一种固晶工作台结构制造技术

技术编号:17372213 阅读:60 留言:0更新日期:2018-03-01 09:01
本实用新型专利技术提供一种固晶工作台结构,包括固晶工作台以及与固晶工作台配合的压板,所述固晶工作台包括支撑座、固定在支撑座上的发热结构,所述发热结构包括加热板、分别插设在加热板两侧的若干发热管,各所述发热管均通过线缆与电源连接,所述加热板的一侧设置有温度传感器,所述温度传感器的测温范围为0°‑80°。本实用新型专利技术的有益效果为:通过调整固晶工作台的结构,实现在固晶的过程中提高DAF膜与铜支架的黏性,从而避免晶片飞掉的情况。

A structure of solid crystal worktable

The utility model provides a solid crystal table structure, including solid crystal table and solid crystal table matching plate, wherein the solid crystal table comprises a supporting seat and a fixed heating structure on the support seat, wherein the heating structure comprises a plurality of heating plate, are respectively inserted in the two side of the heating plate each of the pipe, heating pipe are connected with a power supply through a cable, one side of the heating plate is provided with a temperature sensor, the temperature sensor temperature range is 0 degrees to 80 degrees. The beneficial effect of the utility model is that by adjusting the structure of the solid crystal worktable, the viscosity of the DAF film and the copper support can be improved during the process of crystal solidification, so as to avoid the situation of the wafer falling off.

【技术实现步骤摘要】
一种固晶工作台结构
本技术涉及二极管加工设备
,尤其涉及一种固晶工作台结构。
技术介绍
固晶又称为DieBond或装片。固晶即通过胶体(对于LED来说一般是导电胶或绝缘胶)把晶片粘结在支架的指定区域,形成热通路或电通路,为后序的打线连接提供条件的工序。现有二极管加工过程中,铜支架预先排列在料片上,流水线中位于固晶工位处,设置有固晶设备,与固晶设备对应的地方设置有固晶工作台,当流水线的导轨将排列有铜支架的料片输送至固晶工作台上后,压板将料片的四周压紧,固晶设备运行,对放置在料片上的铜支架进行固晶。现有技术存在的缺陷是:每片料片均至少有上千的铜支架需要进行固晶,在每片料片完成固晶动作后还需要进入下一工序对铜支架和晶片进行再度固紧,当下表面带有DAF膜的晶片下压至铜支架内,DAF膜与铜支架还未能实现完全粘紧,导致一片料片还未全部完成固晶,已经完成固晶的支架就经常发生晶片飞掉的情况,严重影响后一工序的加工质量。
技术实现思路
基于此,本技术的目的在于提供一种固晶工作台结构,通过调整固晶工作台的结构,实现在固晶的过程中提高DAF膜与铜支架的黏性,从而避免晶片飞掉的情况。本技术提供一种固晶工作台结本文档来自技高网...
一种固晶工作台结构

【技术保护点】
一种固晶工作台结构,包括固晶工作台以及与固晶工作台配合的压板(10),其特征在于:所述固晶工作台包括支撑座(16)、固定在支撑座(16)上的发热结构(18),所述发热结构(18)包括加热板(14)、分别插设在加热板(14)两侧的若干发热管(15),各所述发热管(15)均通过线缆(17)与电源连接;所述加热板(14)的一侧设置有温度传感器,所述温度传感器的测温范围为0°‑80°。

【技术特征摘要】
1.一种固晶工作台结构,包括固晶工作台以及与固晶工作台配合的压板(10),其特征在于:所述固晶工作台包括支撑座(16)、固定在支撑座(16)上的发热结构(18),所述发热结构(18)包括加热板(14)、分别插设在加热板(14)两侧的若干发热管(15),各所述发热管(15)均通过线缆(17)与电源连接;所述加热板(14)的一侧设置有温度传感器,所述温度传感器的测温范围为0°-80°。2.根据权利要求1所述的一种固晶工作台结构,其特征在于:各所述发热管(15)设置为电热管,各所述电热管的功率相...

【专利技术属性】
技术研发人员:骆宗友曾小武
申请(专利权)人:东莞市佳骏电子科技有限公司
类型:新型
国别省市:广东,44

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