本实用新型涉及一种低噪音集成式风刀。本实用新型一种低噪音集成式风刀，包括半圆式筒式结构中空风刀，半圆式筒式结构中空风刀的刀刃端开有线型出风口，线型出风口包括前级两个左向45度角出风口、中级两个垂直出风口、后级一个左向45度角吹风口和后级...

本实用新型涉及一种异型传送导轮。本一种异型传送导轮，包括可拆卸的上半导轮体和下半导轮体，上半导轮体和下半导轮体通过锁紧装置紧固在轴承上、合拢形成导轮体；上半导轮体上设有密封条引入口和密封条引出口，密封条引入口和密封条引出口处均设有密封条...

本实用新型公开了一种芯片干磨预警装置，包括m个温度检测器、m个分别与温度检测器相连的模数转换器、n个与模数转换器的输出端相连的或门电路、以及1个与或门电路的输出端相连的触发报警器；m和n为1-10之间的自然数，并且m>n。本实用新...

本实用新型涉及一种具有状态监控功能的电磁阀，包括电磁铁和内部加工有气体通路的阀体，阀体内设有阀芯，阀芯通过复位弹簧Ⅰ连接阀体，阀体上设有进气口、排气口和出气口，出气口上安装活塞挡板机构，活塞挡板机构上设有复位弹簧Ⅱ，还包括扭簧式开关感应...

本实用新型涉及一种免拆卸维护新型传送导轮。 本一种免拆卸维护新型传送导轮，包括中心设有通孔的传送轮和安装于所述传送轮上的密封圈，所述传送轮包括在其上下导轮面上斜对称设置能避开传送轮中心通孔的上、下密封圈轨道，所述密封圈与上、下密封圈轨道...

本实用新型涉及一种具有独立冷却水系统的磁场可移动靶座。本一种具有独立冷却水系统的磁场可移动靶座，包括靶基板、磁钢组件、靶材和对磁钢组件起到调节移动作用的微调装置，该微调装置通过连接座与磁钢组件相连，磁钢组件外围设有U型冷却基座，U型冷却...

本实用新型涉及一种用于检测汇流条和引流条是否连接的装置。本一种用于检测铝汇流条和铝引流条是否连接的装置，包括：芯片自动定位平台，其由芯片定位系统和平台真空系统组成；测量仪器，用于检测铝汇流条与正极铝引流条及负极铝引流条的通断；电源，连接...

本实用新型涉及一种激光设备自动定位监控装置。本激光设备自动定位监控装置，包括3个激光头、3个CCD、3个吸尘管、设置在机台前部的2个活动侧定位轮，由气浮抓手和气浮板组成的气浮机构，气浮抓手设置在机台后部边缘，气浮抓手处设有与该气浮抓手平...

本实用新型基于BIPV应用的薄膜电池透光背电极，自上而下依次包括AZO层Ⅰ、金属层以及AZO层Ⅱ，所述AZO层Ⅰ的厚度为90nm，所述金属层2的厚度为22nm，所述AZO层Ⅱ的厚度为60nm。AZO层Ⅰ的作用为将透过光电转换层的光反射回...

本实用新型的一种弹性双切向射频电源连接接头，包括公接头和母接头，公接头和母接头均包括不锈钢接地管和电极芯，电极芯与不锈钢接地管之间设置有屏蔽层，公接头内的电极芯Ⅰ端部设置有前窄后宽的锥形对接头，母接头内的电极芯Ⅱ端部设置有与锥形对接头相...

本实用新型涉及一种装载薄膜基片工件架的打磨、保养装置，包括壳体、通过轴承转动安装于安装于壳体内的传动轴、安装于壳体内的电机、安装于电机输出轴上的蜗杆、安装于传动轴尾端且与蜗杆相互啮合的蜗轮、固定于壳体后方的弹簧电缆以及安装于壳体后端的调...

本实用新型涉及一种防止磁控溅射中银靶在基板边缘绕镀的传动装置。本一种防止磁控溅射中银靶在基板边缘绕镀的传动装置，包括设置在银靶腔室中的由无油链条、无油齿轮和轴承组成的链条传动装置、设置在链条传动装置上的上、下两组承载装置和位于链条传动装...

本实用新型涉及一种防止磁控溅射系统中平面靶座短路的装置。本一种防止磁控溅射系统中平面靶座短路的装置，包括安装于靶座和内嵌入靶座上的靶材周围的侧边防护遮罩以及阳极框；所述侧边防护遮罩两侧均设有防止短路的沟槽，所述侧边防护遮罩的中间为绝缘材...

本实用新型涉及一种层压机用高温布夹具。本层压机用高温布夹具，包括一端头部从底端逐渐抬高呈弧形的四氟板，四氟板中间开有用于固定高温布的凹槽，该凹槽的开口设置在四氟板的另一端，四氟板上设有用于夹紧高温布的夹紧定位孔。四氟板底部设有缺口，该缺...

本实用新型涉及一种工件架硅粉清除装置，通过在排形离子风嘴上设置若干吹气嘴，并使吹气嘴分别位于每两个工件架极板之间；排形离子风嘴内的高压电源发生器将输送到排形离子风嘴内的压缩空气电离产生正负电荷；带有正负电荷的压缩空气通过吹气嘴吹向工件架...

本实用新型的一种磁控溅射自动测量控制膜厚装置，包括膜厚测量仪和主控制器，所述膜厚测量仪连接有设置在靶室内靶材下方的石英振荡测试探头，所述膜厚测量仪的信号输出端连接主控制器的信号输入端，主控制器的信号输出端连接靶材电源、气体流量控制器和芯...

本实用新型涉及一种新型PECVD射频电极接头，包括电极插口和电极接口，所述电极插口包括金属外壳Ⅰ、金属内壳、夹装于金属外壳Ⅰ与金属内壳之间的绝缘填充层Ⅰ、设置于金属内壳中的圆孔Ⅰ、水平设置于圆孔Ⅰ内的两个圆棒Ⅰ，电极接口包括金属外壳Ⅱ、...

本实用新型的一种自动装卸PECVD工件架内芯片的装置，包括：工件架移动底座，工件架固定在其顶部，工件架移动底座底部设置有轮子；两个芯片导轨架，分别设置在工件架移动底座的左右两侧，并与工件架的左右开口相对；每个芯片导轨架包括横向设置在顶部...

本实用新型涉及一种非晶硅薄膜太阳能PECVD基片装载箱的防水装置。?本非晶硅薄膜太阳能PECVD基片装载箱的防水装置，包括电极头防水装置和特气口防水装置，电极头防水装置包括用于密封电极头的中间可开合的长方体壳体，长方体壳体包括上壳体和下...

本实用新型涉及一种芯片测试机探针保护装置。在日常测试作业中，测试机探针由于反复测试作业测试机内弹簧与针脚接触发生变化以及由于测试中芯片位置由于其它原因位置抬高而造成测试机探针弹簧超出变形量造成探针损坏。为此，本芯片测试机探针保护装置，包...