圆形孔(4)。2.如权利要求1所述的非晶硅薄膜太阳能PECVD基片装载箱的防水装置，其特征在于:包括娃胶圈(5),所述娃胶圈(5)环形围绕卡设在上壳体(I)和下壳体(2)的开合处。3.如权利要求2所述的非晶硅薄膜太阳能PECVD基片装载箱的防水装置，其特征在于:所述上壳体(I)的左右两端设有卡扣(6)。4....

【专利技术属性】
技术研发人员：田启隆，王佃阁，魏小涛，杨春秀，
申请(专利权)人：山东禹城汉能光伏有限公司，
类型：实用新型
国别省市：