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本实用新型涉及一种非晶硅薄膜太阳能PECVD基片装载箱的防水装置。?本非晶硅薄膜太阳能PECVD基片装载箱的防水装置，包括电极头防水装置和特气口防水装置，电极头防水装置包括用于密封电极头的中间可开合的长方体壳体，长方体壳体包括上壳体和下壳体...
该专利属于山东禹城汉能光伏有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过山东禹城汉能光伏有限公司授权不得商用。

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