【技术实现步骤摘要】
【专利摘要】本专利技术涉及材料表面改性技术，特别提供了一种双辉化学气相沉积装置及工艺。该装置为一个密闭的沉积室，沉积室有一至三个进气口和一个出气口，一个阳极和两个阴极组成。沉积室内壁材质为不锈钢，沉积真空室内的结构件为金属和/或石墨材料；沉积室极限真空10-3Pa以下，沉积室内的工作气压0.01Pa-50Pa；进气口气体为氩气、硅烷、金属醇盐等反应气体；装置中阳极接通于沉积室，两个阴极分别接通于靶材和工件材料，其中工件电压范围为0V～-1200V，靶材电压范围为0V～-1200V；装置中工件表面温度为800℃-1200℃，且该温度是工件材料附近局部区域的温度。【专利说明】一种双辉化学气相沉积装置及工艺
本专利技术涉及材料表面改性技术，特别提供了一种双辉化学气相沉积装置及工艺。
技术介绍
采用化学与物理的表面改性技术改变材料或工件表面的化学成分或组织结构以提高机器零件或材料性能的一类热处理技术。它包括化学热处理；表面涂层等薄膜镀层(物理气相沉积、化学气相沉积等)和非金属涂层技术等。化学气相沉积技术具有设备简单、操作维护方便、灵活性强的优点，但是反应温度较高，...
【技术保护点】
一种双辉化学气相沉积装置，包括一个密闭的沉积室、进气、排气和抽真空系统，其特征在于沉积室有一至三个进气口和一个出气口，一个阳极、一个放置工件的阴极和一个放置靶材的阴极。
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员：陈照峰，吴王平，
申请(专利权)人：苏州宏久航空防热材料科技有限公司，
类型：发明
国别省市：
还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。