The invention discloses a method for universal crystal cutting clamping fixtures including wire cutting machine, cutting machine supporting plate is arranged at the front side is provided with a first and second rails on the supporting plate, the first guide connecting the first guide seat, a first guide seat is connected with the adjusting seat, the adjusting seat through the fixing rod connecting device a clamping plate device; second second seat guide rail connection, in the connection fixing seat second guide seat, the fixed seat is provided with a group of second holes and second gas nozzle, connecting the glass plate on the fixed base glass plate with a clamping plate device matched, also comprises a control cabinet and a negative pressure source, negative pressure air source connecting mouth and second the first gas pipeline through the gas nozzle. The invention has the advantages that the device is a piece of glass to pieces of various types of loading plate, good versatility, between the splint and the glass without using adhesive bonding, the two adjacent cutting unit process of continuous operation, greatly saves operation time, improve work efficiency.
【技术实现步骤摘要】
一种用于晶体线切割的通用装夹工装
本专利技术涉及晶体加工
,尤其涉及一种用于晶体线切割的通用装夹工装。
技术介绍
线切割技术是目前世界上比较先进的晶体硅加工技术,它的原理是通过一根高速运动的钢丝带动附着在钢丝上的切割刃料对半导体等硬脆材料进行摩擦而达到切割效果。线切割技术与传统的刀锯片、砂轮片及内圆切割相比有具有效率高,产能高,精度高等优点。现有的线切割设备在进行晶体切割时,为了避免在切割过程中切到装夹板,形成台阶,影响下次使用,现阶段所采用的方法是,每个装夹板配备一块玻璃,在切割钱通过胶粘粘结在装夹板上,然后将晶体粘在玻璃上,放置一段时间,待胶水干后,进行切割作业,切割完成后,再将玻璃取下,粘结新的玻璃后,在进行下个晶体切割,这种方式,在同一个装夹板上进行切割的晶体,无法连续作业,相邻两个切割工序之间间隔时间长,前期的准备时间较长,效率低。
技术实现思路
本专利技术的目的是为了解决现有技术中存在的缺点,而提出的一种用于晶体线切割的通用装夹工装。为了实现上述目的,本专利技术采用了如下技术方案:一种用于晶体线切割的通用装夹工装,包括线切割机,在切割机的前侧设有支撑板,在支撑板上设有支撑座,其特征在于:在支撑座的两侧分别设有第一导轨和第二导轨,在第一导轨上配合连接第一导座,在第一导座上设有第一导向槽和第一螺孔,在支撑板上安装第一电机,第一电机连接第一丝杆,第一丝杆与第一螺孔对应连接,在第一导座上通过第一导向槽配合连接调节座,在调节座上设有第一调节槽,在第一调节槽内安装第一调节电机,第一调节电机通过传动装置连接固定杆装置,固定杆装置固定连接装夹板装置;装夹板装 ...
【技术保护点】
一种用于晶体线切割的通用装夹工装,包括线切割机(1),在切割机(1)的前侧设有支撑板(2),在支撑板(2)上设有支撑座(3),其特征在于:在支撑座(3)的两侧分别设有第一导轨(4)和第二导轨(5),在第一导轨(4)上配合连接第一导座(6),在第一导座(6)上设有第一导向槽(6.1)和第一螺孔(6.3),在支撑板(2)上安装第一电机(8),第一电机(8)连接第一丝杆(9),第一丝杆(9)与第一螺孔(6.3)对应连接,在第一导座(6)上通过第一导向槽(6.1)配合连接调节座(12),在调节座(12)上设有第一调节槽(12.1),在第一调节槽(12.1)内安装第一调节电机(22),第一调节电机(22)通过传动装置(23)连接固定杆装置(24),固定杆装置(24)固定连接装夹板装置(13);装夹板装置(13)包括方形板,在方形板上设有一组第一气孔(29),所有的第一气孔(29)均通过第一气道连通,在方形板上还安装第一气嘴(30),第一气嘴(30)连接在第一气道上,在方形板的一侧设有固定板(14),在固定板(14)上设有与固定杆装置(24)连接的插孔(14.1);在第二导轨(5)上配合连接第二导 ...
【技术特征摘要】
1.一种用于晶体线切割的通用装夹工装,包括线切割机(1),在切割机(1)的前侧设有支撑板(2),在支撑板(2)上设有支撑座(3),其特征在于:在支撑座(3)的两侧分别设有第一导轨(4)和第二导轨(5),在第一导轨(4)上配合连接第一导座(6),在第一导座(6)上设有第一导向槽(6.1)和第一螺孔(6.3),在支撑板(2)上安装第一电机(8),第一电机(8)连接第一丝杆(9),第一丝杆(9)与第一螺孔(6.3)对应连接,在第一导座(6)上通过第一导向槽(6.1)配合连接调节座(12),在调节座(12)上设有第一调节槽(12.1),在第一调节槽(12.1)内安装第一调节电机(22),第一调节电机(22)通过传动装置(23)连接固定杆装置(24),固定杆装置(24)固定连接装夹板装置(13);装夹板装置(13)包括方形板,在方形板上设有一组第一气孔(29),所有的第一气孔(29)均通过第一气道连通,在方形板上还安装第一气嘴(30),第一气嘴(30)连接在第一气道上,在方形板的一侧设有固定板(14),在固定板(14)上设有与固定杆装置(24)连接的插孔(14.1);在第二导轨(5)上配合连接第二导座(7),在第二导座(7)上设有第二导向槽和和第二螺孔,在支撑板(2)上安装第二电机(10),第二电机(10)连接第二丝杆(11),第二丝杆(11)与第二螺孔对应连接,在第二导座(7)上通过第二导向槽配合连接固定座(15),在固定座(15)上设有一组第二气孔(19),所有的第二气孔(19)均通过第二气道连通,在固定座(15)上安装第二气嘴(20),第二气嘴(20)连接在第二气道上,在固定座(15)上连接玻璃板(18),玻璃板(18)与装夹板装置(13)对应配合,在固定座(15)上还设有第三螺孔,在第二导座(7)的一侧安装第二调节电机(17),第二调节电机(17)连接第三丝杆(21),第三丝杆(21)与第三螺孔对应连接;还包括控制柜(31)和负压气源...
【专利技术属性】
技术研发人员:胡治军,
申请(专利权)人:安徽中晶光技术股份有限公司,
类型:发明
国别省市:安徽,34
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