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柔性OLED的蒸镀设备制造技术
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下载柔性OLED的蒸镀设备的技术资料
文档序号:17428480
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本实用新型公开了一种柔性OLED的蒸镀设备,该设备包括真空蒸镀室、安装在真空蒸镀室顶端的旋转轴和固定在旋转轴上的基片;所述真空蒸镀室上放置有用于放置镀料的容器,所述容器位于基片的正下方,所述容器与加热装置相电连接,且该加热装置与电源电连接。...
该专利属于河源耀国电子科技有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过河源耀国电子科技有限公司授权不得商用。
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